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硅-蓝宝石压力传感器芯片调整电阻的设计
被引量：
3
1
作者
姚东媛
文彬
+1 位作者
谢胜秋
邹向光
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004年第9期40-41,44,共3页
介绍了硅-蓝宝石压力传感器芯片外延硅层上调整电阻的设计和应用,通过设计调整电阻来实现芯片的电桥平衡,达到了调整其输出特性、改善传感器性能、提高芯片适用性的目的。
关键词
硅
-
蓝宝石
压力
传感器
芯片
调整电阻
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职称材料
硅—蓝宝石高温大量程压力传感器设计
被引量：
8
2
作者
闻化
张爱平
+2 位作者
张枫
高成臣
姚东嫒
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第12期97-99,共3页
介绍了一种硅-蓝宝石高温大量程压力传感器的设计，提出了采用小直径C型膜片的一体化结构，通过合理排布力敏电阻条位置，能够制作出高精度大量程压力传感器。采用该设计研制出了量程分别为60MPa和100MPa压力传感器，其工作温度范围为-5...
介绍了一种硅-蓝宝石高温大量程压力传感器的设计，提出了采用小直径C型膜片的一体化结构，通过合理排布力敏电阻条位置，能够制作出高精度大量程压力传感器。采用该设计研制出了量程分别为60MPa和100MPa压力传感器，其工作温度范围为-50-350℃；满量程输出≥100mV；精度优于0．1％；迟滞与重复性均优于0．05％FS。
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关键词
硅
-
蓝宝石
压力
传感器
结构设计
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职称材料
硅-蓝宝石绝压传感器陶瓷密封结构设计与分析
被引量：
2
3
作者
姚东媛
夏航
+1 位作者
王俊巍
谢胜秋
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第8期65-68,共4页
介绍了硅-蓝宝石绝压传感器中氧化铝陶瓷-钛合金的真空密封参考腔小型化结构设计,探讨了异质材料不匹配引起的陶瓷断裂问题,对陶瓷-钛合金封装结构的应力情况进行了计算和分析,通过中间缓冲层设计、减小陶瓷承受的结构残余应力,消除了...
介绍了硅-蓝宝石绝压传感器中氧化铝陶瓷-钛合金的真空密封参考腔小型化结构设计,探讨了异质材料不匹配引起的陶瓷断裂问题,对陶瓷-钛合金封装结构的应力情况进行了计算和分析,通过中间缓冲层设计、减小陶瓷承受的结构残余应力,消除了由陶瓷断裂导致的密封失效;选择热胀系数相近的可伐中间层材料,对比不同厚度缓冲层产生的残余应力,优化中间层结构,采用LTCC加工技术与真空钎焊工艺结合制作了陶瓷-可伐-钛合金密封组件,并通过了高、低温度试验考核:组件密封漏率小于1×10^(-10)Pa·m^3/s,密封可靠,满足绝压传感器使用寿命的要求。
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关键词
硅
-
蓝宝石
绝压
传感器
氧化铝陶瓷
真空密封结构
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职称材料
硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试
被引量：
1
4
作者
陈绍凤
夏善红
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2002年第1期34-38,共5页
封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ,在计算机模拟计算的基础上 ,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ,得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ,电压 45...
封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ,在计算机模拟计算的基础上 ,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ,得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ,电压 45V时发射电流可达到86mA ,平均每个硅尖为 2 1 μA)、压力特性曲线 (呈线性变化 ,与计算机模拟计算的曲线相近 )及灵敏度数据。电压 1 .5V即可测试并且其压力特性成线性变化 ,灵敏度为 0 .3 μA/kPa。
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关键词
真空微电子
压力
传感器
压力
特性
测试
硅
尖阵列
-
敏感薄膜复合型阴极
计算机模拟
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职称材料
单芯体硅-蓝宝石压差传感器研制
5
作者
王俊巍
马明宇
+1 位作者
谢胜秋
王明伟
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2021年第4期80-82,85,共4页
根据航空发动机系统的应用环境研制一种单芯体压差传感器,传感器基于蓝宝石衬底上硅的压阻效应进行测量。与目前市场常见含油封单芯体压差芯体不同,其芯片直接烧结在膜片上,芯片通过感受金属膜片正反受力形成的合力来测量压差信号,避免...
