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碳纳米管掺杂对聚二甲基硅氧烷薄膜相对介电常数的影响被引量：4: 1; 作者王奇漏琦伟 +1 位作者樊占奎陈钢进《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期57-61,共5页; 聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜是基于静电效应的驻极体基微振动传感器和能量采集器中常用的弹性材料,但其相对介电常数偏低,严重阻碍了相关器件工作效率的提高。针对这一问题,本研究提出了一种添加碳纳米管(CNT)提高其相对介电常数的方法。... 展开更多; 关键词聚二甲基硅氧烷薄膜碳纳米管相对介电常数弹性模量体电阻率; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于PECVD方法制备的透明硅氧烷(SiOxCyHz)阻隔薄膜特性研究被引量：2: 2; 作者董茂进冯煜东 +6 位作者韩仙虎蔡宇宏秦丽丽王毅王冠马凤英王济洲《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期99-103,共5页; 柔性、透明的高阻隔性薄膜在有机太阳能薄膜电池、柔性有机发光二极管、电子纸和真空绝热板等领域都有需求。采用对电极辊结构的等离子体增强化学气相沉积方法,卷对卷的方式在聚酯(PET)基膜上,以硅醚(HMDSO)为单体,氧气(O;)为反应气体,... 展开更多; 关键词硅氧烷薄膜对电极辊等离子体增强化学气相沉积方法阻隔膜透水率; 在线阅读下载PDF 职称材料

玻璃-PDMS薄膜-玻璃夹心微流控芯片制作被引量：5: 3; 作者王丽李刚 +1 位作者金庆辉赵建龙《传感器与微系统》 CSCD 2016年第1期101-103,共3页; 聚二甲基硅氧烷(PDMS)是目前微流控芯片中应用的最广泛的基质材料,但基于PDMS材料的微流控芯片在应用中存在溶剂易挥发、难以进行较长时间检测分析的问题。针对这些问题,发展了一种简便高效的"玻璃—PDMS薄膜—玻璃"(G—P—G... 展开更多; 关键词聚二甲基硅氧烷薄膜夹心结构微流控芯片低溶剂蒸发蛋白质结晶生物传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于微结构导电薄膜的柔性压力传感器被引量：4: 4; 作者杨云鹏张婕《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第2期64-67,79,共5页; 针对柔性压力传感器中刚性导电材料和柔性基材之间结合界面较弱,易出现开裂和脱落的问题,通过将导电材料嵌入聚合物表面,实现了两者的稳定连接,并制备了具有微观结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)柔性导电薄膜,然后通过面对面组装的方式完成... 展开更多; 关键词柔性压力传感器微结构聚二甲基硅氧烷导电薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种低成本压电无阀微泵的研制被引量：2: 5; 作者徐亮应济李俊《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第3期101-104,共4页; 提出了一种低成本的由压电材料驱动的平面扩张/收缩管无阀微泵的制作工艺。通过数值模拟确定了扩张/收缩管扩张角的最优值,在此基础上,采用光刻和湿法刻蚀工艺,刻蚀了300μm深的泵腔基片和100μm深的盖片;使用等离子体清洗技术将其与PDM... 展开更多; 关键词无阀微泵低成本聚二甲基硅氧烷薄膜扩张/收缩管湿法刻蚀; 在线阅读下载PDF 职称材料

微纳光纤振动传感器设计与制作: 6; 作者朱江转陈晓雯 +2 位作者徐思雨张示城许飞《实验室研究与探索》 2025年第9期59-62,74,共5页; 为弥补现有声波传感器易受电磁干扰和环境影响的缺陷,设计制作了一种锥形微纳光纤振动传感器。通过多次对照重复实验,分别测量了相同声强条件下20~20000 Hz声波频率范围内的声波响应,以及800 Hz固定频率下不同声强对应的振幅变化,随后,... 展开更多; 关键词微纳光纤振动传感器氢气火焰高温拉伸聚二甲基硅氧烷薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名碳纳米管掺杂对聚二甲基硅氧烷薄膜相对介电常数的影响被引量：4: 1; 作者王奇漏琦伟樊占奎陈钢进; 机构杭州电子科技大学驻极体及其应用实验室杭州电子科技大学信息工程学院; 出处《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期57-61,共5页; 基金浙江省教育厅科研资助项目(y201942055)。; 文摘聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜是基于静电效应的驻极体基微振动传感器和能量采集器中常用的弹性材料,但其相对介电常数偏低,严重阻碍了相关器件工作效率的提高。