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无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器研究 被引量：1
1
作者 李刘合 夏立芳 +3 位作者 马欣新 孙跃 李光 于伟东 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1999年第3期207-212,共6页
介绍了一种新型无辅助阳极式磁过滤器的基本结构 ,测量了在弯曲弧磁过滤器出口处的离子分布规律。SEM分析表明 ,无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器消除了等离子体中的宏观粒子团。采用无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器在玻璃基体上镀铜可以使表面... 介绍了一种新型无辅助阳极式磁过滤器的基本结构 ,测量了在弯曲弧磁过滤器出口处的离子分布规律。SEM分析表明 ,无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器消除了等离子体中的宏观粒子团。采用无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器在玻璃基体上镀铜可以使表面粗糙度Ra 从 0 44 μm降低到 0 0 0 3μm。 展开更多
关键词 真空阴极弧 离子镀 磁过滤器 宏观粒子团 薄膜
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金属离子源磁过滤器磁场位形的设计与实验研究
2
作者 赵杰 唐德利 耿少飞 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期696-699,共4页
根据磁过滤器对磁场的要求,利用水冷铜管产生的反向磁场,设计一个轴向磁场较弱的磁镜式磁过滤器。由数值模拟和实验研究的结果可知:磁过滤器磁场位形是一个轴向较弱的磁镜式磁场分布;并且在磁过滤器的出口处,磁场强度的均匀性较好;还增... 根据磁过滤器对磁场的要求,利用水冷铜管产生的反向磁场,设计一个轴向磁场较弱的磁镜式磁过滤器。由数值模拟和实验研究的结果可知:磁过滤器磁场位形是一个轴向较弱的磁镜式磁场分布;并且在磁过滤器的出口处,磁场强度的均匀性较好;还增强了水冷铜管和磁过滤器壁之间的磁场。由离子束测试实验可知在加反向磁场时离子束的均匀性比没有反向磁场时高很多。 展开更多
关键词 金属离子源 磁过滤器 离子束 磁场强度
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净化齿轮油的高效磁过滤器 被引量：1
3
作者 付孟若 周明连 +4 位作者 方佳雨 孟为民 侯红飞 黄剑 任书堂 《煤炭科学技术》 CAS 北大核心 1998年第9期39-41,共3页
在论述高梯度过滤器磁过滤机理的基础上，研制了适于净化粘度齿轮油的过滤器，并对其过滤效果进行了实验研究，证实了高梯度磁过滤器用于净化齿轮油具有过滤效率高、压力降小、纳污容量大、易于清洗等优点。
关键词 磁过滤器 高粘度齿轮油 过滤比 压力降 齿轮油
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用于电炉液压系统的磁过滤器
4
作者 任志明 《液压与气动》 北大核心 1992年第2期34-34,共1页
电炉液压系统多在高温、明火、易燃、粉尘多、强振动等环境下工作,运行工况极为恶劣,介质污染特别严重。由于介质污染造成的液压元件堵塞、失灵,导致误动作而产生重大事故,在国内外已屡见不鲜。这里重点介绍电炉液压系统抗污染的新型磁... 电炉液压系统多在高温、明火、易燃、粉尘多、强振动等环境下工作,运行工况极为恶劣,介质污染特别严重。由于介质污染造成的液压元件堵塞、失灵,导致误动作而产生重大事故,在国内外已屡见不鲜。这里重点介绍电炉液压系统抗污染的新型磁过滤器。根据电炉工况的特点,介质采用高水基乳化液,其中95%是水,而常用的自然水中杂质较多,另外电炉的液压系统较复杂。 展开更多
关键词 电炉 液压系统 磁过滤器
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离子镀中弯管磁过滤器的效率和颗粒去除效果的研究 被引量：1
5
作者 杨木 于振华 +3 位作者 张俊 董中林 张心凤 干蜀毅 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第12期1217-1223,共7页
真空多弧离子镀沉积四面体非晶碳薄膜(ta-C)过程中,利用90°磁过滤器弯管去除大颗粒。本文探究了磁场强度、弯管偏压、弧电流和挡板孔径对弯管中离子传输效率(离子流)的影响,同时研究了薄膜表面颗粒去除情况。实验结果表明,弯管中... 真空多弧离子镀沉积四面体非晶碳薄膜(ta-C)过程中,利用90°磁过滤器弯管去除大颗粒。本文探究了磁场强度、弯管偏压、弧电流和挡板孔径对弯管中离子传输效率(离子流)的影响,同时研究了薄膜表面颗粒去除情况。实验结果表明,弯管中离子流随磁场强度增强而增大,但增大磁场强度会导致颗粒数量增多;在中低磁场强度下,弯管偏压约为+15 V时可获得较高的离子传输效率,相比于不施加偏压提高了近70%;减小挡板孔径可使沉积速率降低,但可以显著改善大颗粒过滤效果;改变弧电流对弧源离子产生率和过滤器传输效率几乎没有影响,减小弧电流能够降低大颗粒的发射数量。本文研究内容为工业应用中采用磁过滤弯管减少薄膜大颗粒提供参考。 展开更多
关键词 多弧离子镀 ta-C膜 大颗粒 磁过滤器
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磁式过滤器对虹鳟卵孵化育苗的作用及效果
6
作者 徐东 《科学养鱼》 2001年第8期12-13,共2页
