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碲镉汞集成偏振探测器应力分析 被引量:1
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作者 林国画 徐长彬 +1 位作者 吴卿 李雪梨 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2020年第9期1104-1108,共5页
红外碲镉汞集成偏振探测器的结构是采用多个芯片叠层的方式,由于各层的材料不同,热膨胀系数不同,在低温下工作时各层界面之间存在应力,应力控制的不好会造成芯片裂片等情况,导致探测器性能劣化或无法使用。本文对长波320×256碲镉... 红外碲镉汞集成偏振探测器的结构是采用多个芯片叠层的方式,由于各层的材料不同,热膨胀系数不同,在低温下工作时各层界面之间存在应力,应力控制的不好会造成芯片裂片等情况,导致探测器性能劣化或无法使用。本文对长波320×256碲镉汞集成偏振探测器的裂片现象进行了分析,对存在的应力运用软件进行了仿真,得到了碲镉汞芯片上的应力值及减小应力的方向。针对仿真分析的结果进行了相应的铟柱降低、碲锌镉衬底减薄的试验,解决了碲镉汞集成偏振探测器的裂片现象。 展开更多
关键词 碲镉汞集成偏振探测器 应力 铟柱 减薄
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长波碲镉汞集成偏振探测器的设计 被引量:1
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作者 林国画 李燕兰 +2 位作者 张磊 张璐 邢艳蕾 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2022年第10期1516-1520,共5页
红外探测器已经得到了广泛的应用,近年来,对红外探测器的探测、识别能力提出了更高的要求,迫切需要红外探测器进行创新发展。随着微电子工艺的快速进步,使多种功能的芯片集成在红外探测器上成为可能,也为红外探测器进行创新提供了基础... 红外探测器已经得到了广泛的应用,近年来,对红外探测器的探测、识别能力提出了更高的要求,迫切需要红外探测器进行创新发展。随着微电子工艺的快速进步,使多种功能的芯片集成在红外探测器上成为可能,也为红外探测器进行创新提供了基础。本文介绍了偏振探测功能在长波碲镉汞探测器上的集成设计、相应的设计验证结果以及成像试验情况,这些工作的介绍为集成红外探测器的开发提供了良好的借鉴。 展开更多
关键词 集成探测器 结构 消光比
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中波碲镉汞红外偏振焦平面探测器的制备研究(特邀) 被引量:2
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作者 杨超伟 封远庆 +7 位作者 李东升 李宁 赵永强 舒畅 辛永刚 李永亮 左大凡 唐遥 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2021年第1期58-62,共5页
针对隐身等多类高价值目标精确探测与识别以及探测技术持续发展需求,为实现复杂战场环境下的高概率真假目标识别和高精度目标检测、定位、跟踪,开展复杂战场环境下隐身及微弱特征目标探测及抗干扰探测等技术研究意义重大,其中高集成度... 针对隐身等多类高价值目标精确探测与识别以及探测技术持续发展需求,为实现复杂战场环境下的高概率真假目标识别和高精度目标检测、定位、跟踪,开展复杂战场环境下隐身及微弱特征目标探测及抗干扰探测等技术研究意义重大,其中高集成度的焦平面型偏振红外探测器技术是其中一个重要方向。围绕集成式中波(MW)256×256碲镉汞红外偏振焦平面探测器的研制,介绍了偏振结构的设计、制备到偏振探测器的集成,以及偏振探测器性能的测试等方面的研究进展状况,设计加工出了亚波长金属光栅阵列,采用倒装互连的方式实现了偏振探测器的集成,并在MW 256×256碲镉汞焦平面器件上实现了红外偏振性能的测试和评估。 展开更多
关键词 红外焦平面探测器
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中波红外集成偏振光栅结构参数对偏振性能影响仿真分析 被引量:1
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作者 王伟平 于佳睿 +1 位作者 胡小燕 赵少宇 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2021年第11期95-102,共8页
中红外集成偏振焦平面探测技术将偏振探测技术与中波红外焦平面成像探测技术融合,通过异质集成的方式实现偏振光栅和探测器的单片集成,具有体积小、质量轻,机械稳定性高等优势,可实现多偏振方向的同时成像。像元级的亚波长金属光栅可实... 中红外集成偏振焦平面探测技术将偏振探测技术与中波红外焦平面成像探测技术融合,通过异质集成的方式实现偏振光栅和探测器的单片集成,具有体积小、质量轻,机械稳定性高等优势,可实现多偏振方向的同时成像。像元级的亚波长金属光栅可实现不同偏振方向的高消光比,然而金属材料的选择、光栅的周期、占空比、厚度等参数均会影响偏振探测器的偏振性能。给出了亚波长金属光栅的理论分析,建立了中波红外集成偏振HgCdTe探测器的偏振性能仿真模型,对不同光栅参数对探测器偏振性能影响进行了仿真分析,确定了Al光栅周期200~400 nm,占空比0.5~0.7,厚度>100 nm的参数选择。仿真分析得到在±14°入射角范围内,偏振消光比变化较小。同时,引入了Si基HgCdTe探测器,仿真分析了SiO_(2)增透膜厚度对偏振消光比的影响,确定了SiO_(2)最佳厚度在500 nm附近,对Si基和CdZnTe衬底集成偏振HgCdTe探测器的消光比进行比对,得出了Si基探测器偏振性能更优。仿真结果可为中波红外集成偏振HgCdTe探测器偏振光栅的设计提供理论指导和参考。 展开更多
关键词 中波红外 焦平面探测器 亚波长金属光栅 仿真
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A monolithic integrated medium wave Mercury Cadmium Telluride polarimetric focal plane array
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作者 CHEN Ze-Ji HUANG You-Wen +4 位作者 PU En-Xiang XIAO Hui-Shan XU Shi-Chun QIN Qiang KONG Jin-Cheng 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期479-489,共11页
A medium wave(MW)640×512(25μm)Mercury Cadmium Telluride(HgCdTe)polarimetric focal plane array(FPA)was demonstrated.The micro-polarizer array(MPA)has been carefully designed in terms of line grating structure opt... A medium wave(MW)640×512(25μm)Mercury Cadmium Telluride(HgCdTe)polarimetric focal plane array(FPA)was demonstrated.The micro-polarizer array(MPA)has been carefully designed in terms of line grating structure optimization and crosstalk suppression.A monolithic fabrication process with low damage was explored,which was verified to be compatible well with HgCdTe devices.After monolithic integration of MPA,NETD<9.5 mK was still maintained.Furthermore,to figure out the underlying mechanism that dominat⁃ed the extinction ratio(ER),specialized MPA layouts were designed,and the crosstalk was experimentally vali⁃dated as the major source that impacted ER.By expanding opaque regions at pixel edges to 4μm,crosstalk rates from adjacent pixels could be effectively reduced to approximately 2%,and promising ERs ranging from 17.32 to 27.41 were implemented. 展开更多
关键词 infrared physics infrared polarimetric focal plane array monolithic integration Mercury Cadmium Telluride extinction ratio
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