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题名分子蒸馏结合电喷雾质谱技术研究硅片切割液
被引量：1
- 1
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作者
周永生
王平
顾浩
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机构
常州大学石油化工学院.常州
镇江市九天太阳能新材料有限公司
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出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第10期1747-1750,共4页
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文摘
采用分子蒸馏技术对010型切割液进行分离,对分子蒸馏温度进行优化。当温度为80℃,刮板转速为300r/min,加料速率2mL/min,系统绝压20Pa时,分子蒸馏分离效果最佳。采用电喷雾质谱直接进样技术分析切割液各馏分,在正离子模式下,各组分可形成质子化分子或[M+NH4]+、[M+Na]+和[M+K]+等加合离子。以甲醇(1.0×10-3mol/L)-乙酸铵(90∶10 v/v)(流动相Ⅰ)为流动相时,[M+H]+、[M+NH4]+、[M+Na]+和[M+K]+4种PEG加合离子相对丰度均增加,[M+NH4]+峰增加尤为明显。对80℃分子蒸馏轻、重组分和PEG200进行电喷雾质谱表征时,以甲醇-水(90∶10 v/v)(流动相Ⅱ)为流动相,而对PEG400表征时则采用流动相Ⅰ。实验发现,采用流动相Ⅱ时轻组分与PEG200质谱分析结果类似,此时的重组分质谱结果与采用流动相Ⅰ时的PEG400类似。可推断,010#切割液主要成分为PEG200和PEG400,并含少量不挥发铵盐。
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关键词
分子蒸馏
电喷雾质谱
硅片切割液
聚乙二醇加合离子
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Keywords
wiped film molecular distillation
electrospray ionization mass spectrometry
cutting fluid for silicon wafer
polyethylene glycol adducts
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分类号
N34
[自然科学总论]
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题名硅片切割废料再生制备高纯硅研究进展
- 2
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作者
韩士锋
杨时聪
魏奎先
马文会
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机构
昆明理工大学省部共建复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室
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出处
《中南大学学报(自然科学版)》
2025年第8期3422-3439,共18页
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基金
国家重点研发计划项目(2024YFC3907603)
国家自然科学基金资助项目(52204313)
+1 种基金
中央引导地方科技发展资金资助项目(202407AB110022)
青年人才托举工程项目(2024QNRC001)。
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文摘
在金刚石线切割工艺生产硅片的过程中,约30%的6N级高纯硅以硅片切割废料的形式损失,导致出现高纯硅资源浪费、成本升高、经济损失以及环境污染问题。硅片切割废料具有高纯硅含量高和金属杂质含量低的特点,因此,再生制备高纯硅具有经济和技术优势,如何使硅片切割废料再生已成为研究热点。本文系统综述了硅片切割废料的形成机制与物理化学特性,总结了硅片切割废料用于再生制备高纯硅的研究进展,阐述了湿法浸出、火法精炼及联合工艺的优缺点,并对硅片切割废料提纯未来发展趋势进行了展望。
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关键词
硅片切割废料
高纯硅
硅资源利用
硅提纯
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Keywords
diamond wire saw silicon powder
high-purity silicon
silicon resource utilization
silicon purification
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分类号
TF89
[冶金工程]
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题名含二甘醇硅片线切割液分析方法研究
被引量：2
- 3
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作者
周永生
王平
顾浩
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机构
常州大学石油化工学院
镇江市九天太阳能新材料有限公司
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出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第10期1751-1755,共5页
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文摘
采用电喷雾质谱(ESI-MS)技术和气相色谱质谱联用(GC-MS)技术,确定硅片线切割液中含有二甘醇和聚乙二醇(PEG 400)。分别采用高效液相色谱法(HPLC)、气相色谱法(GC)和气相色谱-质谱联用法(GC-MS)检测其中二甘醇含量。以甲醇-水(50∶50 v/v)为流动相,Kromasil 100-C18为色谱柱,在所选用的HPLC条件下不能将二甘醇和其他组分分开,故不适用于二甘醇定量分析。采用GC内标法(正丁醇为内标物)、GC-MS外标法和GC-MS面积归一法的检测结果在一定误差范围内基本一致,说明3种方法均可行,可根据仪器设备条件选择。
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关键词
二甘醇
硅片切割液
气相色谱内标法
气-质联用外标法
气-质联用面积归一法
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Keywords
diethylene glycol
wire cutting fluid for silicon wafer
internal standards GC method
external stand-ards GC-MS method
area normalization GC-MS method
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分类号
N34
[自然科学总论]
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题名太阳能硅片多线切割机的改进型张力控制
被引量：1
- 4
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作者
蒋近
陈琳
王庭
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机构
湘潭大学湖南省风电装备与电能变换协同创新中心
湘潭大学智能计算与信息处理教育部重点实验室
湖南广播电视大学信息工程系
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出处
《控制工程》
CSCD
北大核心
2015年第6期1099-1102,共4页
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基金
湖南省自然科学基金资助项目(2015JJ3126)
湖南省教育厅资助科研项目(13C916)
+1 种基金
湖南省重点学科建设资助项目
湘潭大学博士科研启动项目(12QDZ03)
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文摘
针对太阳能硅片多线切割机的张力控制问题,提出一种基于改进型模糊滑模控制的直接张力控制方法。建立太阳能硅片多线切割机等效模型的运动方程,设计一个速度滑模控制器和2个张力滑模控制器,根据误差值定义积分滑模面,采用符号函数趋近律方法,利用李亚普洛夫函数证明算法的稳定性,使用模糊控制优化趋近律系数,利用双曲正切函数代替符号函数,改善系统动态性能,减少系统抖振,减小张力波动,保证系统稳定运行。仿真和实验结果证明了方法的正确性和可行性。
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关键词
太阳能硅片多线切割机
直接张力控制
改进型模糊滑模控制
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Keywords
Multi-wire saw for solar silicon wafer
direct tension control
improved fuzzy sliding mode control
