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高灵敏度硅酸镓镧声表面波压力传感器研究被引量：3: 1; 作者陈高丁李红浪 +3 位作者柯亚兵朱波陈淑芬何世堂《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期519-522,共4页; 为提高硅酸镓镧（LGS）声表面波（SAW）压力传感器的灵敏度,研究了一种采用点压式压力传递结构的SAW压力传感器。理论上采用压电微扰理论和有限元法结合,使用有限元法获得压力作用下LGS基片的应力、应变,并将该应力、应变量代入叠加偏... 展开更多; 关键词声表面波(SAW) 压力传感器硅酸镓镧(lgs) 点压力式; 在线阅读下载PDF 职称材料

LGS声学特性分析及自然单向性抑制方法: 2; 作者孙铭辰胡梵冰 +1 位作者程利娜王文《压电与声光》北大核心 2024年第6期890-893,共4页; (0°,138.5°,26.5°)硅酸镓镧(LGS)基底存在的自然单向性导致声能叠加不完全,出现了能量泄露。分析了表面负载不同厚度的Pt薄层时,(0°,138.5°,26.5°)LGS衬底的声学特性变化,结果表明,Pt薄层的归一化厚度在2... 展开更多; 关键词硅酸镓镧(lgs) 声表面波(SAW) 谐振器自然单向性有限元法; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅酸镓镧高温色散COM参数数据库建立: 3; 作者潘虹芝程一民 +3 位作者齐梦珂赵彦军曹亮牟笑静《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第4期470-473,478,共5页; 为了声表面波(SAW)器件设计的便捷和准确,该文利用耦合模(COM)模型在FEMSDA软件基础上添加了Mo、Pt、Ir 3种金属电极的材料参数,同时将硅酸镓镧(LGS)的材料参数随温度变化的关系式一起加入软件,以(0°,138.6°,26.7°)LGS... 展开更多; 关键词硅酸镓镧(lgs) 耦合模(COM)模型高温色散参数数据库; 在线阅读下载PDF 职称材料

四极点LGS晶体滤波器的研制被引量：2: 4; 作者陈湘渝彭胜春周哲《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第2期240-242,共3页; 介绍了了一种四极点单片式硅酸鎵镧(La3Ga5SiO14,LGS)晶体滤波器的设计方法。该滤波器中心频率为5 MHz,3 dB带宽20 kHz,工作温度范围为-55^+125℃,体积只有32.0 mm×16.0 mm×8.5 mm。实验证明,LGS晶体能实现相对带宽为0.3%~0.... 展开更多; 关键词单片晶体滤波器硅酸镓镧(lgs) 频率温度特性机电耦合系数; 在线阅读下载PDF 职称材料

聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响: 5; 作者谢小伟彭斌 +2 位作者喻恒李凌张万里《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期880-883,共4页; 该文在硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)谐振器上沉积了不同厚度的聚酰亚胺薄膜,研究了聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响。结果表明,SAW谐振器表面沉积了聚酰亚胺薄膜后,器件的谐振频率向低频移动,且随着聚酰亚胺层厚度的增加,谐振... 展开更多; 关键词聚酰亚胺声表面波机电耦合系数温度频率特性硅酸镓镧(lgs); 在线阅读下载PDF 职称材料

沟槽电极型声表面波耐高温谐振器的制备被引量：2: 6; 作者张启轮单清川 +5 位作者李桦林骆伟史汝川郝文昌尹玉刚韩韬《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期175-179,共5页; 声表面波(SAW)传感器在高温环境的需求日益增多,硅酸镓镧因为具有良好的高温特性而提供了耐高温压电基底,但是电极在高温条件下会发生团聚而失效。该文设计了一种沟槽电极结构的耐高温SAW谐振器,采用Pt作为电极,硅酸镓镧作为压电基底,... 展开更多; 关键词声表面波(SAW) 硅酸镓镧(lgs) 沟槽电极高温 PT电极; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高灵敏度硅酸镓镧声表面波压力传感器研究被引量：3: 1; 作者陈高丁李红浪柯亚兵朱波陈淑芬何世堂; 机构北京理工大学光电学院中国科学院声学研究所燕山大学电气工程学院; 出处《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期519-522,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(11174318 11304346) +1 种基金北京市科技计划课题基金资助项目(Z141100003814016); 文摘为提高硅酸镓镧（LGS）声表面波（SAW）压力传感器的灵敏度,研究了一种采用点压式压力传递结构的SAW压力传感器。