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磁悬浮转子微陀螺及其悬浮力与稳定性的分析
被引量：
5
1
作者
吴校生
陈文元
张卫平
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003年第12期12-14,共3页
磁悬浮转子微陀螺是一种集经典陀螺的工作原理与易实现微加工批量生产的特点于一体,可望得到高准确度的微陀螺。它是基于电磁场原理得以悬浮、旋转以及稳定;以ANSYS5.6有限元分析软件包为工具分析了悬浮线圈中的电流幅值和线圈宽度对悬...
磁悬浮转子微陀螺是一种集经典陀螺的工作原理与易实现微加工批量生产的特点于一体,可望得到高准确度的微陀螺。它是基于电磁场原理得以悬浮、旋转以及稳定;以ANSYS5.6有限元分析软件包为工具分析了悬浮线圈中的电流幅值和线圈宽度对悬浮力的影响规律;分析了磁悬浮转子微陀螺的运行稳定性,验证了稳定线圈能使微转子稳定运行,从而磁悬浮转子微陀螺的设计得以论证。进行的数值计算为优化微陀螺的结构设计提供依据。
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关键词
磁悬浮转子微陀螺
悬浮
力
稳定性
结构设计
惯性传感器
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职称材料
磁悬浮转子微陀螺的设计技术
被引量：
1
2
作者
张卫平
陈文元
+4 位作者
吴校生
赵小林
崔峰
黄晓刚
刘武
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004年第z1期1-5,共5页
磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(Micro Electronic Mechanical System)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应...
磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(Micro Electronic Mechanical System)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应的微转子、定子悬浮线圈、旋转线圈、稳定线圈、传感电极的设计原则和方法.设计了一个转子直径2 200μm、厚度25 μm,定子线圈线宽10μm、厚度5μm,悬浮励磁频率10 MHz、旋转励磁频率2 MHz的微陀螺,解决了三维非硅准LiGA技术加工微陀螺中的引线、绝缘、摩擦柱成型问题,并进行了相关的陀螺悬浮旋转试验,该陀螺在空气环境下能够以1000 r/min旋转,悬浮高度200μm,说明这种陀螺的原理和设计方法是可行的.
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关键词
磁悬浮转子微陀螺
MEMS
设计
准LiGA技术
试验
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职称材料
题名
磁悬浮转子微陀螺及其悬浮力与稳定性的分析
被引量：
5
1
作者
吴校生
陈文元
张卫平
机构
上海交通大学微纳米科学技术研究院
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003年第12期12-14,共3页
基金
上海市科委2002年重大项目
863计划项目(2002AA745120)
文摘
磁悬浮转子微陀螺是一种集经典陀螺的工作原理与易实现微加工批量生产的特点于一体,可望得到高准确度的微陀螺。它是基于电磁场原理得以悬浮、旋转以及稳定;以ANSYS5.6有限元分析软件包为工具分析了悬浮线圈中的电流幅值和线圈宽度对悬浮力的影响规律;分析了磁悬浮转子微陀螺的运行稳定性,验证了稳定线圈能使微转子稳定运行,从而磁悬浮转子微陀螺的设计得以论证。进行的数值计算为优化微陀螺的结构设计提供依据。
关键词
磁悬浮转子微陀螺
悬浮
力
稳定性
结构设计
惯性传感器
Keywords
electromagnetic levitating
micromachined gyroscope
finite element
design
分类号
V249.322 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
磁悬浮转子微陀螺的设计技术
被引量：
1
2
作者
张卫平
陈文元
吴校生
赵小林
崔峰
黄晓刚
刘武
机构
上海交通大学
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004年第z1期1-5,共5页
基金
国家863项目(2002AA745120)
上海市科委上海市科委2002年重大项目"微机电系统"中的子项目--"先进惯性传感器"
文摘
磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(Micro Electronic Mechanical System)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应的微转子、定子悬浮线圈、旋转线圈、稳定线圈、传感电极的设计原则和方法.设计了一个转子直径2 200μm、厚度25 μm,定子线圈线宽10μm、厚度5μm,悬浮励磁频率10 MHz、旋转励磁频率2 MHz的微陀螺,解决了三维非硅准LiGA技术加工微陀螺中的引线、绝缘、摩擦柱成型问题,并进行了相关的陀螺悬浮旋转试验,该陀螺在空气环境下能够以1000 r/min旋转,悬浮高度200μm,说明这种陀螺的原理和设计方法是可行的.
关键词
磁悬浮转子微陀螺
MEMS
设计
准LiGA技术
试验
分类号
O318 [理学—一般力学与力学基础]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁悬浮转子微陀螺及其悬浮力与稳定性的分析
吴校生
陈文元
张卫平
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003
5
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职称材料
2
磁悬浮转子微陀螺的设计技术
张卫平
陈文元
吴校生
赵小林
崔峰
黄晓刚
刘武
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004
1
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职称材料
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