针对这一问题,本研究提出了一种添加碳纳米管(CNT)提高其相对介电常数的方法。制备了一系列CNT质量分数不同的PDMS薄膜,采用平板电容器原理测量了其相对介电常数,同时测试了其弹性模量和体电阻率。结果表明,在PDMS薄膜中掺杂CNT,可有效提高PDMS薄膜的相对介电常数。CNT的掺杂对PDMS薄膜的弹性、柔性、可塑性等力学性能影响较小,同时仍能保持PDMS薄膜较高的体电阻率。; 关键词聚二甲基硅氧烷薄膜碳纳米管相对介电常数弹性模量体电阻率; Keywords Polydimethylsiloxane(PDMS)Film Carbon nanotubes Relative permittivity Elastic modulus Resistivity; 分类号 TB332 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于PECVD方法制备的透明硅氧烷(SiOxCyHz)阻隔薄膜特性研究被引量：2: 2; 作者董茂进冯煜东韩仙虎蔡宇宏秦丽丽王毅王冠马凤英王济洲; 机构兰州空间技术物理研究所真空技术与物理国防科技重点实验室; 出处《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期99-103,共5页; 文摘柔性、透明的高阻隔性薄膜在有机太阳能薄膜电池、柔性有机发光二极管、电子纸和真空绝热板等领域都有需求。采用对电极辊结构的等离子体增强化学气相沉积方法,卷对卷的方式在聚酯(PET)基膜上,以硅醚(HMDSO)为单体,氧气(O;)为反应气体,制备了柔性硅氧烷(SiOxCyHz)薄膜。研究了膜厚,氧气/单体比例、压力等参数对透水率(WVTR)的影响规律、测试了膜层的组分、透射光谱、应力等特性。研究结果表明,透水率随硅氧烷薄膜厚度增大而减小,随氧气/单体比例增大而减小,随压力减小而增大。500 nm厚的硅氧烷薄膜透水率低于5×10;g/(m;·day),可见光谱段(380-760 nm)透光率达到88.6%,表面粗糙度为1.8 nm,薄膜应力随薄膜厚度增加显著增大。; 关键词硅氧烷薄膜对电极辊等离子体增强化学气相沉积方法阻隔膜透水率; Keywords SiOxCyHz Counter-electrode roller Plasma-enhanced chemical vapor deposition Barrier film Water permeability; 分类号 TG174.45 [金属学及工艺—金属表面处理] TB484.5 [一般工业技术—包装工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名玻璃-PDMS薄膜-玻璃夹心微流控芯片制作被引量：5: 3; 作者王丽李刚金庆辉赵建龙; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室重庆大学光电工程学院; 出处《传感器与微系统》 CSCD 2016年第1期101-103,共3页; 基金国家“973”计划资助项目(2012CB933303,2011CB707505) 国家自然科学基金资助项目(61271161,61271162) 中国科学院科研装备研制项目(YZ201143); 文摘聚二甲基硅氧烷(PDMS)是目前微流控芯片中应用的最广泛的基质材料,但基于PDMS材料的微流控芯片在应用中存在溶剂易挥发、难以进行较长时间检测分析的问题。针对这些问题,发展了一种简便高效的"玻璃—PDMS薄膜—玻璃"(G—P—G)夹心式微流控芯片的制作方法。该方法巧妙利用聚酯(PET)胶片作为载体转移处理脆弱的结构化PDMS膜,然后通过等离子体处理将结构化PDMS膜夹在两个玻璃基板的中间,形成"玻璃—PDMS薄膜—玻璃"夹心结构芯片,由于玻璃材料的低通透性,使得芯片具有低溶剂挥发特性。该夹心式芯片的低溶剂挥发特性通过蛋白质结晶实验得到了验证。; 关键词聚二甲基硅氧烷薄膜夹心结构微流控芯片低溶剂蒸发蛋白质结晶生物传感器; Keywords PDMS film sandwich structure microfluidic chip low solvent evaporation protein crystallization biosensor; 分类号 TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于微结构导电薄膜的柔性压力传感器被引量：4: 4; 作者杨云鹏张婕; 机构江南大学机械工程学院; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第2期64-67,79,共5页; 基金中央高校基本科研基金资助项目(JUSRP11946) 江苏省产业前瞻与共性关键技术(BF2017069)。; 文摘针对柔性压力传感器中刚性导电材料和柔性基材之间结合界面较弱,易出现开裂和脱落的问题,通过将导电材料嵌入聚合物表面,实现了两者的稳定连接,并制备了具有微观结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)柔性导电薄膜,然后通过面对面组装的方式完成了柔性压力传感器的制备。