基于MAX1457的加速度硅微传感器的信号处理

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作者 刘丹 刘晓明 《中国测试技术》 2005年第2期115-117,123,共4页

测高g值的加速度硅微传感器[4] 采用单晶硅材料制成,直接输出信号小,存在严重的温度误差。采用MAX14 5 7专用传感器信号处理器,它可以补偿传感器的温度误差和非线性误差。本文分析了MAX14 5 7的工作原理,设计了获得补偿参数的系统。

关键词 测高g值的加速度硅微传感器 温度补偿 MAX1457 或门 信号处理

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基于硅微传感器的混合机桨叶状态无线测试系统

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作者 滕淑芬 钱政 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期162-164,共3页

混合是固体火箭推进剂制造过程中的一个关键工序,需在线测量桨叶上的压力信号。为此,设计并实现了混合机桨叶状态的在线检测系统,对实现过程中的若干关键技术进行深入研究,系统通过了现场联调。最后对测试系统设计过程中存在的不足进行... 混合是固体火箭推进剂制造过程中的一个关键工序,需在线测量桨叶上的压力信号。为此,设计并实现了混合机桨叶状态的在线检测系统,对实现过程中的若干关键技术进行深入研究,系统通过了现场联调。最后对测试系统设计过程中存在的不足进行全面分析,对今后改进的方向,特别是采集速度的提高问题进行了探讨。 展开更多

关键词 混合机 硅微压阻压力传感器 在线检测系统

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硅微矢量水声传感器的封装及测试方法研究 被引量：6

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作者 陈尚 薛晨阳 +3 位作者 张斌珍 张国军 乔慧 张开锐 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期493-498,共6页

针对目前矢量水声传感器存在的高灵敏度、低频检测以及小型化等问题,提出了一种新型的硅微MEMS矢量水声传感器.利用敏感材料的压阻效应?传感器精巧的微结构以及硅微MEMS技术,实现矢量水声传感器的低频特性和小型化的可行性.以声场中的... 针对目前矢量水声传感器存在的高灵敏度、低频检测以及小型化等问题,提出了一种新型的硅微MEMS矢量水声传感器.利用敏感材料的压阻效应?传感器精巧的微结构以及硅微MEMS技术,实现矢量水声传感器的低频特性和小型化的可行性.以声场中的刚硬圆柱在声波作用下的声散射问题作为切入点,对传感器的同振原理进行分析,并基于该机理以及传感器的特殊结构,提出采用注入蓖麻油的方法实现微结构的柱体与所处介质质点同振.分别采用振动台标定和驻波场测量的方法完成了传感器的灵敏度、频响以及指向性的测试,最后对2种测试结果进行了分析和比较.研究结果表明:所研制的水声传感器具有较低的工作频率,其水下自由场声压灵敏度值为-207.6 dB(0 dB=1 V/μPa,测试频率为200 Hz),指向性图的零点深度为50.9 dB. 展开更多

关键词 硅微矢量水声传感器 低频测试 同振型 MEMS

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悬臂梁式硅微加速度传感器的设计仿真 被引量：4

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作者 单光宝 魏海龙 刘佑宝 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2003年第3期69-72,共4页

文章利用ANSYS软件对悬臂梁式硅微加速度传感器敏感芯片进行了设计仿真,给出了一种能满足:量程50g,精度10-3要求的硅微加速度传感器的结构,并对加工时可能引入的工艺误差所带来的影响进行了讨论。

关键词 悬臂梁式硅微加速度传感器 设计 仿真 MEMS器件

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高g_n值悬臂梁式硅微加速度传感器的结构设计 被引量：2

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作者 席占稳 赖百坛 《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 2000年第6期39-43,共5页

针对高冲击加速度测量 ,分别就硅微加速度传感器等截面和变截面悬臂梁在不同结构尺寸下的应力状况及固有频率进行了有限元数值模拟 ;对等截面和变截面悬臂梁结构的灵敏度进行了分析比较和数值计算 ,结果都说明了采用变截面悬臂梁结构 ,... 针对高冲击加速度测量 ,分别就硅微加速度传感器等截面和变截面悬臂梁在不同结构尺寸下的应力状况及固有频率进行了有限元数值模拟 ;对等截面和变截面悬臂梁结构的灵敏度进行了分析比较和数值计算 ,结果都说明了采用变截面悬臂梁结构 ,灵敏度可提高近 30 % ;对选择的变截面悬臂梁结构的加速度传感器其量程为 1 0 0 0 0gn,有足够的抗过载能力 ,且横向灵敏度足够小 . 展开更多

