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题名碲锌镉晶体常用腐蚀剂的坑形特性研究
被引量：5
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作者
刘从峰
方维政
涂步华
孙士文
杨建荣
何力
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机构
中国科学院上海技术物理研究所功能材料与器件研究中心
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006年第6期759-763,共5页
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基金
国家自然科学基金委创新研究群体科学基金支持(60221502)
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文摘
大面积、高质量碲锌镉单晶是制备碲镉汞红外焦平面器件的理想衬底材料,而腐蚀法是常用的揭示碲锌镉晶体缺陷和评价晶体质量的方法之一。对碲锌镉晶体常用的Nakagawa、Everson、EAg1和EAg2四种腐蚀剂在碲锌镉材料(111)晶面上的腐蚀坑坑形进行了研究,结果发现,EAg2腐蚀剂在(111)B面上的腐蚀坑为平底坑,Everson腐蚀剂在(111)B面上产生的腐蚀坑包括平底坑和带有不同倾斜方向坑底的三角锥形坑,进一步的研究还表明,三角锥形坑并未沿着坑底的倾斜方向向下延伸。实验中也首次观察到了EAg腐蚀剂的黑白平底坑。对常用腐蚀剂的坑形特性研究,将有助于更好地利用腐蚀剂开展碲锌镉材料缺陷研究和晶体质量评价工作。
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关键词
腐蚀坑
碲锌镉
碲镉汞红外焦平面
缺陷
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Keywords
Etch pit
CdZnTe
MCT IRFPA
Defects
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分类号
TN304
[电子电信—物理电子学]
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题名碲锌镉晶体第二相夹杂物特性研究
被引量：1
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作者
刘从峰
孙士文
方维政
杨建荣
何力
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机构
中国科学院上海技术物理研究所功能材料与器件研究中心
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第z1期46-49,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60606026)
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文摘
高质量的碲锌镉单晶是制备碲镉汞红外焦平面器件的理想衬底材料,然而目前碲锌镉材料中的第二相夹杂物严重制约着晶体的质量.根据红外透射形貌的描述和表征,碲锌镉晶体的常见夹杂物被分成了五类,并在此基础上讨论了各自的形成机制,A、B和C类夹杂物与化学配比及其变化密切相关,而D和E类夹杂物与源材料中或者在生长工艺控制过程中氧含量相关.进一步的研究表明大尺寸、高密度的Te夹杂物将会严重降低红外透过率,同时腐蚀坑密集分布在与Cd夹杂对应的六重对称线上,该结果揭示了第二相夹杂物会产生其他缺陷的增殖,但夹杂物引起的应力影响区域是局限的.
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关键词
第二相夹杂物
碲锌镉
腐蚀坑
碲镉汞红外焦平面
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分类号
TN304
[电子电信—物理电子学]
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