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题名涡轮分子泵的整机动平衡
被引量：2
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作者
黄迪南
沈祖培
赵鸿宾
张济端
刘宝湘
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机构
清华大学工程物理系
中国科学院科学器仪厂
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出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1990年第4期228-233,共6页
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文摘
由于涡轮分子泵在高转速下工作作,其转子的不平衡量引起的振动将会影响分子泵的性能和工作环境,严重时可引起破坏,因此,对分子泵的转子必须经过严格的动平衡。本文介绍了用影响系数法对FB-110型涡轮分子泵进行整机动平衡的步骤,以及测量不平衡响应幅值、相位的方法,并用计算机程序控制平衡过程,程序采用人机对话的方式,简单易懂。实验结果表明。影响系数法平衡涡轮分子泵是切实可行的,而且残余不平衡响应可低于设计指标的要求。分子泵外壳振动通常小于0.05μm。
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关键词
涡轮分子泵
平衡转速
影响系数法
不平衡响应
计算机程序
不平衡量
硬支承平衡机
电荷放大器
工作环境
转速测量
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分类号
TB7-55
[一般工业技术—真空技术]
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