一种非硅微加工技术制作的电热微驱动器 被引量：6

1

作者 张小波 吴义伯 +2 位作者 王亚攀 张丛春 丁桂甫 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第8期118-120,共3页

介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应,采用聚合物SU—8胶和金属镍作为功能材料和结构材料,铜为牺牲层材料制作电热微驱动器。利用ANSYS有限元分析软件进行仿真,模拟驱动位移随加热时间的变化关系,并由此得出... 介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应,采用聚合物SU—8胶和金属镍作为功能材料和结构材料,铜为牺牲层材料制作电热微驱动器。利用ANSYS有限元分析软件进行仿真,模拟驱动位移随加热时间的变化关系,并由此得出驱动力的大小,比较结果后确定结构参数。再通过光刻、掩模电镀和牺牲层刻蚀等工艺,加工制作出了电热微驱动器样品,并对样品进行了观测和分析。 展开更多

关键词 电热微驱动器 聚合物 ANSYS仿真 非硅微加工

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硅微热致动泵设计及其加工工艺的研究 被引量：2

2

作者 崔天宏 周兆英 +2 位作者 王晓浩 叶雄英 杨岳 《仪表技术与传感器》 EI CSCD 北大核心 1998年第8期10-13,共4页

本文提出了一种新结构的硅微热致动泵，着重对其关键加工工艺进行了综述分析和实验研究，可为国内相关领域的研究提供一定的参考。

关键词 微型机械 微型泵 硅微加工工艺 硅微热致动泵

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体硅加工的压电式微加速度计的设计 被引量：6

3

作者 杨慧 李伟红 郭航 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期237-240,共4页

提出并设计了一种采用体硅微制造工艺制造的压电式微加速度计,其中体硅加工的硅质量块由悬臂梁支撑且悬臂梁部分区域沉积ZnO压电薄膜。通过对压电悬臂梁建立一维解析模型,研究了影响加速度计灵敏度的结构因素。在此基础上,利用有限元方... 提出并设计了一种采用体硅微制造工艺制造的压电式微加速度计,其中体硅加工的硅质量块由悬臂梁支撑且悬臂梁部分区域沉积ZnO压电薄膜。通过对压电悬臂梁建立一维解析模型,研究了影响加速度计灵敏度的结构因素。在此基础上,利用有限元方法软件ANSYS设计了实际的微加速度计,并对六种不同的微加速度计结构进行了分析,得到了不同结构微加速度计的工作频率范围及灵敏度结果。 展开更多

关键词 MEMS 体硅微加工工艺 压电式微加速度计 氧化锌

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利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术

4

作者 邓晓蓓 王向军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第z1期31-35,共5页

本文的主要内容包括:(1)简要介绍了硅微型陀螺仪的分类及其基本工作原理,包括硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪、振动轮式微机械陀螺仪、硅微型框架驱动式陀螺仪.(2)详细介绍了以微陀螺为核心的微型惯性测量系统的组成,在应用中的关键技术... 本文的主要内容包括:(1)简要介绍了硅微型陀螺仪的分类及其基本工作原理,包括硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪、振动轮式微机械陀螺仪、硅微型框架驱动式陀螺仪.(2)详细介绍了以微陀螺为核心的微型惯性测量系统的组成,在应用中的关键技术,主要问题及解决途径,并展望了微型惯性测量系统的发展前景.(3)提出了利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术. 展开更多

关键词 MEMS 微加工 硅微加工 非全硅微陀螺

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应用硅和非硅MEMS技术的微型直接甲醇燃料电池(英文) 被引量：5

5

作者 汤小川 张宇峰 +2 位作者 苑振宇 王喜莲 刘晓为 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1218-1222,共5页

