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一种硅基雪崩光电探测器的研究
被引量：
2
1
作者
徐佳
杨虹
《数字技术与应用》
2014年第1期60-60,65,共2页
硅基雪崩光电探测器(Si-APD)性能参数的研究可以优化改进器件结构的设计,而结构设计直接影响雪崩光电探测器的光电特性。本文针对Si基雪崩光电探测器的性能参数和器件结构进行研究,提出了改善器件性能参数的工艺方法,最终设计了一种硅...
硅基雪崩光电探测器(Si-APD)性能参数的研究可以优化改进器件结构的设计,而结构设计直接影响雪崩光电探测器的光电特性。本文针对Si基雪崩光电探测器的性能参数和器件结构进行研究,提出了改善器件性能参数的工艺方法,最终设计了一种硅基雪崩光电探测器结构。
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关键词
硅基雪崩光电二极管
性能参数
结构设计
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职称材料
题名
一种硅基雪崩光电探测器的研究
被引量：
2
1
作者
徐佳
杨虹
机构
重庆邮电大学光电工程学院
出处
《数字技术与应用》
2014年第1期60-60,65,共2页
文摘
硅基雪崩光电探测器(Si-APD)性能参数的研究可以优化改进器件结构的设计,而结构设计直接影响雪崩光电探测器的光电特性。本文针对Si基雪崩光电探测器的性能参数和器件结构进行研究,提出了改善器件性能参数的工艺方法,最终设计了一种硅基雪崩光电探测器结构。
关键词
硅基雪崩光电二极管
性能参数
结构设计
Keywords
Silicon avalanche photodiode
Performance parameters
Structure design
分类号
TN219 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
一种硅基雪崩光电探测器的研究
徐佳
杨虹
《数字技术与应用》
2014
2
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