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集成硅微悬臂梁融合式传感器制造技术被引量：5: 1; 作者温志渝费龙 +2 位作者钟先信胡松王晓兰《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1995年第2期47-50,共4页; 简要地描述了以各种微结构的硅悬臂梁作为敏感元件构成的不同用途的新型融合式传感器及其列阵；介绍了硅微悬臂梁融合式传感器的设计和制造工艺；对笔者正在研究的硅微悬臂梁与光纤组合式列阵感器作了初步的报道。研究结果表明这是一种... 展开更多; 关键词硅微悬臂梁融合式传感器微细加工技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究被引量：3: 2; 作者刘月明田维坚张少君《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期371-374,共4页; 研究了利用镀膜硅微机械悬臂梁红外辐射热挠曲实现红外辐射探测的技术 ,建立了镀膜双层硅微悬臂梁红外辐射热挠曲的理论模型并利用镀有二氧化硅膜层的硅微悬臂梁 ,在硅微悬臂梁根部制作热挠曲检测压敏电阻 ,用实验方法测试了硅微悬臂... 展开更多; 关键词红外辐射热探测硅微悬臂梁镀膜优化; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器被引量：4: 3; 作者韩建强朱长纯 +1 位作者刘君华魏培永《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期473-476,共4页; 利用 IC工艺和微机械加工技术制作了一种硅 /二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。基于硅和二氧化硅两种材料热膨胀系数的差异 ,不同温度下梁的挠度不同 ,其形变可通过位于梁根部的压敏电桥检测。理论计算和实验结果表明 :压敏电桥输出电... 展开更多; 关键词硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器时效处理瞬态温度微机械加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微机械与光纤组合式列阵传感器被引量：4: 4; 作者温志渝钟先信 +1 位作者孙晓松黄友恕《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期336-341,共6页; 本文提出了一种新颖的硅微机械与光纤组合式列阵传感器，它的主要结构部分是通过半导体微细加工技术在硅片上得到的。文中介绍了这种传感器的结构，工作原理及研制工艺，讨论分析了影响传感器灵敏度的主要因素。研制的硅微机械与光纤组... 展开更多; 关键词硅微机械硅悬臂梁光纤组合硅微悬臂梁固有频率光电探测器硅的各向异性腐蚀光纤传感器实验系统微细加工技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名集成硅微悬臂梁融合式传感器制造技术被引量：5: 1; 作者温志渝费龙钟先信胡松王晓兰; 机构重庆大学; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1995年第2期47-50,共4页; 基金国家自然科学基金; 文摘简要地描述了以各种微结构的硅悬臂梁作为敏感元件构成的不同用途的新型融合式传感器及其列阵；介绍了硅微悬臂梁融合式传感器的设计和制造工艺；对笔者正在研究的硅微悬臂梁与光纤组合式列阵感器作了初步的报道。研究结果表明这是一种很有前途的技术。; 关键词硅微悬臂梁融合式传感器微细加工技术; Keywords Mico-machining silicon cantiliver,Hybrid sensor,Micro-processing technique; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究被引量：3: 2; 作者刘月明田维坚张少君; 机构中国科学院西安光学精密机械研究所西安理工大学; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期371-374,共4页; 基金陕西省教委专项科研计划 (0 2JK155) 中国博士后基金(2 0 0 2 0 3 2 2 2 5) +1 种基金王宽诚博士后基金中国科学院"百人计划"基金资助项目; 文摘研究了利用镀膜硅微机械悬臂梁红外辐射热挠曲实现红外辐射探测的技术 ,建立了镀膜双层硅微悬臂梁红外辐射热挠曲的理论模型并利用镀有二氧化硅膜层的硅微悬臂梁 ,在硅微悬臂梁根部制作热挠曲检测压敏电阻 ,用实验方法测试了硅微悬臂梁对红外辐射的响应规律 ,结果表明该镀膜硅微悬臂梁对顶端辐射激励的 1 .5μm红外光的响应灵敏度可达 2 .39μV/mW 用计算机优化方法得到了硅微机械悬臂梁的最佳镀膜厚度比的规律。; 关键词红外辐射热探测硅微悬臂梁镀膜优化; Keywords Infrared radiation Thermal detection Micromechanic al silicon cantilever Coating optimization; 分类号 TN215 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器被引量：4: 3; 作者韩建强朱长纯刘君华魏培永; 机构西安交通大学电信学院; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期473-476,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目 (6 0 0 36 0 10 5 0 0 770 16 +1 种基金 6 0 2 76 0 37) 教育部博士点基金 (2 0 0 2 0 6 980 14 )资助项目; 文摘利用 IC工艺和微机械加工技术制作了一种硅 /二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。基于硅和二氧化硅两种材料热膨胀系数的差异 ,不同温度下梁的挠度不同 ,其形变可通过位于梁根部的压敏电桥检测。理论计算和实验结果表明 :压敏电桥输出电压与温度成线性关系。对器件结构进行了优化设计 ,实验探索了提高传感器测量重复性的时效处理工艺。该温度传感器可用于瞬态温度的测量。; 关键词硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器时效处理瞬态温度微机械加工; Keywords Microcantilever Temperature sensor Ageing process Transient temperature; 分类号 TP212.11 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微机械与光纤组合式列阵传感器被引量：4: 4; 作者温志渝钟先信孙晓松黄友恕; 机构重庆大学; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期336-341,共6页; 基金国家自然科学基金; 文摘本文提出了一种新颖的硅微机械与光纤组合式列阵传感器，它的主要结构部分是通过半导体微细加工技术在硅片上得到的。文中介绍了这种传感器的结构，工作原理及研制工艺，讨论分析了影响传感器灵敏度的主要因素。研制的硅微机械与光纤组合式列阵传感器初步应用于声光探测的实验系统中，获得了较满意的结果。; 关键词硅微机械硅悬臂梁光纤组合硅微悬臂梁固有频率光电探测器硅的各向异性腐蚀光纤传感器实验系统微细加工技术; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料