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磁流变抛光光学表面加工面形控制技术研究
被引量:
7
1
作者
康桂文
张飞虎
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2010年第5期77-79,82,共4页
磁流变抛光是一种新型超精密光学表面加工方法。由于其抛光过程可控,磁流变抛光过程可以有效去除表面及亚表面破坏层,提高表面质量,修正元器件表面面形误差。抛光过程容易实现计算机数控,通过数控过程的合理设计,磁流变抛光过程可以有...
磁流变抛光是一种新型超精密光学表面加工方法。由于其抛光过程可控,磁流变抛光过程可以有效去除表面及亚表面破坏层,提高表面质量,修正元器件表面面形误差。抛光过程容易实现计算机数控,通过数控过程的合理设计,磁流变抛光过程可以有效地对球面及非球表面进行抛光加工。研究了实现面形修正的驻留时间算法,并对光学球面器件进行了试验加工,抛光后其表面面形误差2点峰谷值从0.17μm降低到0.07μm。
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关键词
磁流变抛光
非球面
确定性光学加工
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职称材料
题名
磁流变抛光光学表面加工面形控制技术研究
被引量:
7
1
作者
康桂文
张飞虎
机构
沈阳航空工业学院
哈尔滨工业大学
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2010年第5期77-79,82,共4页
文摘
磁流变抛光是一种新型超精密光学表面加工方法。由于其抛光过程可控,磁流变抛光过程可以有效去除表面及亚表面破坏层,提高表面质量,修正元器件表面面形误差。抛光过程容易实现计算机数控,通过数控过程的合理设计,磁流变抛光过程可以有效地对球面及非球表面进行抛光加工。研究了实现面形修正的驻留时间算法,并对光学球面器件进行了试验加工,抛光后其表面面形误差2点峰谷值从0.17μm降低到0.07μm。
关键词
磁流变抛光
非球面
确定性光学加工
Keywords
magnetorheological finishing
asphere
deterministic optics manufacturing
分类号
TG58 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TH117 [机械工程—机械设计及理论]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
磁流变抛光光学表面加工面形控制技术研究
康桂文
张飞虎
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2010
7
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