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单侧支撑静电硅微谐振器的试验研究被引量：1: 1; 作者赵江铭沈雪谨 +1 位作者张永宇陈晓阳《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期193-195,共3页; 对设计梁长120μm、梁宽2μm的单侧折叠梁微谐振器进行试验研究,测定了常温常压下的谐振频率、品质因子以及不同电压下的谐振振幅,并与相同条件下、相同梁长的双侧支撑微谐振器的试验结果进行了对比.研究表明:谐振振幅是直流偏置电压的... 展开更多; 关键词 MEMS 静电硅微谐振器单侧支撑结构双侧支撑结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

之字型支撑梁硅微谐振器机械性能分析被引量：2: 2; 作者袁磊沈雪瑾 +1 位作者赵江铭陈晓阳《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期892-895,共4页; 与相同几何尺寸的其他支撑形式相比,之字型支撑梁降低了硅微谐振器的谐振频率。通过对之字型支撑梁硅微谐振器的力学建模分析,发现其为5次超静定问题,在此基础上得出了谐振频率等重要的性能参数随几何参数的变化关系。分析结果表明,在... 展开更多; 关键词 MEMS 硅微谐振器之字型力学建模; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微机械悬臂梁谐振器的电热激励及光纤拾振技术的研究被引量：1: 3; 作者张少君赵小强刘月明《西安理工大学学报》 CAS 2005年第2期188-191,共4页; 用理论分析方法研究了硅微悬臂梁的电热激振机理,得到了微机械悬臂梁电热激励下的温度场分布,并推导出了镀膜双层硅微悬臂梁的电热激励热力矩。利用硅微机械加工工艺制作了双层结构硅微悬臂梁谐振器,通过在硅微悬臂梁上制作的热激励电阻... 展开更多; 关键词硅微谐振器电热激励光纤传感检测; 在线阅读下载PDF 职称材料

光激励硅微机械谐振器的振幅分析及计算(英文): 4; 作者刘月明刘君华张少君《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期99-103,共5页; 分无镀膜 (或镀膜很薄 )和有较厚镀膜两种情况 ,对硅微谐振器的光激励振幅进行了分析计算 .针对有较厚镀膜的硅微谐振器 ,在理论分析的基础上 ,提出了一种新的光激振幅计算模型 ,理论计算与实验测试值吻合得很好 .; 关键词硅微谐振器光激励振幅镀膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究被引量：1: 5; 作者赵江铭杨杰伟 +2 位作者孙俊杰吴晓铃陈晓阳《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第14期1669-1673,共5页; 建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型,得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器,通过试验测定其谐振频率,并用ANSYS软件进行了模态分析。结果表明,该类谐振... 展开更多; 关键词微型机电系统静电硅微多折叠梁谐振器横向振动模型试验研究谐振频率; 在线阅读下载PDF 职称材料

提高硅微谐振系统性能的一项有效措施被引量：1: 6; 作者夏敦柱王寿荣周百令《中国工程科学》 2006年第10期71-74,共4页; 介绍了硅微谐振器系统的工作原理,重点给出了一种基于新型的DDS器件AD9954的智能谐振系统设计与实现。详细分析了AD9954作为智能精密驱动源的粗细搜索两种阶段工作流程并给出与DSP器件的数字接口技术。结合实验数据和扫频曲线,得出在不... 展开更多; 关键词直接数字合成(DDS) 硅微谐振器 AD9954 数字信号处理(DSP); 在线阅读下载PDF 职称材料

孔结构对水平振动谐振器空气阻尼的比较分析被引量：2: 7; 作者孙晋川乔大勇 +1 位作者任森邓进军《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第9期46-49,共4页; 基于SOI工艺的水平振动梳状硅微谐振器的品质因数Q值在真空封装下能达到105量级以上。但是在常压下,由于受到空气阻尼的影响,其Q值往往降至102量级甚至更小。增加谐振器质量可以提高Q值,但是会增大谐振器面积使绝缘层难以释放。由此提... 展开更多; 关键词 SOI Q值空气阻尼水平振动开孔硅微谐振器; 在线阅读下载PDF 职称材料

离子束探测光学谐振器: 8; 《中国光学》 EI CAS CSCD 2016年第1期171-172,共2页; 研究人员发现，可以通过离子束对微型光学惜振器的性能进行精巧的测量和调节，这一发现将有助于改进在传感和量子计算领域应用的孔洞的生产。美国国家标准与技术研究所（NIST）研究人员利用半径为50nm的锂离子诱导硅微谐振器表面变形... 展开更多; 关键词硅微谐振器离子束光学探测美国国家标准研究人员表面变形量子计算; 在线阅读下载PDF 职称材料