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分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名太阳能硅片多线切割机的张力检测
被引量：1
- 5
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作者
蒋近
王庭
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机构
湘潭大学信息工程学院
湘潭大学智能计算与信息处理教育部重点实验室
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出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期2113-2118,共6页
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基金
湖南省自然科学基金项目(2015JJ3126)
湖南省教育厅资助科研项目(13C916)
+1 种基金
湖南省重点学科建设资助项目
湘潭大学博士科研启动项目(12QDZ03)
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文摘
针对太阳能硅片多线切割机的张力检测问题,提出一种无传感器的张力检测新方法,通过构造一个张力观测器来计算张力值。分析太阳能硅片多线切割机走线系统的等效模型,建立模型的运动方程,得到张力估计误差方程,求出满足稳定性的参数条件,定义李亚普洛夫函数分析误差的收敛速度,通过加入补偿量提高误差的收敛速度,并引入符号函数增强张力检测的稳定性和可靠性,使用粒子群算法对补偿因子进行优化控制。仿真和样机实验结果证明该方法的可行性和正确性,该方法具有成本低,抗干扰性强,可靠性高的特点。
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关键词
太阳能硅片多线切割机
张力检测
无传感器
李亚普洛夫函数
粒子群算法
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Keywords
multi-wire saw for solar silicon wafer
tension detection
sensorless
Lyapunov function
particle swarm optimization（PSO）
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分类号
TP271
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名树脂硬度对金刚石切割线切割性能的影响
被引量：2
- 6
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作者
高伟
李军
马伯江
王东雪
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机构
青岛科技大学机电工程学院
青岛高测科技股份有限公司
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出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2019年第1期72-75,共4页
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基金
山东省自然科学基金的资助(ZR2017MEE076)
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文摘
研究不同树脂结合剂对金刚石切割线切割性能的影响。分别采用纯酚醛树脂、环氧改性酚醛树脂、芳烷基改性酚醛树脂制备树脂固化硬度试样,并检测试样的肖氏硬度。用扫描电镜观察树脂固化后的试样断裂表面,发现不同树脂固化后的致密程度不同。分别制作金刚石切割线进行单晶硅切割实验。实验结果表明:采用固化硬度高、固化后致密性好的纯酚醛树脂制作的切割线在切割时的线弓最小,加切时间较短,金刚石颗粒不易脱落,切割能力强。
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关键词
树脂固化
肖氏硬度
断裂表面
硅片切割
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Keywords
resin curing
Shaw hardness
fracture surface
silicon cutting
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分类号
TG74
[金属学及工艺—刀具与模具]
TQ164
[化学工程—高温制品工业]
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题名硅切割废砂浆制备硅溶胶及回收碳化硅的工艺研究
被引量：1
- 7
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作者
王娟
彭倩
丁玉强
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机构
江南大学化学与材料工程学院
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出处
《应用化工》
CAS
CSCD
2014年第5期827-830,共4页
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基金
江苏省科技支撑计划(BE2012023)
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文摘
以硅切割废砂浆中硅粉为来源,制备较高浓度硅溶胶,并回收得到高纯度碳化硅。结果表明,制备硅溶胶的最佳实验条件为:反应温度90℃,硅粉活化时间5 min,反应时间1 h,废油砂∶蒸馏水∶碱=10∶30∶0.6(质量比)。
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关键词
硅片切割液
成分分析
正交实验
硅溶胶
碳化硅
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Keywords
drained slurry
component analysis
orthogonal experiment
silica gel
silicon carbide
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分类号
TQ127.2
[化学工程—无机化工]
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题名线切割单、多晶硅机床砂浆液调配的研究
被引量：1
- 8
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作者
侯贺
李金杰
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机构
大连连城数控机器有限公司
大连机床集团有限责任公司
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出处
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2011年第9期119-121,共3页
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文摘
线切割机对硅片切割能力的强弱,与砂浆的粘度有着不可分割的关系。而砂浆的粘度又取决于硅片切割液的粘度、硅片切割液与碳化硅微粉的适配性、硅片切割液与碳化硅微粉的配比比例、砂浆密度等。只有达到机器要求标准的砂浆粘度,才能在切割过程中提高切割效率和成品率。
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关键词
砂浆粘度
硅片切割液
碳化硅微粉
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Keywords
Mortar Viscosity
Silicon Chip Cutting Fluid
Silicon Carbide Fine Powder
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分类号
TH140.7
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名气静压轴承及其在电主轴中的应用
- 9
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作者
商顺德
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机构
洛阳轴研研究所
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出处
《轴承》
北大核心
2006年第4期39-42,共4页
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文摘
介绍了气静压轴承的特性、基本结构型式以及国内外气静压轴承电主轴的应用状况。以实际应用的电主轴为例,剖析了气静压轴承电主轴的性能和基本结构特点。
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关键词
气静压轴承
硅片切割
PCB钻铣削
磨削
电主轴
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分类号
TH133.36
[机械工程—机械制造及自动化]
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