根据航空发动机系统的应用环境研制一种单芯体压差传感器,传感器基于蓝宝石衬底上硅的压阻效应进行测量。与目前市场常见含油封单芯体压差芯体不同,其芯片直接烧结在膜片上,芯片通过感受金属膜片正反受力形成的合力来测量压差信号,避免了含油封芯体油介质不能耐高温和大背压过载的缺点,大幅提高了传感器耐高温能力和长期承压的可靠性。本文介绍了单芯体硅-蓝宝石压差传感器的原理及设计与实现,主要包括芯体结构设计和电路设计等。传感器通过性能试验及环境适应性试验的考核,并在发动机上随整机进行了相关热试车试验,结果证明传感器能够满足发动机使用要求。
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关键词
硅
-
蓝宝石
芯体
一体式
柱塞头
压差
传感器
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职称材料
SOS压力传感器温度的补偿
被引量：
3
6
作者
莫长涛
陈长征
+1 位作者
张黎丽
孙凤久
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期160-163,共4页
分析了硅 蓝宝石(SOS)压力传感器的温度特性,表明测量范围较宽时,传感器的输出易受环境温度的影响,并且成非线性·提出一种基于神经网络共轭梯度算法的硅 蓝宝石压力传感器温度补偿方法·利用神经网络共轭梯度算法具有逼近任意...
分析了硅 蓝宝石(SOS)压力传感器的温度特性,表明测量范围较宽时,传感器的输出易受环境温度的影响,并且成非线性·提出一种基于神经网络共轭梯度算法的硅 蓝宝石压力传感器温度补偿方法·利用神经网络共轭梯度算法具有逼近任意非线性函数的特点,通过训练使神经网络建立在不同环境温度下传感器输出与其实际感受的电压值之间的非线性映射关系,实现硅 蓝宝石压力传感器温度补偿·计算机仿真表明,该方法不仅能有效地消除温度的影响,而且能在神经网络的输出端得到期望的线性输出·
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关键词
硅-蓝宝石压力传感器
环境温度
非线性
神经网络
共轭梯度算法
补偿
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职称材料
宽温区工作压力传感器热力学研究
被引量：
4
7
作者
姚东媛
谢胜秋
+1 位作者
王俊巍
吴佐飞
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第6期28-31,共4页
介绍了硅—蓝宝石压力传感器的钛合金—蓝宝石复合弹性膜片在宽温区工作时温度变化材料不匹配引起的结构热应力,对弹性膜片的受热情况进行了分析,对不同结构形式传感器热稳定性影响程度进行了对比,利用P型掺杂硅温度特性减少结构热应力...
介绍了硅—蓝宝石压力传感器的钛合金—蓝宝石复合弹性膜片在宽温区工作时温度变化材料不匹配引起的结构热应力,对弹性膜片的受热情况进行了分析,对不同结构形式传感器热稳定性影响程度进行了对比,利用P型掺杂硅温度特性减少结构热应力影响、降低传感器的热零点漂移。通过膜片结构选择和设计、材料选择、工艺优化和控制等可以使硅—蓝宝石压力传感器在-55~350℃宽温度范围内工作时热漂移不大于0.015%FS/℃,提高了宽温区工作时传感器的热稳定性。
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关键词
硅
—
蓝宝石
压力
传感器
弹性膜片
热特性
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职称材料
新型宽温区压力传感器技术
被引量：
4
8
作者
段磊
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第12期17-18,共2页
为研制新型耐高温和耐低温压力传感器,提出了一种基于SOS(蓝宝石上硅)技术制造的压力传感器。所述硅-蓝宝石压力传感器采用先封装再刻制应变电阻的新工艺,制成的应变电阻和补偿用热电阻精度高、质量好,且在整个工艺流程中不使用化学药品...