光电集成与器件: 9; 《中国光学》 EI CAS 2000年第3期52-53,共2页; TN256 2000031838光纤陀螺用GaAs集成光学芯片=GaAs integratedoptical chips for optical fiber gyroscopes[会,中]/李瑾,杨建义,王明华(浙江大学信息与电子工程学系.浙江,杭州(310027))//全国第九次光纤通信暨第十届集成光学学术会议... 展开更多; 关键词光纤陀螺集成光学芯片抗辐射能力光电子集成技术光纤通信浙江大学半导体工艺温度特性器件性能硅微谐振器; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名单侧支撑静电硅微谐振器的试验研究被引量：1: 1; 作者赵江铭沈雪谨张永宇陈晓阳; 机构上海大学; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期193-195,共3页; 基金国家自然科学基金资助重点项目(50135054) 国家重点基础研究发展规划资助项目(G1999033109); 文摘对设计梁长120μm、梁宽2μm的单侧折叠梁微谐振器进行试验研究,测定了常温常压下的谐振频率、品质因子以及不同电压下的谐振振幅,并与相同条件下、相同梁长的双侧支撑微谐振器的试验结果进行了对比.研究表明:谐振振幅是直流偏置电压的线性函数,是交流驱动电压的二次幂函数;相同条件下,单侧支撑微谐振器的振幅输出大于双侧支撑微谐振器的振幅输出.; 关键词 MEMS 静电硅微谐振器单侧支撑结构双侧支撑结构; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名之字型支撑梁硅微谐振器机械性能分析被引量：2: 2; 作者袁磊沈雪瑾赵江铭陈晓阳; 机构上海大学; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期892-895,共4页; 基金国家自然科学基金资助重点项目(50435040); 文摘与相同几何尺寸的其他支撑形式相比,之字型支撑梁降低了硅微谐振器的谐振频率。通过对之字型支撑梁硅微谐振器的力学建模分析,发现其为5次超静定问题,在此基础上得出了谐振频率等重要的性能参数随几何参数的变化关系。分析结果表明,在保证支撑梁垂直长度不变的条件下,对固定的折弯次数n,谐振频率fx 随折弯角度φ的增大而增大;对固定的折弯角度φ,谐振频率fx 随折弯次数n的增大而趋于一个固定值;φ=90°时则等效于双侧直脚型微谐振器。; 关键词 MEMS 硅微谐振器之字型力学建模; Keywords MEMS microresonator flexuous suspension mechanics modeling; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械] O441 [理学—电磁学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微机械悬臂梁谐振器的电热激励及光纤拾振技术的研究被引量：1: 3; 作者张少君赵小强刘月明; 机构西安理工大学理学院西安理工大学机械与精密仪器工程学院; 出处《西安理工大学学报》 CAS 2005年第2期188-191,共4页; 基金陕西省教委专项科研计划基金资助项目(02JK155) 西安理工大学科技创新研究计划基金资助项目; 文摘用理论分析方法研究了硅微悬臂梁的电热激振机理,得到了微机械悬臂梁电热激励下的温度场分布,并推导出了镀膜双层硅微悬臂梁的电热激励热力矩。利用硅微机械加工工艺制作了双层结构硅微悬臂梁谐振器,通过在硅微悬臂梁上制作的热激励电阻,用电热方法对硅微谐振器实现了激振。设计了光纤传感检测系统用于硅微谐振器微弱谐振信号的拾取,并成功检测到了硅微谐振器的前3阶谐振信号。; 关键词硅微谐振器电热激励光纤传感检测; Keywords silicon microcantilever resonator electro-thermal excitation optical fiber sensing monitoring; 分类号 TN202 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光激励硅微机械谐振器的振幅分析及计算(英文): 4; 作者刘月明刘君华张少君; 机构西安交通大学电气测量教研室西安理工大学西安理工大学; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期99-103,共5页; 基金 The projectsupported by the National Nature Science Foundation of China( No.697760 37) and Research Foundation of Education Dep; 文摘分无镀膜 (或镀膜很薄 )和有较厚镀膜两种情况 ,对硅微谐振器的光激励振幅进行了分析计算 .针对有较厚镀膜的硅微谐振器 ,在理论分析的基础上 ,提出了一种新的光激振幅计算模型 ,理论计算与实验测试值吻合得很好 .; 关键词硅微谐振器光激励振幅镀膜; Keywords Silicon microresonators Optical excitation Amplitude; 分类号 TN751.2 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究被引量：1: 5; 作者赵江铭杨杰伟孙俊杰吴晓铃陈晓阳; 机构郑州大学上海大学; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第14期1669-1673,共5页; 基金国家重点基础研究发展计划资助项目(G1999033109) 上海市青年科技启明星计划项目(03QF14019) +1 种基金上海市应用材料研究与发展基金资助项目(AM0420); 文摘建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型,得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器,通过试验测定其谐振频率,并用ANSYS软件进行了模态分析。结果表明,该类谐振器谐振频率的理论计算值和ANSYS模拟值与实测值间的相对误差均小于2%,验证了该理论模型的正确性。采用多折叠梁谐振器可以实现低频下大振幅的电能-微机械能的转换。