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惯性约束聚变靶中硅支撑冷却臂的制备
被引量：
1
1
作者
张继成
罗跃川
+5 位作者
马志波
杨苗
周民杰
李佳
吴卫东
唐永建
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期3251-3254,共4页
论述了基于反应离子深刻蚀技术加工惯性约束聚变(ICF)靶的硅支撑冷却臂。利用扫描电子显微镜、白光干涉仪和视觉显微系统等对所制备的硅支撑冷却臂的形貌、侧壁陡直度和卡爪径向形变量等参数进行了表征分析。分析结果表明,硅支撑冷却臂...
论述了基于反应离子深刻蚀技术加工惯性约束聚变(ICF)靶的硅支撑冷却臂。利用扫描电子显微镜、白光干涉仪和视觉显微系统等对所制备的硅支撑冷却臂的形貌、侧壁陡直度和卡爪径向形变量等参数进行了表征分析。分析结果表明,硅支撑冷却臂的侧壁陡直度大于88°,卡爪径向形变量大于20μm,符合靶的设计要求。
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关键词
惯性约束聚变靶
硅支撑冷却臂
反应离子深刻蚀
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职称材料
题名
惯性约束聚变靶中硅支撑冷却臂的制备
被引量：
1
1
作者
张继成
罗跃川
马志波
杨苗
周民杰
李佳
吴卫东
唐永建
机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
西北工业大学微/纳米系统实验室
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期3251-3254,共4页
基金
国家自然科学基金项目(60908023)
四川省非金属复合与功能材料重点实验室开放基金项目(11zxfk19
10zxfk34)
文摘
论述了基于反应离子深刻蚀技术加工惯性约束聚变(ICF)靶的硅支撑冷却臂。利用扫描电子显微镜、白光干涉仪和视觉显微系统等对所制备的硅支撑冷却臂的形貌、侧壁陡直度和卡爪径向形变量等参数进行了表征分析。分析结果表明,硅支撑冷却臂的侧壁陡直度大于88°,卡爪径向形变量大于20μm,符合靶的设计要求。
关键词
惯性约束聚变靶
硅支撑冷却臂
反应离子深刻蚀
Keywords
ICF target
silicon supporting cooling arm
deep reactive ion etching
分类号
TQ177 [化学工程—硅酸盐工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
惯性约束聚变靶中硅支撑冷却臂的制备
张继成
罗跃川
马志波
杨苗
周民杰
李佳
吴卫东
唐永建
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
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