为研制新型耐高温和耐低温压力传感器,提出了一种基于SOS(蓝宝石上硅)技术制造的压力传感器。所述硅-蓝宝石压力传感器采用先封装再刻制应变电阻的新工艺,制成的应变电阻和补偿用热电阻精度高、质量好,且在整个工艺流程中不使用化学药品,对环境无污染。制成的硅-蓝宝石压力传感器,可以测量在-55^+400℃宽温区范围内的流体压力,并可以同时测量温度。给出了该传感器的试验数据,得到了比较满意的结果。
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关键词
宽温区
压力
传感器
蓝宝石
上
硅
技术
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职称材料
临近空间飞行高温真空光纤绝压传感器设计
被引量：
1
9
作者
张雨彤
江毅
+1 位作者
杨水旺
张大有
《火箭推进》
CAS
北大核心
2024年第3期118-123,共6页
研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-P...
研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-Perot,FP)腔,可以同时测量温度和绝对压力,通过实时监测温度,对压力测量进行温度补偿,去除温度对压力测量的影响。实验结果表明:900℃内的每个温度点下,密封FP腔的光学腔长随压力线性变化;室温下,压力灵敏度为11.6 nm/kPa,压力灵敏度随温度的上升略微升高,压力测量的分辨率达到86 Pa。
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关键词
光纤
压力
传感器
非本征法布里
-
珀罗干涉仪
蓝宝石
晶片
绝对
压力
测量
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职称材料
高可靠SOS固态压力传感器
10
作者
陈庆贵
史日华
+1 位作者
滕征杰
许和平
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1990年第4期33-37,共5页
本文报导了高可靠SOS压力传感器研制的实验结果,特别是可靠性试验方法和应用效果。所得传感器的主要性能为:量程0～20MPa,工作温度-55°～300℃,精度0.2～0.5％,满度输出100±20mV,平均寿命(MTTF)≥1×10~6次。
关键词
压力
传感器
SOS
固态
硅
-
蓝宝石
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职称材料
题名
硅-蓝宝石压力传感器芯片调整电阻的设计
被引量：
3
1
作者
姚东媛
文彬
谢胜秋
邹向光
机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004年第9期40-41,44,共3页
文摘
介绍了硅-蓝宝石压力传感器芯片外延硅层上调整电阻的设计和应用,通过设计调整电阻来实现芯片的电桥平衡,达到了调整其输出特性、改善传感器性能、提高芯片适用性的目的。
关键词
硅
-
蓝宝石
压力
传感器
芯片
调整电阻
Keywords
silicon on sapphire
pressure sensor chip
adjusting resistance
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
硅—蓝宝石高温大量程压力传感器设计
被引量：
8
2
作者
闻化
张爱平
张枫
高成臣
姚东嫒
机构
空军驻黑龙江地区军事代表室
中国电子科技集团公司第四十九研究所
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第12期97-99,共3页
文摘
介绍了一种硅-蓝宝石高温大量程压力传感器的设计，提出了采用小直径C型膜片的一体化结构，通过合理排布力敏电阻条位置，能够制作出高精度大量程压力传感器。采用该设计研制出了量程分别为60MPa和100MPa压力传感器，其工作温度范围为-50-350℃；满量程输出≥100mV；精度优于0．1％；迟滞与重复性均优于0．05％FS。
关键词
硅
-
蓝宝石
压力
传感器
结构设计
Keywords
silicon on sapphire
pressure sensor
structure design
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
硅-蓝宝石绝压传感器陶瓷密封结构设计与分析
被引量：
2
3
作者
姚东媛
夏航
王俊巍
谢胜秋
机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第8期65-68,共4页
文摘
介绍了硅-蓝宝石绝压传感器中氧化铝陶瓷-钛合金的真空密封参考腔小型化结构设计,探讨了异质材料不匹配引起的陶瓷断裂问题,对陶瓷-钛合金封装结构的应力情况进行了计算和分析,通过中间缓冲层设计、减小陶瓷承受的结构残余应力,消除了由陶瓷断裂导致的密封失效;选择热胀系数相近的可伐中间层材料,对比不同厚度缓冲层产生的残余应力,优化中间层结构,采用LTCC加工技术与真空钎焊工艺结合制作了陶瓷-可伐-钛合金密封组件,并通过了高、低温度试验考核:组件密封漏率小于1×10^(-10)Pa·m^3/s,密封可靠,满足绝压传感器使用寿命的要求。
关键词
硅
-
蓝宝石
绝压
传感器
氧化铝陶瓷
真空密封结构
Keywords
silicon
-
on
-
sapphire（SOS）
absolute pressure sensor
alumina ceramic
vacuum sealed structure
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试
被引量：
1
4
作者
陈绍凤
夏善红
