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题名单芯体硅-蓝宝石压差传感器研制
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作者
王俊巍
马明宇
谢胜秋
王明伟
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机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2021年第4期80-82,85,共4页
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文摘
根据航空发动机系统的应用环境研制一种单芯体压差传感器,传感器基于蓝宝石衬底上硅的压阻效应进行测量。与目前市场常见含油封单芯体压差芯体不同,其芯片直接烧结在膜片上,芯片通过感受金属膜片正反受力形成的合力来测量压差信号,避免了含油封芯体油介质不能耐高温和大背压过载的缺点,大幅提高了传感器耐高温能力和长期承压的可靠性。本文介绍了单芯体硅-蓝宝石压差传感器的原理及设计与实现,主要包括芯体结构设计和电路设计等。传感器通过性能试验及环境适应性试验的考核,并在发动机上随整机进行了相关热试车试验,结果证明传感器能够满足发动机使用要求。
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关键词
硅-蓝宝石芯体
一体式
柱塞头
压差传感器
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Keywords
silicon-on-sapphire core
one-piece
plunger head
differential pressure sensor
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分类号
TP212.11
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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