分别以硅和不锈钢材料为极板研制了两种结构简单、体积小、比能量密度高的微型直接甲醇燃料电池,并介绍了该电池的工作原理和结构。利用光刻、溅射和腐蚀等MEMS技术完成了硅基微型直接甲醇燃料电池的制作,实验测试表明,在室温条件下,使... 分别以硅和不锈钢材料为极板研制了两种结构简单、体积小、比能量密度高的微型直接甲醇燃料电池,并介绍了该电池的工作原理和结构。利用光刻、溅射和腐蚀等MEMS技术完成了硅基微型直接甲醇燃料电池的制作,实验测试表明,在室温条件下,使用1.5 mol/L甲醇溶液供液时其开路输出电压为520mV,最大输出功率密度达到5.9mW/cm2;利用非硅微加工技术完成的不锈钢微型直接甲醇燃料电池,在室温下用2mol/L甲醇溶液供液时开路输出电压为650mV,最大输出功率密度达到15.8mW/cm2。 展开更多

关键词 甲醇燃料电池 硅基技术 非硅微加工 微机电系统 最大功率密度

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一种新型硅微机械粘滞型谐振真空计 被引量：8

6

作者 王亚强 金仲和 +1 位作者 王跃林 丁纯 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1997年第3期153-159,共7页

在对静电激励硅微机械谐振真空传感器研究的基础上，实现了一种新型的粘滞型谐振真空计。并给出了理论分析和实验结果。测试表明，其有效量程为1～1．33×103Pa。

关键词 静电力 微机械 粘滞型 谐振真空计 硅微加工

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硅微加速度传感器的现状及研究方向 被引量：10

7

作者 费龙 钟先信 +1 位作者 温志渝 高扬 《传感器技术》 CSCD 1995年第5期1-6,共6页

综述了典型的硅微加速度传感器的原理、结构和特性，分析了硅微加速度传感器中的几项关键技术和研究方向。

关键词 传感器 加速度 硅微加工

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基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜(英文) 被引量：1

8

作者 栗大超 吴文刚 +3 位作者 袁勇 陈庆华 郝一龙 胡小唐 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1750-1753,共4页

为了改善硅微机械扭转微镜的机电耦合特性,降低器件的驱动电压并提高其工作可靠性,提出了几种新颖的基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜.提出的硅微机械扭转微镜将垂直扭转梳齿静电驱动结构、侧壁平行板电容静电驱动结构有机结合,... 为了改善硅微机械扭转微镜的机电耦合特性,降低器件的驱动电压并提高其工作可靠性,提出了几种新颖的基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜.提出的硅微机械扭转微镜将垂直扭转梳齿静电驱动结构、侧壁平行板电容静电驱动结构有机结合,实现了两种静电驱动方式的复合驱动,同时设计了内外双镜面结构,通过内外双镜面结构,实现了微镜的差动复合驱动,理论分析、模拟仿真与测试结果表明,通过上述两个方面新颖的设计,新结构显著降低了器件的驱动电压.同时为了提高器件的工作可靠性,在设计折叠梁柔性支撑结构时,将梁的不同位置设计成不同的厚度,对于硅微机械扭转微镜扭转过程中容易疲劳的梁部分加大了其厚度,从而在不影响器件扭转性能的前提下,明显提高了器件的可靠性.利用有限元方法对器件的力学特性和机电耦合特性进行了系统的仿真,获得了影响器件机电特性的关键结构参数.器件基于SOI晶片,采用表面硅工艺与体硅工艺相结合的方式加工制造,采用SOI晶片显著降低了微镜镜面的表面粗糙度,提高了其光反射能力.最后利用原子力显微镜对微镜镜面的表面粗糙度进行了测量和分析,实验结果表面微镜表面具有16nm的表面粗糙度,完全可以满足光学应用的需要. 展开更多

