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一种新型MEMS温度传感器
被引量：
7
1
作者
时子青
陈向东
+1 位作者
龚静
李秀梅
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第9期149-152,共4页
提出了一种新型的基于硅微桥的MEMS温度传感器。传感器是由表面制有惠斯通电桥的硅微桥和淀积在其表面的温敏聚合物薄膜构成。应用弹性力学薄板理论分析了该温度传感器的模型。分析表明:硅微桥的输出与温度变化呈线性关系。在温敏薄膜...
提出了一种新型的基于硅微桥的MEMS温度传感器。传感器是由表面制有惠斯通电桥的硅微桥和淀积在其表面的温敏聚合物薄膜构成。应用弹性力学薄板理论分析了该温度传感器的模型。分析表明:硅微桥的输出与温度变化呈线性关系。在温敏薄膜材料参数已知时,采用大面积、高厚度,可以改善传感器性能。
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关键词
双层薄膜
硅微桥压阻式
温度传感器
微
机电系统
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职称材料
题名
一种新型MEMS温度传感器
被引量：
7
1
作者
时子青
陈向东
龚静
李秀梅
机构
西南交通大学信息科学与技术学院
西南交通大学物理科学与技术学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第9期149-152,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60871024)
国家重点实验室开放课题(KFJJ200915)
文摘
提出了一种新型的基于硅微桥的MEMS温度传感器。传感器是由表面制有惠斯通电桥的硅微桥和淀积在其表面的温敏聚合物薄膜构成。应用弹性力学薄板理论分析了该温度传感器的模型。分析表明:硅微桥的输出与温度变化呈线性关系。在温敏薄膜材料参数已知时,采用大面积、高厚度,可以改善传感器性能。
关键词
双层薄膜
硅微桥压阻式
温度传感器
微
机电系统
Keywords
bi-layer film
Si micro-bridge piezoresistive
temperature sensor
MEMS
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新型MEMS温度传感器
时子青
陈向东
龚静
李秀梅
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011
7
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