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利用双磁极平面磁力研磨法对单晶硅表面的抛光实验研究
被引量：
1
1
作者
杨燕珍
孙旭
+2 位作者
李嘉旸
邹世清
傅永建
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2024年第6期1048-1055,共8页
为实现单晶硅表面平坦化,提出双磁极磁力研磨法(DMAF),并设计一套双磁极磁力研磨装置。探究双磁极磁力研磨法的加工机理,明确关键加工参数对单晶硅表面质量的影响,通过单因素对比实验对加工参数进行优化;利用ANSYS MAXWELL有限元软件,...
为实现单晶硅表面平坦化,提出双磁极磁力研磨法(DMAF),并设计一套双磁极磁力研磨装置。探究双磁极磁力研磨法的加工机理,明确关键加工参数对单晶硅表面质量的影响,通过单因素对比实验对加工参数进行优化;利用ANSYS MAXWELL有限元软件,对传统平面磁力研磨法与双磁极磁力研磨法的磁场强度进行模拟仿真,对比两种方法在加工区域形成的磁感应强度,以实现定量分析磁性磨料粒子的研磨压力。基于单因素实验结果,确定了双磁极磁力研磨法对单晶硅片表面加工优化后的研磨参数:磨料组合为#200电解铁粉(Fe_(3)O_(4))+#8000白刚玉(White abrasive,WA),磁极间隙为12 mm,磁极转速为300 r/min,磨料质量比为3∶1。结果表明:在优化的研磨参数条件下,研磨60 min后的单晶硅片的平均表面粗糙度由初始的0.578μm降至8 nm,在研磨区域基本实现了镜面加工效果。仿真结果表明:与传统平面磁力研磨法相比,双磁极磁力研磨法可显著提高加工区域的磁感应强度,该研磨法所产生的磁场强度约为传统磁力研磨法的1.5倍。
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关键词
双磁极
磁力研磨法
单晶硅
表面平坦化
研磨
参数
磁感应强度
表面粗糙度
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职称材料
磁研磨法抛光40Cr钢管件内表面的影响因素
被引量：
24
2
作者
陈燕
宋宗朋
+1 位作者
李昌
韩冰
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期62-69,共8页
针对磁研磨法抛光铁磁性管件内表面时的磁屏蔽问题,研制出一套磁力光整加工装置。对4种形状的磁极模型进行有限元分析,研究磁极形状、磁极转速及运动状态对抛光效果的影响,并以40Cr钢为材料进行试验验证,利用扫描电子显微镜观察加工前...
针对磁研磨法抛光铁磁性管件内表面时的磁屏蔽问题,研制出一套磁力光整加工装置。对4种形状的磁极模型进行有限元分析,研究磁极形状、磁极转速及运动状态对抛光效果的影响,并以40Cr钢为材料进行试验验证,利用扫描电子显微镜观察加工前后工件的微观表面形貌。结果表明:磁极为环形磁极且与工件反向旋转、磁极转速为2 000r/min时加工效果好、加工效率较高;表面粗糙度值可降到Ra 0.25μm以下;工件内表面的微裂纹、凹坑等表面缺陷基本被去除,表面质量得到明显改善。由此表明,利用磁极内置的方法可以很好的解决磁屏蔽问题,并获得良好的表面加工质量。
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关键词
磁力研磨法
铁磁性管件
磁极转速
旋转磁场
表面抛光
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职称材料
题名
利用双磁极平面磁力研磨法对单晶硅表面的抛光实验研究
被引量：
1
1
作者
杨燕珍
孙旭
李嘉旸
邹世清
傅永建
机构
龙岩学院物理与机电工程学院
福建省金龙稀土股份有限公司
出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2024年第6期1048-1055,共8页
基金
福建省自然科学基金项目(2023J01971,2022J011148)
福建省教育厅中青年项目(JAT220371)。
文摘
为实现单晶硅表面平坦化,提出双磁极磁力研磨法(DMAF),并设计一套双磁极磁力研磨装置。探究双磁极磁力研磨法的加工机理,明确关键加工参数对单晶硅表面质量的影响,通过单因素对比实验对加工参数进行优化;利用ANSYS MAXWELL有限元软件,对传统平面磁力研磨法与双磁极磁力研磨法的磁场强度进行模拟仿真,对比两种方法在加工区域形成的磁感应强度,以实现定量分析磁性磨料粒子的研磨压力。基于单因素实验结果,确定了双磁极磁力研磨法对单晶硅片表面加工优化后的研磨参数:磨料组合为#200电解铁粉(Fe_(3)O_(4))+#8000白刚玉(White abrasive,WA),磁极间隙为12 mm,磁极转速为300 r/min,磨料质量比为3∶1。结果表明:在优化的研磨参数条件下,研磨60 min后的单晶硅片的平均表面粗糙度由初始的0.578μm降至8 nm,在研磨区域基本实现了镜面加工效果。仿真结果表明:与传统平面磁力研磨法相比,双磁极磁力研磨法可显著提高加工区域的磁感应强度,该研磨法所产生的磁场强度约为传统磁力研磨法的1.5倍。
关键词
双磁极
磁力研磨法
单晶硅
表面平坦化
研磨
参数
磁感应强度
表面粗糙度
Keywords
dual-pole magnetic abrasive finishing method
single crystal silicon
surfaceplanarization
polishing parameters
magnetic induction strength
surface roughness
分类号
TG156 [金属学及工艺—热处理]
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职称材料
题名
磁研磨法抛光40Cr钢管件内表面的影响因素
被引量：
24
2
作者
陈燕
宋宗朋
李昌
韩冰
机构
辽宁科技大学机械工程与自动化学院
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期62-69,共8页
基金
国家自然科学基金(51105187)
文摘
针对磁研磨法抛光铁磁性管件内表面时的磁屏蔽问题,研制出一套磁力光整加工装置。对4种形状的磁极模型进行有限元分析,研究磁极形状、磁极转速及运动状态对抛光效果的影响,并以40Cr钢为材料进行试验验证,利用扫描电子显微镜观察加工前后工件的微观表面形貌。结果表明:磁极为环形磁极且与工件反向旋转、磁极转速为2 000r/min时加工效果好、加工效率较高;表面粗糙度值可降到Ra 0.25μm以下;工件内表面的微裂纹、凹坑等表面缺陷基本被去除,表面质量得到明显改善。由此表明,利用磁极内置的方法可以很好的解决磁屏蔽问题,并获得良好的表面加工质量。
关键词
磁力研磨法
铁磁性管件
磁极转速
旋转磁场
表面抛光
Keywords
magnetic abrasive finishing
magnetic circular pipe
speed of the magnetic pole
rotating magnetic field
surface polishing
分类号
TG175 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用双磁极平面磁力研磨法对单晶硅表面的抛光实验研究
杨燕珍
孙旭
李嘉旸
邹世清
傅永建
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2024
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
磁研磨法抛光40Cr钢管件内表面的影响因素
陈燕
宋宗朋
李昌
韩冰
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
24
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职称材料
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