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硅桥谐振子的谐振频率受照射光功率影响的理论模型
被引量：
1
1
作者
刘月明
刘君华
朱长纯
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第10期1-4,共4页
对光照射下硅桥谐振子的谐振频率变化进行了理论分析 ,并建立了相应的理论模型 .该理论模型建立在对硅桥进行热传导分析、热应力应变分析和机械振动分析的基础上 ,理论推导过程严密 ,且理论模型的模拟结果与实验测试数据吻合得很好 。
关键词
硅桥谐振子
光照射
谐振
频率
理论模型
传感器
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职称材料
题名
硅桥谐振子的谐振频率受照射光功率影响的理论模型
被引量：
1
1
作者
刘月明
刘君华
朱长纯
机构
西安交通大学
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第10期1-4,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目!(69776037)
国家教育部博士学科点专项科研基金资助项目!(98069828)
文摘
对光照射下硅桥谐振子的谐振频率变化进行了理论分析 ,并建立了相应的理论模型 .该理论模型建立在对硅桥进行热传导分析、热应力应变分析和机械振动分析的基础上 ,理论推导过程严密 ,且理论模型的模拟结果与实验测试数据吻合得很好 。
关键词
硅桥谐振子
光照射
谐振
频率
理论模型
传感器
Keywords
silicon resonant bridge
radiation
resonant frequency
theoretical model
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
硅桥谐振子的谐振频率受照射光功率影响的理论模型
刘月明
刘君华
朱长纯
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
1
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