期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
硅液相外延的溶剂选择
被引量：
1
1
作者
江鉴
张仕国
《材料科学与工程》
CSCD
1996年第2期55-57,共3页
本文系统综述了硅液相外延中对各种溶剂的选择。重点叙述了Cu、Ga、Au、In、Sn、Pb等纯金属及Ag基、Au基、Al基合金作为溶剂,对硅液外延薄膜的影响。最后指出只要根据器件对外延层及工艺成本等的要求,可以找到适当的溶剂材料进行硅液相...
本文系统综述了硅液相外延中对各种溶剂的选择。重点叙述了Cu、Ga、Au、In、Sn、Pb等纯金属及Ag基、Au基、Al基合金作为溶剂,对硅液外延薄膜的影响。最后指出只要根据器件对外延层及工艺成本等的要求,可以找到适当的溶剂材料进行硅液相处延。
展开更多
关键词
硅液相外延
溶剂
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
硅液相外延的溶剂选择
被引量：
1
1
作者
江鉴
张仕国
机构
浙江大学
出处
《材料科学与工程》
CSCD
1996年第2期55-57,共3页
文摘
本文系统综述了硅液相外延中对各种溶剂的选择。重点叙述了Cu、Ga、Au、In、Sn、Pb等纯金属及Ag基、Au基、Al基合金作为溶剂,对硅液外延薄膜的影响。最后指出只要根据器件对外延层及工艺成本等的要求,可以找到适当的溶剂材料进行硅液相处延。
关键词
硅液相外延
溶剂
Keywords
Si, liquid phase epitaxy, solvent
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
TN304.054 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅液相外延的溶剂选择
江鉴
张仕国
《材料科学与工程》
CSCD
1996
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