关键词 悬臂梁式 压阻式加速度计 结构设计 硅微边速度传感器

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基于改进遗传神经网络的微硅加速度传感器动态补偿研究 被引量：5

6

作者 俞阿龙 黄惟一 《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期455-458,共4页

比较遗传算法与神经网络的特点 ,并对将遗传算法用于函数连接型神经网络 (FLNN)的优点进行了研究 .对遗传算法的编码方法、交换和变异操作做了改进 ,提出了一种融合改进遗传算法的FLNN用于微硅加速度传感器动态性能补偿的新方法 .该方... 比较遗传算法与神经网络的特点 ,并对将遗传算法用于函数连接型神经网络 (FLNN)的优点进行了研究 .对遗传算法的编码方法、交换和变异操作做了改进 ,提出了一种融合改进遗传算法的FLNN用于微硅加速度传感器动态性能补偿的新方法 .该方法不依赖于传感器的动态模型 ,可根据传感器的动态响应数据 ,建立补偿模型 ,采用改进遗传神经网络搜索和优化补偿模型参数 ,既保留了遗传算法的全局搜索能力 ,又具有神经网络的鲁棒性和自学习能力 .介绍补偿原理及算法 ,给出动态补偿网络的数学模型 .结果表明 ,该补偿方法能克服FLNN收敛速度慢、容易陷入局部极小的缺陷 ,具有网络训练速度快、实时性好、良好的全局搜索能力、精度高。 展开更多

关键词 微硅加速度传感器 函数连接型神经网络 动态补偿 遗传算法

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压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真 被引量：5

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作者 隋丽 石庚辰 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2003年第B03期52-55,共4页

一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用单梁加质量块的形式 ,这种形式的传感器灵敏度比较高 ,但它的横向效应较难克服 ,文中提出一种四梁结构的加速度传感器 ,通过仿真计算 。

关键词 压阻式硅微加速度传感器 结构设计 仿真 工作原理 受力分析 灵敏度 频率分析

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二维电容式硅微加速度传感器的刚度求解 被引量：1

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作者 刘妤 温志渝 +3 位作者 张流强 梁玉前 温中泉 李霞 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期289-291,共3页

硅微电容式加速度传感器具有灵敏度高、噪音低、漂移小、功耗低、结构简单等优点 ,在军民两用市场中有着广泛的应用前景。本文针对自主开发设计的一种带折叠梁的二维叉指电容式硅微加速度传感器 ,采用力法求解了其主轴刚度 。

关键词 电容式硅微加速度传感器 刚度 折叠梁 二维叉指 动态响应特性

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硅微加速度传感器的对称梁岛结构设计

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作者 陈光焱 苏伟 何晓平 《信息与电子工程》 2003年第1期64-68,共5页

采用有限元方法,针对硅微加速度传感器的对称梁岛结构进行了力学特性分析,通过分析得出了该结构的尺寸对其位移量、谐振频率及模态振型的影响规律,为此类加速度传感器的设计提供参考。

关键词 有限元方法 硅微加速度传感器 对称梁岛 结构设计 谐振频率 模态振型

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基于FPGA的硅谐振压力微传感器数字闭环系统设计 被引量：5

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作者 何孟珂 周浩敏 郝欣 《现代电子技术》 2008年第13期150-153,共4页

在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测,电路的小型化和抗干扰等问题十分突出。介绍了硅谐振压力微传感器闭环系统的基本工作原理,在成功研制出模拟闭环系统的基础上,为了克服模拟系统的不足,依据相关检测原理和频率... 在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测,电路的小型化和抗干扰等问题十分突出。介绍了硅谐振压力微传感器闭环系统的基本工作原理,在成功研制出模拟闭环系统的基础上,为了克服模拟系统的不足,依据相关检测原理和频率扫描技术提出了基于FPGA的闭环系统设计框架,详细分析了该系统中的微弱信号检测技术和数字电路部分数字信号处理及接口技术,最后结合实际数据和开环测试曲线,指出可用的扫频方法。 展开更多

关键词 硅谐振微传感器 频率扫描 数字信号处理 FPGA

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误差白化与Kalman滤波的微硅加速度传感器动态补偿 被引量：1

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作者 姜乃松 刘清 《计量学报》 CSCD 北大核心 2012年第3期244-248,共5页

