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有限元法在谐振式硅微机械加速度计设计中的应用
被引量：
3
1
作者
钟莹
李醒飞
张国雄
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期465-467,共3页
谐振式硅微机械加速度计是新型高精度的微机电系统传感器.作者选用双端固定音叉作为谐振器,设计了一种硅微谐振式加速度计.设计中,使用了有限元分析软件进行了大量辅助分析,对传感器的工作情况进行了仿真.通过模拟和计算,预先估算出谐...
谐振式硅微机械加速度计是新型高精度的微机电系统传感器.作者选用双端固定音叉作为谐振器,设计了一种硅微谐振式加速度计.设计中,使用了有限元分析软件进行了大量辅助分析,对传感器的工作情况进行了仿真.通过模拟和计算,预先估算出谐振器固有频率、应力分布情况以及传感器基本性能参数,这对传感器工艺流程设计及结构改进具有重要意义.有限元分析结果显示,传感器的灵敏度大约为2Hz/g.
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关键词
谐振式
硅微机械加速度计
有限元法
设计方法
微机
电系统
固有频率
应力分布
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职称材料
谐振原理在硅微机械加速度计中的应用
被引量：
2
2
作者
钟莹
张国雄
李醒飞
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002年第4期1-3,共3页
将谐振原理应用于硅微机械加速度计中 ,可以改善后者输出信号的质量 ,降低检测难度。随着微机电系统工艺的发展 。
关键词
谐振原理
硅微机械加速度计
微机
电系统
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职称材料
题名
有限元法在谐振式硅微机械加速度计设计中的应用
被引量：
3
1
作者
钟莹
李醒飞
张国雄
机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期465-467,共3页
文摘
谐振式硅微机械加速度计是新型高精度的微机电系统传感器.作者选用双端固定音叉作为谐振器,设计了一种硅微谐振式加速度计.设计中,使用了有限元分析软件进行了大量辅助分析,对传感器的工作情况进行了仿真.通过模拟和计算,预先估算出谐振器固有频率、应力分布情况以及传感器基本性能参数,这对传感器工艺流程设计及结构改进具有重要意义.有限元分析结果显示,传感器的灵敏度大约为2Hz/g.
关键词
谐振式
硅微机械加速度计
有限元法
设计方法
微机
电系统
固有频率
应力分布
Keywords
resonator
accelerometer
micro-electromechanical system
finite element method
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
TH－39 [机械工程]
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职称材料
题名
谐振原理在硅微机械加速度计中的应用
被引量：
2
2
作者
钟莹
张国雄
李醒飞
机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002年第4期1-3,共3页
文摘
将谐振原理应用于硅微机械加速度计中 ,可以改善后者输出信号的质量 ,降低检测难度。随着微机电系统工艺的发展 。
关键词
谐振原理
硅微机械加速度计
微机
电系统
Keywords
micro electronic mechanical system (MEMS)
resonantor
accelerometer
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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出处
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被引量
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1
有限元法在谐振式硅微机械加速度计设计中的应用
钟莹
李醒飞
张国雄
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
3
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职称材料
2
谐振原理在硅微机械加速度计中的应用
钟莹
张国雄
李醒飞
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002
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