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MEMS压力传感器及其应用
被引量：
12
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作者
颜重光
《电子产品世界》
2009年第6期58-60,共3页
简述MEMS压力传感器的结构与工作原理,并探讨了其应用、压力传感器Die的设计及生产成本分析,覆盖了从系统应用到销售链。
关键词
MEMS
压力
传感器
惠斯顿电桥
硅
薄膜应力杯
硅
压阻式
压力
传感器
硅电容式压力传感器
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职称材料
题名
MEMS压力传感器及其应用
被引量：
12
1
作者
颜重光
机构
华润矽威科技(上海)有限公司
出处
《电子产品世界》
2009年第6期58-60,共3页
文摘
简述MEMS压力传感器的结构与工作原理,并探讨了其应用、压力传感器Die的设计及生产成本分析,覆盖了从系统应用到销售链。
关键词
MEMS
压力
传感器
惠斯顿电桥
硅
薄膜应力杯
硅
压阻式
压力
传感器
硅电容式压力传感器
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
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作者
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1
MEMS压力传感器及其应用
颜重光
《电子产品世界》
2009
12
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