理论上采用压电微扰理论和有限元法结合,使用有限元法获得压力作用下LGS基片的应力、应变,并将该应力、应变量代入叠加偏载的电弹方程和一阶微扰方程,求得传感器的压力灵敏度。计算表明0-0.4 MPa压力范围内其归一化压力灵敏度为0.065×10^-6/psi,与空腔结构LGS SAW压力传感器相比,该结构的灵敏度提高了约9倍。基于上述分析结构,制作了一种基于LGS（0°,138.5°,26.7°）的点压式压力传递结构的SAW传感器,实验结果和理论分析吻合。; 关键词声表面波(SAW) 压力传感器硅酸镓镧(lgs) 点压力式; Keywords surface acoustic wave（SAW） pressure sensor langasite（lgs） point pressure forced; 分类号 TN65 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名LGS声学特性分析及自然单向性抑制方法: 2; 作者孙铭辰胡梵冰程利娜王文; 机构中国科学院声学研究所中国科学院大学; 出处《压电与声光》北大核心 2024年第6期890-893,共4页; 基金国家重点研发计划资助项目(2024YFE0199800)。; 文摘 (0°,138.5°,26.5°)硅酸镓镧(LGS)基底存在的自然单向性导致声能叠加不完全,出现了能量泄露。分析了表面负载不同厚度的Pt薄层时,(0°,138.5°,26.5°)LGS衬底的声学特性变化,结果表明,Pt薄层的归一化厚度在2%~3%时,LGS基底慢度曲线对称性显著改善。采用有限元法,结合三维周期性模型频响曲线验证了理论计算结果的有效性,并进一步分析了归一化厚度为2.5%~2.9%的Pt/LGS频响结果。结果表明,h/λ=2.7%和2.8%时第二谐振峰完全消失,基底自然单向性被完全抑制。为抑制(0°,138.5°,26.5°)LGS基底自然单向性提供了最佳Pt电极厚度,能有效抑制双谐振峰的出现,减少能量泄露,为高性能谐振器设计提供了理论基础。; 关键词硅酸镓镧(lgs) 声表面波(SAW) 谐振器自然单向性有限元法; Keywords langasite(lgs) surface acoustic wave(SAW) resonator natural unidirectionality finite element method; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学] TN65 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅酸镓镧高温色散COM参数数据库建立: 3; 作者潘虹芝程一民齐梦珂赵彦军曹亮牟笑静; 机构重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第4期470-473,478,共5页; 基金国家重点研发计划基金资助项目(No.2019YFB2004800,No.2019YFB2004803) 国家自然科学基金资助项目(No.52075061) +1 种基金重庆大学光电工程学院项目研究生科研和创新基金会资助项目(GDYKC202004)。; 文摘为了声表面波(SAW)器件设计的便捷和准确,该文利用耦合模(COM)模型在FEMSDA软件基础上添加了Mo、Pt、Ir 3种金属电极的材料参数,同时将硅酸镓镧(LGS)的材料参数随温度变化的关系式一起加入软件,以(0°,138.6°,26.7°)LGS压电基片为目标,建立了在700 K下不同金属、相对膜厚及占空比条件下的COM色散参数数据库。; 关键词硅酸镓镧(lgs) 耦合模(COM)模型高温色散参数数据库; Keywords La_(3)Ga_(5)SiO_(14)(lgs) COM model high temperature dispersion parameter database; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名四极点LGS晶体滤波器的研制被引量：2: 4; 作者陈湘渝彭胜春周哲; 机构四川压电与声光技术研究所; 出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第2期240-242,共3页; 文摘介绍了了一种四极点单片式硅酸鎵镧(La3Ga5SiO14,LGS)晶体滤波器的设计方法。该滤波器中心频率为5 MHz,3 dB带宽20 kHz,工作温度范围为-55^+125℃,体积只有32.0 mm×16.0 mm×8.5 mm。实验证明,LGS晶体能实现相对带宽为0.3%~0.8%,频率温度稳定性好,体积小的晶体滤波器,具有广泛的应用价值。