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磁流变抛光光学表面加工面形控制技术研究
被引量：
7
1
作者
康桂文
张飞虎
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2010年第5期77-79,82,共4页
磁流变抛光是一种新型超精密光学表面加工方法。由于其抛光过程可控,磁流变抛光过程可以有效去除表面及亚表面破坏层,提高表面质量,修正元器件表面面形误差。抛光过程容易实现计算机数控,通过数控过程的合理设计,磁流变抛光过程可以有...
磁流变抛光是一种新型超精密光学表面加工方法。由于其抛光过程可控,磁流变抛光过程可以有效去除表面及亚表面破坏层,提高表面质量,修正元器件表面面形误差。抛光过程容易实现计算机数控,通过数控过程的合理设计,磁流变抛光过程可以有效地对球面及非球表面进行抛光加工。研究了实现面形修正的驻留时间算法,并对光学球面器件进行了试验加工,抛光后其表面面形误差2点峰谷值从0.17μm降低到0.07μm。
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关键词
磁流变抛光
非球面
确定性
光学
加工
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职称材料
大口径光学元件的机械手抛光
被引量：
11
2
作者
王朋
陈亚
+4 位作者
宣斌
李俊峰
陈晓苹
宋淑梅
谢京江
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期1077-1085,共9页
为满足大口径光学元件多模式组合加工技术(MCM)的需要,研制了JP-01型数控抛光机械手。该机械手采用柱坐标结构,ρ-θ极坐标运动方式,ρ、θ两轴联动完成MCM加工所需各种运动。运用齐次坐标变换理论和Preston方程,在分析机械手抛光过程...
为满足大口径光学元件多模式组合加工技术(MCM)的需要,研制了JP-01型数控抛光机械手。该机械手采用柱坐标结构,ρ-θ极坐标运动方式,ρ、θ两轴联动完成MCM加工所需各种运动。运用齐次坐标变换理论和Preston方程,在分析机械手抛光过程中工件表面上任意一点的相对速度、压强及抛光时间的基础上,建立了机械手抛光的材料去除数学模型,同时求解了JP-01型机械手的位姿转换矩阵。运用所建立的数学模型对MCM加工中修正环带误差和局部误差时单个抛光盘常用运动模式的材料去除特性进行了计算机模拟。应用JP-01型机械手对一口径为240 mm,F数为1.5的球面反射镜进行了确定性抛光实验,最终面形精度达到14.6 nm(RMS)。实验表明,所测得数据与理论分析数据吻合,建立的数学模型能真实反映材料去除分布特性,可以指导抛光实现确定性加工,JP-01型机械手能够提供MCM加工所需运动形式。
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关键词
大口径光学元件
机械手
确定性加工
材料去除
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职称材料
基于频域分析的抗振移相干涉测量
被引量：
5
3
作者
刘乾
王洋
+2 位作者
吉方
何建国
张连新
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期252-259,共8页
针对移相干涉测量中振动引起的移相误差和对比度变化,提出了一种从空间载波干涉图频谱中提取移相和对比度信息的方法。该方法通过分析载波干涉图频谱,从基带和边带中提取移相和对比度信息,运用最小二乘法补偿对比度变化并复原波前位相...
