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沉积温度对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响
1
作者
徐强
杨光敏
+1 位作者
秦宏宇
白继鹏
《吉林大学学报（理学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期378-381,共4页
采用磁控溅射技术沉积碳化钒(VC)纳米薄膜,研究温度对VC薄膜的微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响,并分析其内在关系.结果表明,沉积温度升高对VC薄膜的相结构和摩擦系数影响较小,有利于降低薄膜中的应力和粗糙度,可提高薄膜的硬度.
关键词
基底温度
薄膜
摩擦学性能
碳化钒纳米薄膜
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职称材料
题名
沉积温度对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响
1
作者
徐强
杨光敏
秦宏宇
白继鹏
机构
长春工程学院勘查与测绘工程学院
长春师范大学物理学院
吉林大学材料科学与工程学院
出处
《吉林大学学报（理学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期378-381,共4页
基金
吉林省教育厅"十二五"科学技术研究项目(批准号:2014-326)
吉林省科技厅基金项目(批准号:2014-0101061JC)
文摘
采用磁控溅射技术沉积碳化钒(VC)纳米薄膜,研究温度对VC薄膜的微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响,并分析其内在关系.结果表明,沉积温度升高对VC薄膜的相结构和摩擦系数影响较小,有利于降低薄膜中的应力和粗糙度,可提高薄膜的硬度.
关键词
基底温度
薄膜
摩擦学性能
碳化钒纳米薄膜
Keywords
deposition temperature
thin film
tribological property
VC nano thin film
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
沉积温度对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响
徐强
杨光敏
秦宏宇
白继鹏
《吉林大学学报（理学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2016
0
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