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系统级模拟的MEMS器件宏模型
被引量：
6
1
作者
戎华
黄庆安
李伟华
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002年第5期366-371,共6页
MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型 ,该宏模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的宏模型。本文介绍了常用的等...
MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型 ,该宏模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的宏模型。本文介绍了常用的等效电路宏模型和硬件描述语言宏模型的建立方法以及这两种宏模型的优缺点。
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关键词
MEMS器件
系统级模拟
等效电路
宏
模型
硬件描述语言宏模型
微机电系统
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职称材料
题名
系统级模拟的MEMS器件宏模型
被引量：
6
1
作者
戎华
黄庆安
李伟华
机构
东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002年第5期366-371,共6页
文摘
MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型 ,该宏模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的宏模型。本文介绍了常用的等效电路宏模型和硬件描述语言宏模型的建立方法以及这两种宏模型的优缺点。
关键词
MEMS器件
系统级模拟
等效电路
宏
模型
硬件描述语言宏模型
微机电系统
Keywords
System level simulation,Equivalent circuit macromodels,HDL macromodels
分类号
TH－39 [机械工程]
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
系统级模拟的MEMS器件宏模型
戎华
黄庆安
李伟华
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002
6
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