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2002年第1期34-38,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目 ( 6 9871 0 2 9)
"86 3"计划资助项目 ( 5 1 2 0 5 1 0 0 1 9)
"973"国家重大课题资助项目 (G1 9990 331 0 2 )
文摘
封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ,在计算机模拟计算的基础上 ,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ,得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ,电压 45V时发射电流可达到86mA ,平均每个硅尖为 2 1 μA)、压力特性曲线 (呈线性变化 ,与计算机模拟计算的曲线相近 )及灵敏度数据。电压 1 .5V即可测试并且其压力特性成线性变化 ,灵敏度为 0 .3 μA/kPa。
关键词
真空微电子
压力
传感器
压力
特性
测试
硅
尖阵列
-
敏感薄膜复合型阴极
计算机模拟
Keywords
vaccum microelectronic
pressure sensor
simulative testing
pressure feature
testing
分类号
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
单芯体硅-蓝宝石压差传感器研制
5
作者
王俊巍
马明宇
谢胜秋
王明伟
机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2021年第4期80-82,85,共4页
文摘
根据航空发动机系统的应用环境研制一种单芯体压差传感器,传感器基于蓝宝石衬底上硅的压阻效应进行测量。与目前市场常见含油封单芯体压差芯体不同,其芯片直接烧结在膜片上,芯片通过感受金属膜片正反受力形成的合力来测量压差信号,避免了含油封芯体油介质不能耐高温和大背压过载的缺点,大幅提高了传感器耐高温能力和长期承压的可靠性。本文介绍了单芯体硅-蓝宝石压差传感器的原理及设计与实现,主要包括芯体结构设计和电路设计等。传感器通过性能试验及环境适应性试验的考核,并在发动机上随整机进行了相关热试车试验,结果证明传感器能够满足发动机使用要求。
关键词
硅
-
蓝宝石
芯体
一体式
柱塞头
压差
传感器
Keywords
silicon
-
on
-
sapphire core
one
-
piece
plunger head
differential pressure sensor
分类号
TP212.11 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
SOS压力传感器温度的补偿
被引量：
3
6
作者
莫长涛
陈长征
张黎丽
孙凤久
机构
东北大学理学院
沈阳工业大学诊断与控制中心
哈尔滨商业大学基础部
出处
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期160-163,共4页
基金
黑龙江省'九五'攻关项目(G98A10 3)
文摘
分析了硅 蓝宝石(SOS)压力传感器的温度特性,表明测量范围较宽时,传感器的输出易受环境温度的影响,并且成非线性·提出一种基于神经网络共轭梯度算法的硅 蓝宝石压力传感器温度补偿方法·利用神经网络共轭梯度算法具有逼近任意非线性函数的特点,通过训练使神经网络建立在不同环境温度下传感器输出与其实际感受的电压值之间的非线性映射关系,实现硅 蓝宝石压力传感器温度补偿·计算机仿真表明,该方法不仅能有效地消除温度的影响,而且能在神经网络的输出端得到期望的线性输出·
关键词
硅-蓝宝石压力传感器
环境温度
非线性
神经网络
共轭梯度算法
补偿
Keywords
SOS(silicon on sapphire) pressure sensor
ambient temperature
non
-
linearity
neural network
conjugate gradient optimum algorithm
compensation
分类号
TH862.1 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
宽温区工作压力传感器热力学研究
被引量：
4
7
作者
姚东媛
谢胜秋
王俊巍
吴佐飞
机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第6期28-31,共4页
文摘
介绍了硅—蓝宝石压力传感器的钛合金—蓝宝石复合弹性膜片在宽温区工作时温度变化材料不匹配引起的结构热应力,对弹性膜片的受热情况进行了分析,对不同结构形式传感器热稳定性影响程度进行了对比,利用P型掺杂硅温度特性减少结构热应力影响、降低传感器的热零点漂移。通过膜片结构选择和设计、材料选择、工艺优化和控制等可以使硅—蓝宝石压力传感器在-55~350℃宽温度范围内工作时热漂移不大于0.015%FS/℃,提高了宽温区工作时传感器的热稳定性。
关键词
硅
—
蓝宝石
压力
传感器
弹性膜片
热特性
Keywords
silicon
-
on
-
sapphire（SOS）
pressure sensor
elastic membrane
thermal performance
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
新型宽温区压力传感器技术
被引量：
4
8
作者
段磊
机构
上海交通大学船舶海洋与建筑工程学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第12期17-18,共2页
文摘
为研制新型耐高温和耐低温压力传感器,提出了一种基于SOS(蓝宝石上硅)技术制造的压力传感器。所述硅-蓝宝石压力传感器采用先封装再刻制应变电阻的新工艺,制成的应变电阻和补偿用热电阻精度高、质量好,且在整个工艺流程中不使用化学药品,对环境无污染。制成的硅-蓝宝石压力传感器,可以测量在-55^+400℃宽温区范围内的流体压力,并可以同时测量温度。给出了该传感器的试验数据,得到了比较满意的结果。
