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硅蓝宝石压力传感器的原理及应用探析
被引量:
2
1
作者
李亚萍
曲鸣飞
《中国新通信》
2019年第13期216-216,共1页
硅蓝宝石压力传感器具有其他传感器所不具有的优点,其应用给当前我国各行各业的发展提供了诸多便利。本文将对硅蓝宝石压力传感器的原理及应用进行分析和探讨,以期为未来硅蓝宝石压力传感器的推广应用提供有力的参考。
关键词
硅蓝宝石
压力传感器
原理
应用
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职称材料
制作集成电路的重要基础材料:硅—蓝宝石外延片的性质及其应用
2
作者
孙家龙
《电子工业标准化通讯》
1990年第5期30-32,共3页
关键词
集成电路
硅
-
蓝宝石
外延片
半导体
在线阅读
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职称材料
纳米集成电路用硅基半导体材料
3
作者
屠海令
石瑛
+1 位作者
肖清华
马通达
《中国集成电路》
2003年第46期105-110,85,共7页
随着超大规模集成电路设计线宽向纳米尺寸过渡,对半导体硅材料的性能和参数提出了更加严格的要求。本文阐述了绝缘体上硅(SOI)和锗硅(SiGe)等主要硅基半导体材料的研究进展,讨论了这些材料应用于纳米集成电路和微电子、光电子器件的经...
随着超大规模集成电路设计线宽向纳米尺寸过渡,对半导体硅材料的性能和参数提出了更加严格的要求。本文阐述了绝缘体上硅(SOI)和锗硅(SiGe)等主要硅基半导体材料的研究进展,讨论了这些材料应用于纳米集成电路和微电子、光电子器件的经济技术前景。
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关键词
纳米集成电路
硅
基半导体材料
绝缘体上
硅
锗
硅
SIGE
SOI
蓝宝石
上外延
硅
键合
硅
片
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职称材料
SOS压力传感器温度的补偿
被引量:
3
4
作者
莫长涛
陈长征
+1 位作者
张黎丽
孙凤久
《东北大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期160-163,共4页
分析了硅 蓝宝石(SOS)压力传感器的温度特性,表明测量范围较宽时,传感器的输出易受环境温度的影响,并且成非线性·提出一种基于神经网络共轭梯度算法的硅 蓝宝石压力传感器温度补偿方法·利用神经网络共轭梯度算法具有逼近任意...
分析了硅 蓝宝石(SOS)压力传感器的温度特性,表明测量范围较宽时,传感器的输出易受环境温度的影响,并且成非线性·提出一种基于神经网络共轭梯度算法的硅 蓝宝石压力传感器温度补偿方法·利用神经网络共轭梯度算法具有逼近任意非线性函数的特点,通过训练使神经网络建立在不同环境温度下传感器输出与其实际感受的电压值之间的非线性映射关系,实现硅 蓝宝石压力传感器温度补偿·计算机仿真表明,该方法不仅能有效地消除温度的影响,而且能在神经网络的输出端得到期望的线性输出·
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关键词
硅
-
蓝宝石
压力传感器
环境温度
非线性
神经网络
共轭梯度算法
补偿
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职称材料
高可靠SOS固态压力传感器
5
作者
陈庆贵
史日华
+1 位作者
滕征杰
许和平
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1990年第4期33-37,共5页
本文报导了高可靠SOS压力传感器研制的实验结果,特别是可靠性试验方法和应用效果。所得传感器的主要性能为:量程0~20MPa,工作温度-55°~300℃,精度0.2~0.5%,满度输出100±20mV,平均寿命(MTTF)≥1×10~6次。
关键词
压力传感器
SOS
固态
硅
-
蓝宝石
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职称材料
题名
硅蓝宝石压力传感器的原理及应用探析
被引量:
2
1
作者
李亚萍
曲鸣飞
机构
北京电子科技职业学院机电工程学院
出处
《中国新通信》
2019年第13期216-216,共1页
文摘
硅蓝宝石压力传感器具有其他传感器所不具有的优点,其应用给当前我国各行各业的发展提供了诸多便利。本文将对硅蓝宝石压力传感器的原理及应用进行分析和探讨,以期为未来硅蓝宝石压力传感器的推广应用提供有力的参考。
关键词
硅蓝宝石
压力传感器
原理
应用