通过模型参考的系统辨识方法建立微硅加速度传感器的动态补偿器。由于测量噪声和补偿器对传感器的频带扩展，使得补偿器的输入／输出信号存在严重的噪声干扰。在噪声干扰下，采用均方误差为代价函数的系统辨识方法，无法得到补偿器参数... 通过模型参考的系统辨识方法建立微硅加速度传感器的动态补偿器。由于测量噪声和补偿器对传感器的频带扩展，使得补偿器的输入／输出信号存在严重的噪声干扰。在噪声干扰下，采用均方误差为代价函数的系统辨识方法，无法得到补偿器参数的无偏估计。补偿器参数的偏差和传感器频带的扩展将会使补偿器的输出信号出现严重失真和高频噪声干扰。为解决噪声对硅加速度传感器的动态补偿的影响，研究了一种新的动态补偿方法，该方法采用误差白化为代价函数的系统辨识方法得到补偿器的参数，可消除补偿器的参数在估计中的测量噪声影响，并通过卡尔曼实时滤波减小因传感器频带扩展所产生的高频噪声干扰。 展开更多

关键词 计量学 微硅加速度传感器 动态误差 误差白化 实时滤波

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硅微压传感器设计方法的研究

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作者 朱秀文 《电子与自动化仪表信息》 1989年第6期1-5,45,共6页

关键词 硅微压传感器 设计 传感器

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模糊LS-SVM在加速度传感器动态补偿中的应用 被引量：2

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作者 张铁头 李杰 《中国测试》 CAS 北大核心 2012年第5期66-69,共4页

提出一种基于模糊LS-SVM传感器的非线性动态误差补偿器设计措施,在传感器与参考模型对输入激励响应的实测数据基础上,运用模糊LS-SVM回归算法构造补偿器,减小微硅加速度传感器因带宽有限引起的动态测量误差。既克服人工神经网络非线性... 提出一种基于模糊LS-SVM传感器的非线性动态误差补偿器设计措施,在传感器与参考模型对输入激励响应的实测数据基础上,运用模糊LS-SVM回归算法构造补偿器,减小微硅加速度传感器因带宽有限引起的动态测量误差。既克服人工神经网络非线性动态补偿过程中易出现的局部极小问题,又减小在标准LS-SVM中一些非主要数据对模型精度的影响,在测试领域中有较好的应用前景。 展开更多

关键词 模糊LS-SVM 微硅加速度传感器 动态补偿 仿真

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CGW—1单晶硅微压传感器简介

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《航空制造技术》 1979年第11期47-48,共2页

一、结构与工作原理 CGW-1单晶硅微压传感器是利用硅的压阻效应,以硅平面工艺为基础制成的一种新型压力传感器,也称压阻传感器。其结构如图。硅膜片组件是传感器的核心,在N型(111)硅膜片(图右部)的<110>晶向上,在等效应区扩散12个... 一、结构与工作原理 CGW-1单晶硅微压传感器是利用硅的压阻效应,以硅平面工艺为基础制成的一种新型压力传感器,也称压阻传感器。其结构如图。硅膜片组件是传感器的核心,在N型(111)硅膜片(图右部)的<110>晶向上,在等效应区扩散12个P型电阻,选择一组最佳电阻组成电桥,以直径为50微米的金丝热压焊在扩散电阻的铝电极上,并将另一端以锡焊联到绝缘子的柯伐丝上,组成四臂全差动惠斯登电桥。膜片与硅环用金硅共熔法形成刚性连接。硅膜片组件装于壳体与隔环中间,用螺纹压盖通过O型密封圈将其轴向压紧,构成密封压力腔。 展开更多

关键词 硅微压传感器 CGW 硅膜片 惠斯登电桥 压阻效应 压阻传感器 膜片组件 单晶 晶形

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气象检测微系统软件开发

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作者 胡德胜 张中平 黄庆安 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期71-73,共3页

介绍了由硅微传感器组成的自动气象站网络 ,并对整个网络的数据采集和数据处理的系统软件的实现做了详细的说明 ,而且从系统的硬件组成到系统软件的模块设计都作了介绍。本软件完成了从远程控制系统采集现场的气象数据 ,实现了一机对多... 介绍了由硅微传感器组成的自动气象站网络 ,并对整个网络的数据采集和数据处理的系统软件的实现做了详细的说明 ,而且从系统的硬件组成到系统软件的模块设计都作了介绍。本软件完成了从远程控制系统采集现场的气象数据 ,实现了一机对多机的数据采集功能 。 展开更多

关键词 气象检测 软件开发 硅微传感器 微电子机械系统 自动气象站 数据采集 串行通信

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