; 关键词微型机电系统静电硅微多折叠梁谐振器横向振动模型试验研究谐振频率; Keywords MEMS silicon micro electrostatic resonators with multi--folded--beam suspensions transverse oscillating model experimental study resonance frequency; 分类号 TP112 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名提高硅微谐振系统性能的一项有效措施被引量：1: 6; 作者夏敦柱王寿荣周百令; 机构东南大学仪器科学与工程系; 出处《中国工程科学》 2006年第10期71-74,共4页; 基金 "八六三"国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA812038) "十五"计划国防预研资助项目(41308050109); 文摘介绍了硅微谐振器系统的工作原理,重点给出了一种基于新型的DDS器件AD9954的智能谐振系统设计与实现。详细分析了AD9954作为智能精密驱动源的粗细搜索两种阶段工作流程并给出与DSP器件的数字接口技术。结合实验数据和扫频曲线,得出在不同真空度环境下谐振器的两种扫频结果,并对谐振系统的工作情况给予评价。; 关键词直接数字合成(DDS) 硅微谐振器 AD9954 数字信号处理(DSP); Keywords direct digital synthesis （DDS） silicon micro-resonator AD9954 digital signal processing; 分类号 U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名孔结构对水平振动谐振器空气阻尼的比较分析被引量：2: 7; 作者孙晋川乔大勇任森邓进军; 机构西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第9期46-49,共4页; 文摘基于SOI工艺的水平振动梳状硅微谐振器的品质因数Q值在真空封装下能达到105量级以上。但是在常压下,由于受到空气阻尼的影响,其Q值往往降至102量级甚至更小。增加谐振器质量可以提高Q值,但是会增大谐振器面积使绝缘层难以释放。由此提出了一种减小空气阻尼来提高水平振动谐振器Q值的方法,通过设计一系列不同形状的开孔硅微谐振器并比较其实验数据,得到最优的释放孔结构以减小谐振器所受的空气阻尼从而得到更高的Q值。该研究对水平振动谐振器结构设计有一定意义。; 关键词 SOI Q值空气阻尼水平振动开孔硅微谐振器; Keywords SOI Q value air damping horizontal vibration perforated silicon micro resonator; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名离子束探测光学谐振器: 8; 出处《中国光学》 EI CAS CSCD 2016年第1期171-172,共2页; 文摘研究人员发现，可以通过离子束对微型光学惜振器的性能进行精巧的测量和调节，这一发现将有助于改进在传感和量子计算领域应用的孔洞的生产。美国国家标准与技术研究所（NIST）研究人员利用半径为50nm的锂离子诱导硅微谐振器表面变形，并通过光学共振波长的变化检测这些变形。; 关键词硅微谐振器离子束光学探测美国国家标准研究人员表面变形量子计算; 分类号 O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光电集成与器件: 9; 出处《中国光学》 EI CAS 2000年第3期52-53,共2页; 文摘 TN256 2000031838光纤陀螺用GaAs集成光学芯片=GaAs integratedoptical chips for optical fiber gyroscopes[会,中]/李瑾,杨建义,王明华(浙江大学信息与电子工程学系.浙江,杭州(310027))//全国第九次光纤通信暨第十届集成光学学术会议.—秦皇岛,99.08叙述的光纤陀螺用集成光学芯片采用GaAs材料实现,体积可以更小,并且具有良好的温度特性和抗辐射能力。随着光电子集成技术的发展,利用成熟的半导体工艺可以进一步实现芯片与光源。; 关键词光纤陀螺集成光学芯片抗辐射能力光电子集成技术光纤通信浙江大学半导体工艺温度特性器件性能硅微谐振器; 分类号 TN256 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	单侧支撑静电硅微谐振器的试验研究	赵江铭沈雪谨张永宇陈晓阳	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	之字型支撑梁硅微谐振器机械性能分析	袁磊沈雪瑾赵江铭陈晓阳	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	硅微机械悬臂梁谐振器的电热激励及光纤拾振技术的研究	张少君赵小强刘月明	《西安理工大学学报》 CAS	2005	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	光激励硅微机械谐振器的振幅分析及计算(英文)	刘月明刘君华张少君	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2001	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究	赵江铭杨杰伟孙俊杰吴晓铃陈晓阳	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	提高硅微谐振系统性能的一项有效措施	夏敦柱王寿荣周百令	《中国工程科学》	2006	1	在线阅读下载PDF 职称材料
7	孔结构对水平振动谐振器空气阻尼的比较分析	孙晋川乔大勇任森邓进军	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2013	2	在线阅读下载PDF 职称材料
8	离子束探测光学谐振器		《中国光学》 EI CAS CSCD	2016	0	在线阅读下载PDF 职称材料
9	光电集成与器件		《中国光学》 EI CAS	2000	0	在线阅读下载PDF 职称材料