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MEMS磁力线聚集和垂动调制磁场传感器
被引量:
3
1
作者
田武刚
胡佳飞
+2 位作者
潘孟春
赵建强
胡靖华
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期129-133,168,共6页
针对巨磁阻和磁隧道结等磁阻元件的1/f噪声,提出一种采用微机电系统的磁力线聚集和垂动调制磁场传感器。通过将被测磁场从低频转移到几kHz,实现对磁场的DC/AC转化,从而减小了磁阻元件的1/f噪声。基于该方案采用多层膜巨磁阻元件AA002制...
针对巨磁阻和磁隧道结等磁阻元件的1/f噪声,提出一种采用微机电系统的磁力线聚集和垂动调制磁场传感器。通过将被测磁场从低频转移到几kHz,实现对磁场的DC/AC转化,从而减小了磁阻元件的1/f噪声。基于该方案采用多层膜巨磁阻元件AA002制作了磁场传感器样品,并进行了实验测试,结果表明:磁传感器样品的调制效率达到了19.3%,超过了已有的其他各种调制方案,同时低频磁场的探测能力达到槡120pT/Hz,相比巨磁阻元件AA002提高了40多倍。
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关键词
1
f噪声
调制效率
磁力线聚集器
磁场传感
器
微机电系统
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职称材料
题名
MEMS磁力线聚集和垂动调制磁场传感器
被引量:
3
1
作者
田武刚
胡佳飞
潘孟春
赵建强
胡靖华
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院
出处
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期129-133,168,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(51175507)
教育部高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20124307120012)
文摘
针对巨磁阻和磁隧道结等磁阻元件的1/f噪声,提出一种采用微机电系统的磁力线聚集和垂动调制磁场传感器。通过将被测磁场从低频转移到几kHz,实现对磁场的DC/AC转化,从而减小了磁阻元件的1/f噪声。基于该方案采用多层膜巨磁阻元件AA002制作了磁场传感器样品,并进行了实验测试,结果表明:磁传感器样品的调制效率达到了19.3%,超过了已有的其他各种调制方案,同时低频磁场的探测能力达到槡120pT/Hz,相比巨磁阻元件AA002提高了40多倍。
关键词
1
f噪声
调制效率
磁力线聚集器
磁场传感
器
微机电系统
Keywords
1/f noise
modulation efficiency
magnetic flux concentrator
magnetic field sensor
microelectromechanical system (MEMS)
分类号
TP212.13 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS磁力线聚集和垂动调制磁场传感器
田武刚
胡佳飞
潘孟春
赵建强
胡靖华
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
3
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