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ITO/BZO复合薄膜制备及在非晶硅薄膜太阳能电池的应用
被引量：
6
1
作者
黄建华
刘怀周
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期515-519,共5页
采用低压化学气相沉积(LPCVD)法在沉积ITO薄膜的玻璃衬底上制备了硼掺杂氧化锌(BZO)薄膜,研究了ITO缓冲层对ITO/BZO复合薄膜表观形貌、导电性能和光学性能的影响;并研究了ITO/BZO薄膜在非晶硅薄膜太阳能电池的应用。结果表明,以ITO作为...
采用低压化学气相沉积(LPCVD)法在沉积ITO薄膜的玻璃衬底上制备了硼掺杂氧化锌(BZO)薄膜,研究了ITO缓冲层对ITO/BZO复合薄膜表观形貌、导电性能和光学性能的影响;并研究了ITO/BZO薄膜在非晶硅薄膜太阳能电池的应用。结果表明,以ITO作为缓冲层来沉积BZO薄膜,有利于BZO晶粒尺寸的长大,并可以显著提高BZO薄膜的导电能力。ITO/BZO复合薄膜具有相对较高的导电能力和光学透光率,应用在非晶硅薄膜太阳能电池时转化效率提高0.20%。
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关键词
透明导电
氧化
物
硼掺杂氧化锌
复合薄膜
低压化学沉积
非晶硅薄膜太阳能电池
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职称材料
题名
ITO/BZO复合薄膜制备及在非晶硅薄膜太阳能电池的应用
被引量：
6
1
作者
黄建华
刘怀周
机构
湖南理工职业技术学院太阳能工程系
湖南共创光伏科技有限公司
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期515-519,共5页
基金
2014年教育厅科学研究项目(14C0534)
文摘
采用低压化学气相沉积(LPCVD)法在沉积ITO薄膜的玻璃衬底上制备了硼掺杂氧化锌(BZO)薄膜,研究了ITO缓冲层对ITO/BZO复合薄膜表观形貌、导电性能和光学性能的影响;并研究了ITO/BZO薄膜在非晶硅薄膜太阳能电池的应用。结果表明,以ITO作为缓冲层来沉积BZO薄膜,有利于BZO晶粒尺寸的长大,并可以显著提高BZO薄膜的导电能力。ITO/BZO复合薄膜具有相对较高的导电能力和光学透光率,应用在非晶硅薄膜太阳能电池时转化效率提高0.20%。
关键词
透明导电
氧化
物
硼掺杂氧化锌
复合薄膜
低压化学沉积
非晶硅薄膜太阳能电池
Keywords
transparent conductive oxide
boron-doped zinc oxide
composite thin film
low pressure chemical vapor deposition
amorphous silicon thin film solar cell
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
ITO/BZO复合薄膜制备及在非晶硅薄膜太阳能电池的应用
黄建华
刘怀周
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
6
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