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基于多频扫描的硅微谐振压力传感器测试方法
1
作者
程波
苑伟政
+1 位作者
任森
王飞
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第10期17-19,共3页
为了对硅微谐振压力传感器进行快速、高精度的开环特性测试,提出了一种基于多频扫描的频率特性测试方法。通过数字电路将多个不同频率的扫频信号叠加作为驱动信号,以实现在整个测试频带范围内高效且高精度的频率特性测试。搭建了以现场...
为了对硅微谐振压力传感器进行快速、高精度的开环特性测试,提出了一种基于多频扫描的频率特性测试方法。通过数字电路将多个不同频率的扫频信号叠加作为驱动信号,以实现在整个测试频带范围内高效且高精度的频率特性测试。搭建了以现场可编程门阵列(FPGA)为核心的多频扫描测试系统,采用4个正弦扫频信号叠加进行测试,结果表明:多频扫描测试与稳态扫描测试精度基本一致,但测试效率提高了4倍。多频扫描测试方法在保证测试精度的前提下,显著提高了测试效率,能够更好地满足高Q值传感器及其在批量生产过程中的测试需求。
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关键词
多频扫描
硅微谐振压力传感器
频率特性
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职称材料
题名
基于多频扫描的硅微谐振压力传感器测试方法
1
作者
程波
苑伟政
任森
王飞
机构
西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室
西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第10期17-19,共3页
基金
西北工业大学中央高校基本科研业务费资助项目(3102015BJ(II)MYZ24)
文摘
为了对硅微谐振压力传感器进行快速、高精度的开环特性测试,提出了一种基于多频扫描的频率特性测试方法。通过数字电路将多个不同频率的扫频信号叠加作为驱动信号,以实现在整个测试频带范围内高效且高精度的频率特性测试。搭建了以现场可编程门阵列(FPGA)为核心的多频扫描测试系统,采用4个正弦扫频信号叠加进行测试,结果表明:多频扫描测试与稳态扫描测试精度基本一致,但测试效率提高了4倍。多频扫描测试方法在保证测试精度的前提下,显著提高了测试效率,能够更好地满足高Q值传感器及其在批量生产过程中的测试需求。
关键词
多频扫描
硅微谐振压力传感器
频率特性
Keywords
multi-frequency scanning
silicon micro resonant pressure sensor
frequency characteristics
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于多频扫描的硅微谐振压力传感器测试方法
程波
苑伟政
任森
王飞
《传感器与微系统》
CSCD
2017
0
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