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基于波导倏逝耦合的硅基片上量子点激光器的仿真设计
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作者 肖茗月 何希文 +3 位作者 周琛 马德岳 李儒新 周治平 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第11期102-111,共10页
针对目前硅基光电子芯片缺失片上光源这一问题,设计了一种基于波导倏逝耦合的硅基片上量子点激光器。整体结构基于绝缘体上硅(Silicon on Insulator,SOI)平台引入倏逝波耦合结构来完成量子点增益芯片和波导间的耦合,利用布拉格光栅形成... 针对目前硅基光电子芯片缺失片上光源这一问题,设计了一种基于波导倏逝耦合的硅基片上量子点激光器。整体结构基于绝缘体上硅(Silicon on Insulator,SOI)平台引入倏逝波耦合结构来完成量子点增益芯片和波导间的耦合,利用布拉格光栅形成激光腔体来完成光放大和波长选择功能。通过Lumerical仿真软件对O波段硅基片上光源的锥形(taper)耦合器结构和布拉格光栅结构进行了优化。结果表明,长142μm的锥形耦合器具有最高的耦合效率;长于30μm的锥形光斑塑形波导可以使光束以更低损耗在片上传输;优化后的布拉格光栅在波导两端的长度为110μm和240μm,分别实现了40%和90%的反射率。两段布拉格光栅形成谐振腔,放大并选择出1.31μm波长。文中设计显著提高了硅基片上光源整体的发光效率并降低了成本,实现了超过98%的耦合效率,且与CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)工艺兼容。相关研究结果可为后续工艺设计和实验验证提供数据支持。 展开更多
关键词 基光电子学 硅基片上光源 倏逝波耦合 布拉格光栅
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硅基片上变压器层间串扰与屏蔽优化
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作者 张峰 屈操 赵婷 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2016年第6期1-5,共5页
提出了一种基于共面波导传输线栅格屏蔽原理的片上变压器层间串扰屏蔽结构.通过场路结合、协同仿真的方法比较分析了该结构对片上变压器层间串扰的影响.结果表明:该屏蔽结构能有效屏蔽硅基片上变压器层间电磁场的渗透,对改善片上变压器... 提出了一种基于共面波导传输线栅格屏蔽原理的片上变压器层间串扰屏蔽结构.通过场路结合、协同仿真的方法比较分析了该结构对片上变压器层间串扰的影响.结果表明:该屏蔽结构能有效屏蔽硅基片上变压器层间电磁场的渗透,对改善片上变压器的高频性能、屏蔽片上变压器的层间串扰效应有较好的效果. 展开更多
关键词 硅基片上变压器 互连线 串扰效应 栅格屏蔽
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逆向设计的硅基片上功率分束器
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作者 马汉斯 杜特 +1 位作者 姜鑫鹏 杨俊波 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2023年第7期1-18,共18页
硅基片上功率分束器是光子集成电路的重要组成,具有广泛的应用,比如反馈电路、抽头功率监测和光学量化等。纳米光子器件的设计方法大致可以分为正向设计方法和逆向设计方法。本文概述了正向设计方法和逆向设计方法的区别与联系,并且对... 硅基片上功率分束器是光子集成电路的重要组成,具有广泛的应用,比如反馈电路、抽头功率监测和光学量化等。纳米光子器件的设计方法大致可以分为正向设计方法和逆向设计方法。本文概述了正向设计方法和逆向设计方法的区别与联系,并且对逆向设计算法进行了归纳分类,此外,总结了近年来具有代表性的逆向设计的硅基片上功率分束器,包括多通道功率分束器、任意分束比功率分束器、多模式功率分束器、宽带功率分束器和多功能功率分束器,最后对逆向设计算法以及逆向设计的功率分束器的发展趋势进行了总结与展望。 展开更多
关键词 硅基片上功率分束器 逆向设计方法 多通道功率分束器 任意分束比功率分束器 多模式功率分束器 宽带功率分束器 多功能功率分束器
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硅基片上的中波红外铝线栅偏振器设计 被引量:1
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作者 孔园园 罗海瀚 刘定权 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第7期461-467,共7页
设计了一种Si基片上的Al线栅偏振器,在Al线栅和Si基片间引入一层低折射率SiO介质层,适用于3.0-5.0μm的中波红外波段。采用有限时域差分(FDTD)方法,对SiO介质层和金属线栅材料(Al,Au,Ag,Cu和Rh)分别进行了优化。SiO介质层的引入削弱... 设计了一种Si基片上的Al线栅偏振器,在Al线栅和Si基片间引入一层低折射率SiO介质层,适用于3.0-5.0μm的中波红外波段。采用有限时域差分(FDTD)方法,对SiO介质层和金属线栅材料(Al,Au,Ag,Cu和Rh)分别进行了优化。SiO介质层的引入削弱了Al线栅和Si基片之间界面上激发的表面等离子体激元,横磁(TM)偏振光的透过率提高,横电(TE)偏振光的反射增强,消光比上升。对Al,Au,Ag,Cu和Rh五种金属线栅材料分析表明,Al是最合适的材料。当SiO介质层厚度为300 nm、线栅周期为400 nm和占空比为0.5时,Al线栅偏振器在4.0μm波长处的TM偏振光的透过率达到94.8%,消光比为28.3 dB,在3.0-5.0μm波段具有良好的偏振性能。 展开更多
关键词 线栅偏振器 (Si)基片 介质层 铝(Al)线栅 消光比
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玻璃基片硅薄膜太阳电池的制备与研究现状 被引量:1