; 关键词单片晶体滤波器硅酸镓镧(lgs) 频率温度特性机电耦合系数; Keywords MCF lgs temperature- frequency characteristics electromachanical coupling coefficient; 分类号 TN713 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响: 5; 作者谢小伟彭斌喻恒李凌张万里; 机构电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 出处《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期880-883,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(61223002); 文摘该文在硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)谐振器上沉积了不同厚度的聚酰亚胺薄膜,研究了聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响。结果表明,SAW谐振器表面沉积了聚酰亚胺薄膜后,器件的谐振频率向低频移动,且随着聚酰亚胺层厚度的增加,谐振器的谐振频率下降越大。SAW谐振器的一阶频率温度系数绝对值随着聚酰亚胺层厚度的增加而增大,且温度转变点向低温偏移。研究结果表明,覆盖聚酰亚胺层薄膜可以提高SAW谐振器的温度灵敏度,从而可应用于温度传感器中。; 关键词聚酰亚胺声表面波机电耦合系数温度频率特性硅酸镓镧(lgs); Keywords polyimide SAW electromechanical coupling coefficient frequency-temperature characteristics lgs; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名沟槽电极型声表面波耐高温谐振器的制备被引量：2: 6; 作者张启轮单清川李桦林骆伟史汝川郝文昌尹玉刚韩韬; 机构上海交通大学仪器科学与工程系中国电子科技集团公司第二十六研究所北京遥测技术研究所; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期175-179,共5页; 基金国家自然科学基金与航天先进制造技术研究联合基金资助项目(U1837210)。; 文摘声表面波(SAW)传感器在高温环境的需求日益增多,硅酸镓镧因为具有良好的高温特性而提供了耐高温压电基底,但是电极在高温条件下会发生团聚而失效。该文设计了一种沟槽电极结构的耐高温SAW谐振器,采用Pt作为电极,硅酸镓镧作为压电基底,并提出了沟槽结构叉指电极的制造工艺,对沟槽结构的形貌进行了表征。通过提高沉积温度改善Pt电极质量,最终制备的波长8μm、沟槽电极厚240 nm的谐振器在1000℃下可稳定工作。; 关键词声表面波(SAW) 硅酸镓镧(lgs) 沟槽电极高温 PT电极; Keywords surface acoustic wave(SAW) lgs grooved electrodes high temperature Pt electrode; 分类号 TN65 [电子电信—电路与系统] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	高灵敏度硅酸镓镧声表面波压力传感器研究	陈高丁李红浪柯亚兵朱波陈淑芬何世堂	《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心	2016	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	LGS声学特性分析及自然单向性抑制方法	孙铭辰胡梵冰程利娜王文	《压电与声光》北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	硅酸镓镧高温色散COM参数数据库建立	潘虹芝程一民齐梦珂赵彦军曹亮牟笑静	《压电与声光》 CAS 北大核心	2021	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	四极点LGS晶体滤波器的研制	陈湘渝彭胜春周哲	《压电与声光》 CSCD 北大核心	2010	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响	谢小伟彭斌喻恒李凌张万里	《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心	2018	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	沟槽电极型声表面波耐高温谐振器的制备	张启轮单清川李桦林骆伟史汝川郝文昌尹玉刚韩韬	《压电与声光》 CAS 北大核心	2022	2	在线阅读下载PDF 职称材料