针对移相干涉测量中振动引起的移相误差和对比度变化,提出了一种从空间载波干涉图频谱中提取移相和对比度信息的方法。该方法通过分析载波干涉图频谱,从基带和边带中提取移相和对比度信息,运用最小二乘法补偿对比度变化并复原波前位相。最后采用构造平滑孔径函数对带有孔径的干涉图进行处理。数值仿真证明:提出的方法可以高精度检测移相量和对比度变化,能够有效补偿因对比度变化引起的位相复原误差。在频率为9Hz、幅度为0.5μm的简谐振动条件下实验验证了本文方法的实用性。结果显示:从受振动干扰的干涉图中复原平晶表面时,其复原误差PV值小于0.015波长。该方法无需硬件改动,有望为移相干涉测量应用于现场测量提供一种低成本的解决方法。
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关键词
移相干涉术
确定性加工
振动
频域分析
现场测量
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职称材料
题名
磁流变抛光光学表面加工面形控制技术研究
被引量：
7
1
作者
康桂文
张飞虎
机构
沈阳航空工业学院
哈尔滨工业大学
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2010年第5期77-79,82,共4页
文摘
磁流变抛光是一种新型超精密光学表面加工方法。由于其抛光过程可控,磁流变抛光过程可以有效去除表面及亚表面破坏层,提高表面质量,修正元器件表面面形误差。抛光过程容易实现计算机数控,通过数控过程的合理设计,磁流变抛光过程可以有效地对球面及非球表面进行抛光加工。研究了实现面形修正的驻留时间算法,并对光学球面器件进行了试验加工,抛光后其表面面形误差2点峰谷值从0.17μm降低到0.07μm。
关键词
磁流变抛光
非球面
确定性
光学
加工
Keywords
magnetorheological finishing
asphere
deterministic optics manufacturing
分类号
TG58 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TH117 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
大口径光学元件的机械手抛光
被引量：
11
2
作者
王朋
陈亚
宣斌
李俊峰
陈晓苹
宋淑梅
谢京江
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期1077-1085,共9页
基金
中国科学院三期知识创新工程资助项目
文摘
为满足大口径光学元件多模式组合加工技术(MCM)的需要,研制了JP-01型数控抛光机械手。该机械手采用柱坐标结构,ρ-θ极坐标运动方式,ρ、θ两轴联动完成MCM加工所需各种运动。运用齐次坐标变换理论和Preston方程,在分析机械手抛光过程中工件表面上任意一点的相对速度、压强及抛光时间的基础上,建立了机械手抛光的材料去除数学模型,同时求解了JP-01型机械手的位姿转换矩阵。运用所建立的数学模型对MCM加工中修正环带误差和局部误差时单个抛光盘常用运动模式的材料去除特性进行了计算机模拟。应用JP-01型机械手对一口径为240 mm,F数为1.5的球面反射镜进行了确定性抛光实验,最终面形精度达到14.6 nm(RMS)。实验表明,所测得数据与理论分析数据吻合,建立的数学模型能真实反映材料去除分布特性,可以指导抛光实现确定性加工,JP-01型机械手能够提供MCM加工所需运动形式。
关键词
大口径光学元件
机械手
确定性加工
材料去除
Keywords
large aperture mirror
manipulator
deterministic process
material removal
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
TP241.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于频域分析的抗振移相干涉测量
被引量：
5
3
作者
刘乾
王洋
吉方
何建国
张连新
机构
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期252-259,共8页
基金
国家科技重大专项资助项目(No.2013ZX04006011)
文摘
针对移相干涉测量中振动引起的移相误差和对比度变化,提出了一种从空间载波干涉图频谱中提取移相和对比度信息的方法。该方法通过分析载波干涉图频谱,从基带和边带中提取移相和对比度信息,运用最小二乘法补偿对比度变化并复原波前位相。最后采用构造平滑孔径函数对带有孔径的干涉图进行处理。数值仿真证明:提出的方法可以高精度检测移相量和对比度变化,能够有效补偿因对比度变化引起的位相复原误差。在频率为9Hz、幅度为0.5μm的简谐振动条件下实验验证了本文方法的实用性。结果显示:从受振动干扰的干涉图中复原平晶表面时,其复原误差PV值小于0.015波长。该方法无需硬件改动,有望为移相干涉测量应用于现场测量提供一种低成本的解决方法。
关键词
移相干涉术
确定性加工
振动
频域分析
现场测量
Keywords
phase-shifting interferometry
deterministic manufacturing
vibration
frequency domain analysis
on-machine testing
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁流变抛光光学表面加工面形控制技术研究
康桂文
张飞虎
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2010
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
大口径光学元件的机械手抛光
王朋
陈亚
宣斌
李俊峰
陈晓苹
宋淑梅
谢京江
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
11
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于频域分析的抗振移相干涉测量
刘乾
王洋
吉方
何建国
张连新
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
5
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