关键词 MEMS 扭转微镜 硅微加工 SOI 复合驱动 表面粗糙度

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MOEMS器件的硅微透镜阵列制造工艺

9

作者 王进 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第10期5-7,共3页

开发了一种适于MOEMS器件的基于硅微加工技术的简易的硅微透镜阵列制造工艺。通过光刻胶热熔法与ICPRIE(感应耦合等离子反应离子刻蚀)相结合的方式,实现在硅晶圆上批量生产微透镜阵列。通过多层涂胶的方式以及以2.5℃/min的速率从115℃... 开发了一种适于MOEMS器件的基于硅微加工技术的简易的硅微透镜阵列制造工艺。通过光刻胶热熔法与ICPRIE(感应耦合等离子反应离子刻蚀)相结合的方式,实现在硅晶圆上批量生产微透镜阵列。通过多层涂胶的方式以及以2.5℃/min的速率从115℃升温至130℃的热熔工艺,获得口径为2.41 mm、矢高99.9μm的光刻胶微透镜阵列。通过控制ICPRIE的胶与硅的刻蚀选择比达到约1∶1,将光刻胶曲率准确地转移到硅晶圆上。 展开更多

关键词 微透镜阵列 MOEMS 硅微加工技术 光刻胶热熔法 ICPRIE

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闪耀角可调微型可编程光栅的优化设计与仿真模拟 被引量：2

10

作者 李晓莹 吴焱 +2 位作者 虞益挺 刁金帅 闫治晚 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期49-53,共5页

基于体硅微加工技术,设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅,对该光栅进行优化设计,并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强分布,采用COMSOL有限元仿真软件模拟不同入射参量下远场相对光强分布.结果表明：设计的可编程光栅有效反... 基于体硅微加工技术,设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅,对该光栅进行优化设计,并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强分布,采用COMSOL有限元仿真软件模拟不同入射参量下远场相对光强分布.结果表明：设计的可编程光栅有效反射面积占光栅总面积的83.63%,比表面微加工技术设计的光栅提高8%以上,最大工作闪耀角为6.84°;当532nm波长垂直入射时,0-10°闪耀角调制范围内最大衍射效率为96.67%. 展开更多

关键词 微型可编程光栅 闪耀角可调 硅微加工 微机电系统 衍射效率

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微机电系统惯性电学开关的设计与制作 被引量：7

11

作者 杨卓青 丁桂甫 +2 位作者 蔡豪刚 刘瑞 赵小林 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1033-1036,共4页

基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵... 基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵敏度的同时,可有效提高两电极间的接触效果和器件的抗冲击保护。使用成本较低的多次叠层电镀镍的方法制作了设计的微型惯性开关,并对其元器件进行了试验测试,结果表明:开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.40ms和12μs,与有限元动力学仿真结果吻合较好,表现出较高的灵敏度和良好接触效果。 展开更多

关键词 非硅表面微加工 微型惯性开关 设计与制作 微机电系统(MEMS)

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新型复合结构电热微驱动器的研制 被引量：2

12

作者 曾文光 丁桂甫 +2 位作者 王艳 付世 蔡玉丽 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第5期117-120,共4页

在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电... 在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器。 展开更多

关键词 聚合物 复合结构 电热微驱动器 有限元分析 非硅表面微加工

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应用于变压器油实时诊断的氢气微传感器

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作者 张红艳 Kebaili Mo 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期187-188,共2页

针对电力系统中变压器油实时诊断的各种要求,提出一种新型的基于MEMS、微加工硅和纳米技术的氢气微传感器。从分析油的结构出发,说明了在变压器油中检测氢气的重要性。通过对其原理和特点的分析,体现该氢气微传感器的优势。

关键词 变压器油 实时诊断 MEMS 微加工硅 纳米技术 氢气微传感器

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用于自适应光学系统的几种新型可变形反射镜 被引量：2

14

作者 余洪斌 陈海清 +2 位作者 竺子民 李俊 王忠 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期64-67,共4页

将MEMS技术用于自适应光学系统具有重大意义。本文从原理及制作工艺上论述了几种新型的可变形反射镜,为下一步的深入研究打下基础。

关键词 硅微加工 自适应光学 可变形反射镜 MEMS技术 制作工艺 薄膜DMs

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Micro-nano electromechanical system by bulk silicon micromachining 被引量：3

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作者 Masayoshi Esashi Takahito Ono 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第6期608-613,共6页

关键词 微纳电械系统 MEMS 体硅微加工工艺

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