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磁流变光整加工技术研究进展 被引量:20
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作者 陈逢军 尹韶辉 +1 位作者 余剑武 徐志强 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第19期2382-2392,共11页
介绍了近年来磁流变光整加工(MRF)技术的研究状况及最新进展,对磁流变光整加工机理研究、加工机床与相关装置的开发、加工工艺试验研究、加工算法与模型研究、磁流变液流体开发与应用等五个方面进行了详细的综述与分析。最后探讨了磁流... 介绍了近年来磁流变光整加工(MRF)技术的研究状况及最新进展,对磁流变光整加工机理研究、加工机床与相关装置的开发、加工工艺试验研究、加工算法与模型研究、磁流变液流体开发与应用等五个方面进行了详细的综述与分析。最后探讨了磁流变光整加工中的关键技术与存在的问题,并对其发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 磁流变光整加工(MRF) 学制造 超精密加工
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磁流变光整加工材料去除的二维建模 被引量:4
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作者 陈逢军 尹韶辉 +3 位作者 朱科军 大森整 朱勇建 范玉峰 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第14期1647-1650,共4页
根据磁流变液在梯度磁场作用下发生剧变的特点,以流体动力学理论为基础,对Preston方程、Reynolds方程及其边界条件进行扩充,建立了在二维方向上的磁流变光整加工的压力模型和材料去除数学模型,并对该模型进行仿真分析。最后进行磁流变... 根据磁流变液在梯度磁场作用下发生剧变的特点,以流体动力学理论为基础,对Preston方程、Reynolds方程及其边界条件进行扩充,建立了在二维方向上的磁流变光整加工的压力模型和材料去除数学模型,并对该模型进行仿真分析。最后进行磁流变光整加工的基础实验,分析了不同的工件压入量和材料类型对材料去除率的影响,通过将实验结果与材料去除模型的仿真结果进行比较,以验证该模型的合理性。 展开更多
关键词 磁流变光整加工 材料去除 去除模型 二维建模
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应用在线电解修整磨削和磁流变光整加工组合工艺进行碳化硅的纳米加工 被引量:1
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作者 尹韶辉 陈逢军 +3 位作者 盛晓敏 大森整 林伟民 上原嘉宏 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第21期2547-2550,2560,共5页
利用在线电解修整镜面磨削和磁流变光整加工技术对化学气相沉积碳化硅反射镜进行纳米级精度的加工。首先进行在线电解修整磨削,使反射镜面高效率加工成形,并获得较好的形状精度和表面质量;然后利用磁流变技术进行光整加工,以减少反射镜... 利用在线电解修整镜面磨削和磁流变光整加工技术对化学气相沉积碳化硅反射镜进行纳米级精度的加工。首先进行在线电解修整磨削,使反射镜面高效率加工成形,并获得较好的形状精度和表面质量;然后利用磁流变技术进行光整加工,以减少反射镜的亚表面损伤,提高表面质量,并通过修正加工,显著提高了工件表面的形状精度。对化学气相沉积碳化硅进行了一系列的加工试验,高效率地得到Rq=2.4nm(均方根偏差)的表面粗糙度和21.2nm的形状精度,并且对在线电解修整镜面磨削与磁流变光整加工所生成的表面特性进行了分析比较。 展开更多
关键词 化学气相沉积碳化硅 在线电解修镜面磨削 磁流变光整加工 超精密加工 形状精度 表面粗糙度
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一种光学材料高效超精密加工方法 被引量:16
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作者 尹韶辉 大森整 +3 位作者 林伟民 上原嘉宏 陈逢军 朱科军 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第21期2540-2544,共5页
提出了结合磁流变光整加工(MRF)与在线电解修整(ELID)磨削对各种光学材料进行超精密加工的方法,即采用ELID磨削进行预抛光以获得高质量表面,然后采用MRF进行精密抛光以进一步减小表面粗糙度和形状误差。利用该组合工艺对BK7玻璃、硅晶... 提出了结合磁流变光整加工(MRF)与在线电解修整(ELID)磨削对各种光学材料进行超精密加工的方法,即采用ELID磨削进行预抛光以获得高质量表面,然后采用MRF进行精密抛光以进一步减小表面粗糙度和形状误差。利用该组合工艺对BK7玻璃、硅晶玻璃、碳化硅等光学材料进行了超精密加工实验,可以在短时间内使光学材料工件表面得到亚纳米级的表面粗糙度和峰谷值为λ/20(λ为单位波长,λ=632.8nm)的形状精度。 展开更多
关键词 ELID磨削 磁流变光整加工(MRF) 超精密组合加工 形状精度 表面粗糙度 学材料
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