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
制作集成电路的重要基础材料:硅—蓝宝石外延片的性质及其应用
2
作者
孙家龙
出处
《电子工业标准化通讯》
1990年第5期30-32,共3页
关键词
集成电路
硅
-
蓝宝石
外延片
半导体
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
纳米集成电路用硅基半导体材料
3
作者
屠海令
石瑛
肖清华
马通达
机构
北京有色金属研究总院半导体材料国家工程研究中心
出处
《中国集成电路》
2003年第46期105-110,85,共7页
文摘
随着超大规模集成电路设计线宽向纳米尺寸过渡,对半导体硅材料的性能和参数提出了更加严格的要求。本文阐述了绝缘体上硅(SOI)和锗硅(SiGe)等主要硅基半导体材料的研究进展,讨论了这些材料应用于纳米集成电路和微电子、光电子器件的经济技术前景。
关键词
纳米集成电路
硅
基半导体材料
绝缘体上
硅
锗
硅
SIGE
SOI
蓝宝石
上外延
硅
键合
硅
片
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
SOS压力传感器温度的补偿
被引量:
3
4
作者
莫长涛
陈长征
张黎丽
孙凤久
机构
东北大学理学院
沈阳工业大学诊断与控制中心
哈尔滨商业大学基础部
出处
《东北大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期160-163,共4页
基金
黑龙江省'九五'攻关项目(G98A10 3)
文摘
分析了硅 蓝宝石(SOS)压力传感器的温度特性,表明测量范围较宽时,传感器的输出易受环境温度的影响,并且成非线性·提出一种基于神经网络共轭梯度算法的硅 蓝宝石压力传感器温度补偿方法·利用神经网络共轭梯度算法具有逼近任意非线性函数的特点,通过训练使神经网络建立在不同环境温度下传感器输出与其实际感受的电压值之间的非线性映射关系,实现硅 蓝宝石压力传感器温度补偿·计算机仿真表明,该方法不仅能有效地消除温度的影响,而且能在神经网络的输出端得到期望的线性输出·
关键词
硅
-
蓝宝石
压力传感器
环境温度
非线性
神经网络
共轭梯度算法
补偿
Keywords
SOS(silicon on sapphire) pressure sensor
ambient temperature
non-linearity
neural network
conjugate gradient optimum algorithm
compensation
分类号
TH862.1 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
高可靠SOS固态压力传感器
5
作者
陈庆贵
史日华
滕征杰
许和平
机构
中国科学院上海冶金研究所
黑龙江省电子技术研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1990年第4期33-37,共5页
文摘
本文报导了高可靠SOS压力传感器研制的实验结果,特别是可靠性试验方法和应用效果。所得传感器的主要性能为:量程0~20MPa,工作温度-55°~300℃,精度0.2~0.5%,满度输出100±20mV,平均寿命(MTTF)≥1×10~6次。
关键词
压力传感器
SOS
固态
硅
-
蓝宝石
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅蓝宝石压力传感器的原理及应用探析
李亚萍
曲鸣飞
《中国新通信》
2019
2
在线阅读
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职称材料
2
制作集成电路的重要基础材料:硅—蓝宝石外延片的性质及其应用
孙家龙
《电子工业标准化通讯》
1990
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
纳米集成电路用硅基半导体材料
屠海令
石瑛
肖清华
马通达
《中国集成电路》
2003
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
SOS压力传感器温度的补偿
莫长涛
陈长征
张黎丽
孙凤久
《东北大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
高可靠SOS固态压力传感器
陈庆贵
史日华
滕征杰
许和平
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1990
0
在线阅读
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职称材料
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