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硅微热致动泵设计及其加工工艺的研究被引量：2: 1; 作者崔天宏周兆英 +2 位作者王晓浩叶雄英杨岳《仪表技术与传感器》 EI CSCD 北大核心 1998年第8期10-13,共4页; 本文提出了一种新结构的硅微热致动泵，着重对其关键加工工艺进行了综述分析和实验研究，可为国内相关领域的研究提供一定的参考。; 关键词微型机械微型泵硅微加工工艺硅微热致动泵; 在线阅读下载PDF 职称材料

体硅加工的压电式微加速度计的设计被引量：6: 2; 作者杨慧李伟红郭航《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期237-240,共4页; 提出并设计了一种采用体硅微制造工艺制造的压电式微加速度计,其中体硅加工的硅质量块由悬臂梁支撑且悬臂梁部分区域沉积ZnO压电薄膜。通过对压电悬臂梁建立一维解析模型,研究了影响加速度计灵敏度的结构因素。在此基础上,利用有限元方... 展开更多; 关键词 MEMS 体硅微加工工艺压电式微加速度计氧化锌; 在线阅读下载PDF 职称材料

Micro-nano electromechanical system by bulk silicon micromachining 被引量：3: 3; 作者 Masayoshi Esashi Takahito Ono 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第6期608-613,共6页; 关键词微纳电械系统 MEMS 体硅微加工工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	硅微热致动泵设计及其加工工艺的研究	崔天宏周兆英王晓浩叶雄英杨岳	《仪表技术与传感器》 EI CSCD 北大核心	1998	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	体硅加工的压电式微加速度计的设计	杨慧李伟红郭航	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	6	在线阅读下载PDF 职称材料
3	Micro-nano electromechanical system by bulk silicon micromachining	Masayoshi Esashi Takahito Ono	《光学精密工程》 EI CAS CSCD	2002	3	在线阅读下载PDF 职称材料