结果表明:表面嵌入导电材料的柔性薄膜性能稳定,在多次试验后,未出现裂纹或脱落的现象;与文献中报道的常规方法相比,具有工艺简单,结合界面稳定的优点。制备的柔性压力传感器在0~1 kPa范围内,具有高灵敏度(0.34 kPa^(-1))和快速响应(<200 ms),可准确检测到手指触摸时的微小压力。因此有望应用于柔性机器人触觉和人机交互界面等领域。; 关键词柔性压力传感器微结构聚二甲基硅氧烷导电薄膜; Keywords flexible pressure sensor microstructure PDMS conductive thin film; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种低成本压电无阀微泵的研制被引量：2: 5; 作者徐亮应济李俊; 机构浙江大学机械工程学系; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第3期101-104,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(50475104) 浙江省自然科学基金重点资助项目(Z106519); 文摘提出了一种低成本的由压电材料驱动的平面扩张/收缩管无阀微泵的制作工艺。通过数值模拟确定了扩张/收缩管扩张角的最优值,在此基础上,采用光刻和湿法刻蚀工艺,刻蚀了300μm深的泵腔基片和100μm深的盖片;使用等离子体清洗技术将其与PDMS薄膜键合,完成了可以实现单向泵送的压电无阀微泵样机制作。研究了该压电无阀微泵样机的性能,分别分析了压电振子的激励频率、电压和微泵背压对其流量的影响。实验结果表明:在100 V,110 Hz交流方波电压信号的作用下,微泵有最大输出流量为436μL/min,最大背压为620 Pa。; 关键词无阀微泵低成本聚二甲基硅氧烷薄膜扩张/收缩管湿法刻蚀; Keywords valveless micropump low-cost PDMS membrane diffuser/nozzle wet etching; 分类号 TH323 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微纳光纤振动传感器设计与制作: 6; 作者朱江转陈晓雯徐思雨张示城许飞; 机构华东理工大学物理学院; 出处《实验室研究与探索》 2025年第9期59-62,74,共5页; 基金华东理工大学“实践教学体系优化与内容更新”类项目(校教[2024]14号) 教育部产学合作协同育人项目(231003117080507)。; 文摘为弥补现有声波传感器易受电磁干扰和环境影响的缺陷,设计制作了一种锥形微纳光纤振动传感器。通过多次对照重复实验,分别测量了相同声强条件下20~20000 Hz声波频率范围内的声波响应,以及800 Hz固定频率下不同声强对应的振幅变化,随后,利用软件对实验数据进行处理与分析。实验结果表明,该传感器检测的声波频率与实际声波频率、声波振幅与实际声强均高度吻合,示波器显示的检测波形具有良好的周期性。; 关键词微纳光纤振动传感器氢气火焰高温拉伸聚二甲基硅氧烷薄膜; Keywords micro-nano optical fiber vibration sensor hydrogen flame high-temperature stretching polydimethylsiloxane film; 分类号 TN253 [电子电信]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	碳纳米管掺杂对聚二甲基硅氧烷薄膜相对介电常数的影响	王奇漏琦伟樊占奎陈钢进	《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心	2022	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于PECVD方法制备的透明硅氧烷(SiOxCyHz)阻隔薄膜特性研究	董茂进冯煜东韩仙虎蔡宇宏秦丽丽王毅王冠马凤英王济洲	《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2022	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	玻璃-PDMS薄膜-玻璃夹心微流控芯片制作	王丽李刚金庆辉赵建龙	《传感器与微系统》 CSCD	2016	5	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于微结构导电薄膜的柔性压力传感器	杨云鹏张婕	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2023	4	在线阅读下载PDF 职称材料
5	一种低成本压电无阀微泵的研制	徐亮应济李俊	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2011	2	在线阅读下载PDF 职称材料
6	微纳光纤振动传感器设计与制作	朱江转陈晓雯徐思雨张示城许飞	《实验室研究与探索》	2025		在线阅读下载PDF 职称材料