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新型AFM原子分辨率导电探针技术研究
被引量：
1
1
作者
张欢
马宗敏
+5 位作者
谢艳娜
唐军
石云波
薛晨阳
刘俊
李艳君
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期115-118,共4页
目的制备新型导电探针,解决目前探针针尖曲率半径较粗、饱磁力大、调频困难、不容易得到高分辨图像等问题。方法向Si探针针尖蒸镀导电金属薄膜得到导电薄膜Si探针,镀Fe薄膜厚度约为几纳米,同时保证探针的曲率半径约10 nm。利用透射电镜...
目的制备新型导电探针,解决目前探针针尖曲率半径较粗、饱磁力大、调频困难、不容易得到高分辨图像等问题。方法向Si探针针尖蒸镀导电金属薄膜得到导电薄膜Si探针,镀Fe薄膜厚度约为几纳米,同时保证探针的曲率半径约10 nm。利用透射电镜观察和超高真空原子力显微镜扫描镀膜前后探针Na Cl(001)表面,分析其性能。结果自制的Fe薄膜Si探针由于蒸镀了金属薄膜,探针针尖性能稳定,Si探针扫描效果的悬挂键影响被消除,同时提高了系统的扫描分辨率。结论导电薄膜Si探针能够充分利用现有的仪器设备进行实验,具有造价低、使用简单、性能稳定等优点,可以作为将来磁交换力显微镜(MEx FM)的磁性探针来测试材料的表面磁信息。
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关键词
导电薄膜
Si探针
原子分辨率
磁交换力显微镜
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职称材料
题名
新型AFM原子分辨率导电探针技术研究
被引量：
1
1
作者
张欢
马宗敏
谢艳娜
唐军
石云波
薛晨阳
刘俊
李艳君
机构
中北大学电子测试技术重点实验室
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
中北大学仪器与电子学院
大阪大学
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期115-118,共4页
基金
国家自然科学基金重点支持项目(91336110)
国家自然科学基金杰出青年基金(51225504)
国家自然科学基金(61274103)~~
文摘
目的制备新型导电探针,解决目前探针针尖曲率半径较粗、饱磁力大、调频困难、不容易得到高分辨图像等问题。方法向Si探针针尖蒸镀导电金属薄膜得到导电薄膜Si探针,镀Fe薄膜厚度约为几纳米,同时保证探针的曲率半径约10 nm。利用透射电镜观察和超高真空原子力显微镜扫描镀膜前后探针Na Cl(001)表面,分析其性能。结果自制的Fe薄膜Si探针由于蒸镀了金属薄膜,探针针尖性能稳定,Si探针扫描效果的悬挂键影响被消除,同时提高了系统的扫描分辨率。结论导电薄膜Si探针能够充分利用现有的仪器设备进行实验,具有造价低、使用简单、性能稳定等优点,可以作为将来磁交换力显微镜(MEx FM)的磁性探针来测试材料的表面磁信息。
关键词
导电薄膜
Si探针
原子分辨率
磁交换力显微镜
Keywords
conductive film
si probe
atomic resolution
MEx FM
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
TH742 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型AFM原子分辨率导电探针技术研究
张欢
马宗敏
谢艳娜
唐军
石云波
薛晨阳
刘俊
李艳君
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
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