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作者 孙洪福 汤华娟 +1 位作者 王承遇 柳鸣 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第F09期184-186,179,共4页
硅薄膜太阳电池已成为太阳电池研究的一个热点。主要阐述了玻璃基片硅薄膜太阳电池的制备方法以及研究进展,提出了影响发展的几种因素以及在以后的研究中需重点解决的问题。
关键词 玻璃基片薄膜太阳电池 制备方法 光伏效应 PV 电动势
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硅基微加工工艺滤波器的研究进展 被引量:2
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作者 万晶 汪峰 +4 位作者 李琛 王霄 王嘉毅 阎跃鹏 梁晓新 《空间电子技术》 2019年第5期7-14,共8页
硅基滤波器在毫米波频段具有高Q值、低损耗、小体积、低成本的明显优势,并且易于与集成电路集成,是解决毫米波滤波器芯片化的绝佳手段。文章首先给出了硅基微加工工艺滤波器的设计方法分类,然后着重介绍近年来国内外硅基微加工工艺滤波... 硅基滤波器在毫米波频段具有高Q值、低损耗、小体积、低成本的明显优势,并且易于与集成电路集成,是解决毫米波滤波器芯片化的绝佳手段。文章首先给出了硅基微加工工艺滤波器的设计方法分类,然后着重介绍近年来国内外硅基微加工工艺滤波器的五种不同设计方法:集总式、薄膜腔体型、带线型、自屏蔽型以及基片集成波导型。通过介绍各方法的工作原理,重点分析了各方法的研究现状及优缺点,并进行了综合对比分析,从加工工艺难度和性能上来看,自屏蔽型以及基片集成波导型硅基微加工工艺滤波器具有更大的发展空间和应用前景。 展开更多
关键词 基片 微加工工艺 滤波器 毫米波
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等离子体浸没注入超低能注入掺杂研究
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作者 汪明刚 刘杰 +2 位作者 杨威风 李超波 夏洋 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期370-373,共4页
基于感应耦合等离子体(ICP)技术设计了一套用于在硅基片上制作形成超浅结的等离子体浸没注入(PIII)系统。该ICP PIII系统工作腔室为圆柱形,采用射频功率源,注入偏压源为一脉冲直流电压源,系统与Langmiur探针相连。探针诊断结果表明,该... 基于感应耦合等离子体(ICP)技术设计了一套用于在硅基片上制作形成超浅结的等离子体浸没注入(PIII)系统。该ICP PIII系统工作腔室为圆柱形,采用射频功率源,注入偏压源为一脉冲直流电压源,系统与Langmiur探针相连。探针诊断结果表明,该系统的等离子体离子密度达到1017m-3,离子密度径向均匀性达到3.53%。硼和磷的超低能注入试验的二次离子质谱测试结果表明:掺杂离子注入深度在10nm左右,最浅的注入深度为8.6nm(在注入离子密度为1018cm-3时);注入离子剂量达到了1015cm-2以上;掺杂离子浓度峰值在表面以下;注入陡峭度达到了2.5nm/decade。 展开更多
关键词 感应耦合等离子体 浸没注入 低能注入 注入掺杂 ENERGY 离子密度 注入深度 系统工作 掺杂离子浓度 二次离子质谱 直流电压源 射频功率源 径向均匀性 诊断结果 探针 离子剂量 技术设计 硅基片上 测试结果 圆柱形
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基于CMOS工艺毫米波宽带片上天线 被引量:2
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作者 张豪 王磊 刘涓 《雷达科学与技术》 北大核心 2018年第4期451-456,共6页
设计了一种基于0.18μm互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor,CMOS)工艺的94GHz频段宽带片上天线。该天线采用改进的单极子天线形式,以实现较宽的阻抗带宽。天线馈电形式采用共面集成波导(CPW)馈电结构,该结... 设计了一种基于0.18μm互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor,CMOS)工艺的94GHz频段宽带片上天线。该天线采用改进的单极子天线形式,以实现较宽的阻抗带宽。天线馈电形式采用共面集成波导(CPW)馈电结构,该结构便于毫米波天线探针台测试系统测试。此外,通过采用全波仿真软件HFSS,对天线衬底尺寸对天线阻抗和辐射性能的影响进行对比分析。所设计的天线工作频带(|S11|≤-10dB)为74~117.6GHz,94GHz频点处的增益为1.35dBi。该天线具有工作频带宽、辐射性能好等特性,可实现天线与IC芯片的一体化片上集成,满足宽带无线通信系统或毫米波雷达系统高集成度、小型化的应用需要。 展开更多
关键词 毫米波 硅基片上天线 0.18μm互补金属氧化物半导体 宽带天线
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我国科学家攻克激光雷达抗干扰和高精度并行探测世界性难题
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《电子质量》 2023年第3期113-113,共1页
据报道,北京大学电子学院王兴军教授课题组——常林研究员课题组在两年攻关的基础上,研制出一种全新的硅基片上多通道混沌光源,提出了一种基于混沌光梳的并行激光雷达架构,攻克了激光雷达抗干扰和高精度并行探测这两个世界性难题,保证... 据报道,北京大学电子学院王兴军教授课题组——常林研究员课题组在两年攻关的基础上,研制出一种全新的硅基片上多通道混沌光源,提出了一种基于混沌光梳的并行激光雷达架构,攻克了激光雷达抗干扰和高精度并行探测这两个世界性难题,保证高性能高安全的同时,极大地降低了未来激光雷达系统的体积、复杂度、功耗和成本。团队的研究成果《突破时间-频率拥塞的并行混沌激光雷达》于日前发表在《自然-光子学》杂志上。 展开更多
关键词 雷达抗干扰 激光雷达系统 混沌激光 光子学 基片 混沌光 多通道 并行探测
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