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硅微热致动泵设计及其加工工艺的研究被引量：2: 1; 作者崔天宏周兆英 +2 位作者王晓浩叶雄英杨岳《仪表技术与传感器》 EI CSCD 北大核心 1998年第8期10-13,共4页; 本文提出了一种新结构的硅微热致动泵，着重对其关键加工工艺进行了综述分析和实验研究，可为国内相关领域的研究提供一定的参考。; 关键词微型机械微型泵硅微加工工艺硅微热致动泵; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	硅微热致动泵设计及其加工工艺的研究	崔天宏周兆英王晓浩叶雄英杨岳	《仪表技术与传感器》 EI CSCD 北大核心	1998	2	在线阅读下载PDF 职称材料

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