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C_(60/70)薄膜与碘掺杂薄膜的椭偏光谱研究
被引量：
5
1
作者
李秋俊
张海燕
+1 位作者
李辉遒
莫党
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第3期225-229,共5页
采用真空蒸镀的方法在玻璃、石英和硅衬底上制备了Ｃ６０／７０薄膜样品，膜厚范围在１５０～７００ｎｍ．用自制的高精度、自动化光度法椭偏光谱仪在２３０～６００ｎｍ波谱范围内测量了掺碘前后Ｃ６０／７０薄膜的椭偏光谱．用洛伦兹...
采用真空蒸镀的方法在玻璃、石英和硅衬底上制备了Ｃ６０／７０薄膜样品，膜厚范围在１５０～７００ｎｍ．用自制的高精度、自动化光度法椭偏光谱仪在２３０～６００ｎｍ波谱范围内测量了掺碘前后Ｃ６０／７０薄膜的椭偏光谱．用洛伦兹振子模型分析了这些椭偏光谱，得到了洛伦兹线型参数值Ｅ０、Ｅｐ、和Γ。
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关键词
椭偏光谱
掺杂
碘
碳60/70
薄膜
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职称材料
题名
C_(60/70)薄膜与碘掺杂薄膜的椭偏光谱研究
被引量：
5
1
作者
李秋俊
张海燕
李辉遒
莫党
机构
中山大学物理系
重庆邮电学院
广东工业大学数理系
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第3期225-229,共5页
基金
广东省自然科学基金
文摘
采用真空蒸镀的方法在玻璃、石英和硅衬底上制备了Ｃ６０／７０薄膜样品，膜厚范围在１５０～７００ｎｍ．用自制的高精度、自动化光度法椭偏光谱仪在２３０～６００ｎｍ波谱范围内测量了掺碘前后Ｃ６０／７０薄膜的椭偏光谱．用洛伦兹振子模型分析了这些椭偏光谱，得到了洛伦兹线型参数值Ｅ０、Ｅｐ、和Γ。
关键词
椭偏光谱
掺杂
碘
碳60/70
薄膜
Keywords
C
60/
70
,spectroscopic ellipsometry, doping.
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
O635.1 [理学—高分子化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
C_(60/70)薄膜与碘掺杂薄膜的椭偏光谱研究
李秋俊
张海燕
李辉遒
莫党
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999
5
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参考文献
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