关键词
宽温区
压力
传感器
蓝宝石
上
硅
技术
Keywords
wide temperature range
pressure sensor
technology of silicon on sapphire （SOS）
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
临近空间飞行高温真空光纤绝压传感器设计
被引量：
1
9
作者
张雨彤
江毅
杨水旺
张大有
机构
北京理工大学光电学院
信息光子技术工业和信息化部重点实验室
包头师范学院物理科学与技术学院
北京振兴计量测试研究所
北京航天计量测试技术研究所
出处
《火箭推进》
CAS
北大核心
2024年第3期118-123,共6页
基金
国家自然科学基金(U20B2057)。
文摘
研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-Perot,FP)腔,可以同时测量温度和绝对压力,通过实时监测温度,对压力测量进行温度补偿,去除温度对压力测量的影响。实验结果表明:900℃内的每个温度点下,密封FP腔的光学腔长随压力线性变化;室温下,压力灵敏度为11.6 nm/kPa,压力灵敏度随温度的上升略微升高,压力测量的分辨率达到86 Pa。
关键词
光纤
压力
传感器
非本征法布里
-
珀罗干涉仪
蓝宝石
晶片
绝对
压力
测量
Keywords
optical fiber pressure sensors
extrinsic Fabry
-
Perot interferometer
sapphire wafer
absolute pressure measurement
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
高可靠SOS固态压力传感器
10
作者
陈庆贵
史日华
滕征杰
许和平
机构
中国科学院上海冶金研究所
黑龙江省电子技术研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1990年第4期33-37,共5页
文摘
本文报导了高可靠SOS压力传感器研制的实验结果,特别是可靠性试验方法和应用效果。所得传感器的主要性能为:量程0～20MPa,工作温度-55°～300℃,精度0.2～0.5％,满度输出100±20mV,平均寿命(MTTF)≥1×10~6次。
关键词
压力
传感器
SOS
固态
硅
-
蓝宝石
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅-蓝宝石压力传感器芯片调整电阻的设计
姚东媛
文彬
谢胜秋
邹向光
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004
3
在线阅读
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职称材料
2
硅—蓝宝石高温大量程压力传感器设计
闻化
张爱平
张枫
高成臣
姚东嫒
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007
8
在线阅读
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职称材料
3
硅-蓝宝石绝压传感器陶瓷密封结构设计与分析
姚东媛
夏航
王俊巍
谢胜秋
《传感器与微系统》
CSCD
2017
2
在线阅读
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职称材料
4
硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试
陈绍凤
夏善红
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2002
1
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职称材料
5
单芯体硅-蓝宝石压差传感器研制
王俊巍
马明宇
谢胜秋
王明伟
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2021
0
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职称材料
6
SOS压力传感器温度的补偿
莫长涛
陈长征
张黎丽
孙凤久
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
3
在线阅读
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职称材料
7
宽温区工作压力传感器热力学研究
姚东媛
谢胜秋
王俊巍
吴佐飞
《传感器与微系统》
CSCD
2017
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
8
新型宽温区压力传感器技术
段磊
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009
4
在线阅读
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职称材料
9
临近空间飞行高温真空光纤绝压传感器设计
张雨彤
江毅
杨水旺
张大有
《火箭推进》
CAS
北大核心
2024
1
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职称材料
10
高可靠SOS固态压力传感器
陈庆贵
史日华
滕征杰
许和平
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1990
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