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基于磁流变阻尼固紧器的工作台定位研究 被引量:1
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作者 余晓芬 马文平 程伶俐 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1477-1480,共4页
基于磁流变液制作的X向、Y向磁流变阻尼固紧器,采用新颖的横向卧式结构,解决了传统纵向立式阻尼固紧器磁流变液溢出密封和摩擦初始阻尼力较大的问题。该固紧器具有柔性阻尼和无冲击固紧工作台的双重功能,减弱了传统固紧方法带来的冲击... 基于磁流变液制作的X向、Y向磁流变阻尼固紧器,采用新颖的横向卧式结构,解决了传统纵向立式阻尼固紧器磁流变液溢出密封和摩擦初始阻尼力较大的问题。该固紧器具有柔性阻尼和无冲击固紧工作台的双重功能,减弱了传统固紧方法带来的冲击和直线电机驱动引起的振动,并成功应用于纳米三坐标测量机,使工作台在X向、Y向的分辨率达到5nm,定位稳态波动从原来的20nm减小到5nm。 展开更多
关键词 磁流变阻尼固紧器 柔性阻尼 无冲击 纳米三坐标测量机 纳米定位
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用于微纳米测量的磁流变阻尼固紧系统 被引量:1
2
作者 马文平 余晓芬 +1 位作者 程伶俐 余卿 《应用科学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期106-110,共5页
研究用新型功能材料—磁流变液制作阻尼固紧器,具有减小电机振动和实现微冲击固紧工作台的双重功能.通过有限元分析对其磁路进行了仿真,并用往复运动实验系统对其性能进行了标定.在纳米三坐标测量机上进行的纳米定位实验表明,加上磁流... 研究用新型功能材料—磁流变液制作阻尼固紧器,具有减小电机振动和实现微冲击固紧工作台的双重功能.通过有限元分析对其磁路进行了仿真,并用往复运动实验系统对其性能进行了标定.在纳米三坐标测量机上进行的纳米定位实验表明,加上磁流变阻尼固紧器后,工作台定位稳态波动从20 nm减小到5 nm以内,可实现纳米三坐标测量机纳米级定位稳态波动. 展开更多
关键词 磁流变阻尼固紧器 微冲击 定位 纳米三坐标测量机
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