期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究
1
作者
张昱
金心宇
+1 位作者
陈抗生
王跃林
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期380-383,共4页
本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上 ,证明其适合于真空环境测量。利用闭环测控电路方式 ,使整机具有良好的灵敏度和可靠性。讨论了测量仪的测量原理、硬件组成...
本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上 ,证明其适合于真空环境测量。利用闭环测控电路方式 ,使整机具有良好的灵敏度和可靠性。讨论了测量仪的测量原理、硬件组成和软件设计。该测量仪的真空度测量范围接近 10 2 ～ 10 - 1 Pa,具有可靠性高。
展开更多
关键词
硅微机械谐振传感器
单片机
闭环测控
真空测量
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究
1
作者
张昱
金心宇
陈抗生
王跃林
机构
浙江大学信息学院
上海冶金研究所传感技术国家重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期380-383,共4页
基金
国家自然科学基金 ( 6 92 36 0 2 2 )资助课题
文摘
本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上 ,证明其适合于真空环境测量。利用闭环测控电路方式 ,使整机具有良好的灵敏度和可靠性。讨论了测量仪的测量原理、硬件组成和软件设计。该测量仪的真空度测量范围接近 10 2 ～ 10 - 1 Pa,具有可靠性高。
关键词
硅微机械谐振传感器
单片机
闭环测控
真空测量
Keywords
Silicon micromechanical resonator Singlechip microcomputer Closed- loop measurement and con- trol Vacuum measurement
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TB77 [一般工业技术—真空技术]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究
张昱
金心宇
陈抗生
王跃林
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
