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硅片切割废料再生制备高纯硅研究进展
1
作者
韩士锋
杨时聪
+1 位作者
魏奎先
马文会
《中南大学学报(自然科学版)》
2025年第8期3422-3439,共18页
在金刚石线切割工艺生产硅片的过程中,约30%的6N级高纯硅以硅片切割废料的形式损失,导致出现高纯硅资源浪费、成本升高、经济损失以及环境污染问题。硅片切割废料具有高纯硅含量高和金属杂质含量低的特点,因此,再生制备高纯硅具有经济...
在金刚石线切割工艺生产硅片的过程中,约30%的6N级高纯硅以硅片切割废料的形式损失,导致出现高纯硅资源浪费、成本升高、经济损失以及环境污染问题。硅片切割废料具有高纯硅含量高和金属杂质含量低的特点,因此,再生制备高纯硅具有经济和技术优势,如何使硅片切割废料再生已成为研究热点。本文系统综述了硅片切割废料的形成机制与物理化学特性,总结了硅片切割废料用于再生制备高纯硅的研究进展,阐述了湿法浸出、火法精炼及联合工艺的优缺点,并对硅片切割废料提纯未来发展趋势进行了展望。
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关键词
硅
片切割废料
高纯
硅
硅资源利用
硅
提纯
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职称材料
题名
硅片切割废料再生制备高纯硅研究进展
1
作者
韩士锋
杨时聪
魏奎先
马文会
机构
昆明理工大学省部共建复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室
出处
《中南大学学报(自然科学版)》
2025年第8期3422-3439,共18页
基金
国家重点研发计划项目(2024YFC3907603)
国家自然科学基金资助项目(52204313)
+1 种基金
中央引导地方科技发展资金资助项目(202407AB110022)
青年人才托举工程项目(2024QNRC001)。
文摘
在金刚石线切割工艺生产硅片的过程中,约30%的6N级高纯硅以硅片切割废料的形式损失,导致出现高纯硅资源浪费、成本升高、经济损失以及环境污染问题。硅片切割废料具有高纯硅含量高和金属杂质含量低的特点,因此,再生制备高纯硅具有经济和技术优势,如何使硅片切割废料再生已成为研究热点。本文系统综述了硅片切割废料的形成机制与物理化学特性,总结了硅片切割废料用于再生制备高纯硅的研究进展,阐述了湿法浸出、火法精炼及联合工艺的优缺点,并对硅片切割废料提纯未来发展趋势进行了展望。
关键词
硅
片切割废料
高纯
硅
硅资源利用
硅
提纯
Keywords
diamond wire saw silicon powder
high-purity silicon
silicon resource utilization
silicon purification
分类号
TF89 [冶金工程]
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作者
出处
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1
硅片切割废料再生制备高纯硅研究进展
韩士锋
杨时聪
魏奎先
马文会
《中南大学学报(自然科学版)》
2025
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