关键词 虹鳟鱼卵 孵化育苗 磁式过滤器
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磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的制备及其强化机理研究 被引量：11
7
作者 史新伟 李杏瑞 +1 位作者 邱万起 刘正义 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期486-491,共6页
采用电弧离子镀(AIP)和磁过滤电弧离子镀(MFAIP)方法分别在不锈钢和硅片上制备了两种不同的TiN薄膜。利用扫描电镜(SEM)观察了薄膜的表面形貌及组织结构;利用X射线衍射(XRD)及透射电镜(TEM)进行相鉴定;用纳米力学测试系统(NHT)测量了薄... 采用电弧离子镀(AIP)和磁过滤电弧离子镀(MFAIP)方法分别在不锈钢和硅片上制备了两种不同的TiN薄膜。利用扫描电镜(SEM)观察了薄膜的表面形貌及组织结构;利用X射线衍射(XRD)及透射电镜(TEM)进行相鉴定;用纳米力学测试系统(NHT)测量了薄膜的硬度。结果表明:MFAIP TiN薄膜具有强烈的(111)面择优取向,薄膜表面光滑、表面熔滴颗粒(MP)少、薄膜的柱状晶组织细小、致密,薄膜具有较高的硬度。并在此基础上讨论了薄膜的强化机理,认为磁过滤器是制备高质量TiN薄膜及其复合薄膜行之有效的一种方法,是今后制备高性能TiN及其复合膜的发展方向。 展开更多
关键词 TIN薄膜 磁过滤器 熔滴颗粒 复合膜
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磁过滤阴极电弧技术沉积高sp^3键含量四面体非晶碳薄膜的工艺优化研究 被引量：5
8
作者 韩亮 张涛 刘德连 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期203-207,共5页
通过对不同基片偏压下磁过滤器电流对四面体非晶碳(ta-C)薄膜sp3键含量影响的研究,探讨了磁过滤阴极电弧技术制备高sp3键ta-C薄膜优化工艺条件。在不同的基片偏压下,薄膜沉积率随着磁过滤器电流增大而增大。当基片偏压为200 V时,磁过滤... 通过对不同基片偏压下磁过滤器电流对四面体非晶碳(ta-C)薄膜sp3键含量影响的研究,探讨了磁过滤阴极电弧技术制备高sp3键ta-C薄膜优化工艺条件。在不同的基片偏压下,薄膜沉积率随着磁过滤器电流增大而增大。当基片偏压为200 V时,磁过滤器电流从5A增大至13 A,ID/IG从0.18增加到0.39;当基片偏压500V时,ID/IG从1.3增加到2.0;证明随着磁过滤器电流的增大,薄膜中的sp3键含量在减少,sp2键及sp2团簇在逐渐增加。研究表明除了基片偏压,ta-C薄膜sp3键含量与制备工艺中磁过滤电流也具有及其密切的关联.因此,基片偏压与磁过滤器电流是ta-C薄膜制备中需要优化的工艺条件。优化和选择合适的基片偏压与磁过滤器电流对ta-C薄膜的大规模工业化生产应用具有极其重要的意义。 展开更多
关键词 四面体非晶碳 拉曼光谱 sp3键 基片偏压 磁过滤器电流
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磁过滤真空弧等离子体钛沉积膜的XPS研究 被引量：2
9
作者 李永良 王广甫 +4 位作者 马辉 李唯超 陈栾 马芙蓉 张通和 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第2期158-161,共4页
通过磁过滤真空弧等离子体沉积技术 ,在单晶Si和H13钢衬底上生长一层Ti沉积膜。利用扫描电镜、X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪对膜层进行了测量和分析。结果表明 ,加上磁过滤器的沉积膜表面平整光洁 ,无“液滴”出现。在靶室真空度不... 通过磁过滤真空弧等离子体沉积技术 ,在单晶Si和H13钢衬底上生长一层Ti沉积膜。利用扫描电镜、X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪对膜层进行了测量和分析。结果表明 ,加上磁过滤器的沉积膜表面平整光洁 ,无“液滴”出现。在靶室真空度不高的情况下 ,膜层中的Ti以TiO的形式存在 ,并且TiO晶粒沿 <110 >方向择优取向。膜层表面的TiO进一步与大气中氧发生反应形成TiO2 。 展开更多
关键词 磁过滤器 钛沉积膜 结构 真空弧等离子体沉积 制备 X射线 电子能谱 表面形貌
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电弧离子镀TiN薄膜中的缺陷及其形成原因 被引量：23
10
作者 史新伟 邱万奇 刘正义 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2006年第1期43-46,共4页
分析了电弧离子镀(AIP)TiN薄膜中的主要缺陷-熔滴、孔洞和疏松等。结果表明:这些缺陷存在于晶内、晶界或者贯穿于整个薄膜;缺陷的存在极大地影响了薄膜的性能;缺陷密度与镀膜方法及具体的工艺参数有密切关系;使用磁过滤器镀制薄膜可显... 分析了电弧离子镀(AIP)TiN薄膜中的主要缺陷-熔滴、孔洞和疏松等。结果表明:这些缺陷存在于晶内、晶界或者贯穿于整个薄膜;缺陷的存在极大地影响了薄膜的性能;缺陷密度与镀膜方法及具体的工艺参数有密切关系;使用磁过滤器镀制薄膜可显著减少上述缺陷,从而提高薄膜的各种性能。认为使用磁过滤器镀制TiN及其各种复合或多层薄膜是一种切实有效的方法,是今后制备高性能TiN及其复合膜的发展方向,另外,缩短脉冲电弧在高值时的时间,用人工来减少薄膜缺陷也是一种行之有效的方法。 展开更多
关键词 电弧离子镀 TIN薄膜 缺陷 磁过滤器
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