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磁方位修正MEMS矢量水声传感器研制 被引量:3
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作者 宫占江 李金平 +1 位作者 毕佳宇 孙立凯 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第5期91-93,共3页
介绍了一种磁方位补偿微机电系统(MEMS)矢量水声传感器。采用电容原理MEMS技术构造内部振子,并与信号处理电路紧靠方式设计,可减小噪声干扰并抑制信号衰减。利用磁方位修正技术,对MEMS矢量水声传感器判定的方位进行修正,解决了单个矢量... 介绍了一种磁方位补偿微机电系统(MEMS)矢量水声传感器。采用电容原理MEMS技术构造内部振子,并与信号处理电路紧靠方式设计,可减小噪声干扰并抑制信号衰减。利用磁方位修正技术,对MEMS矢量水声传感器判定的方位进行修正,解决了单个矢量水声传感器定向精度不高问题。传感器完成了国家一级计量站标定和磁方位误差修正测试,测试结果验证了定向方法的可行性,矢量水声传感器可实现水下目标探测、定位及导航等任务。 展开更多
关键词 微机电系统 磁方位修正 矢量水声传感器 水声探测
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