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题名硅基异质结中波红外光电探测器的研究进展
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作者
曾雨玲
冯松
马保科
何心怡
吴鉴洋
李浩杰
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机构
西安工程大学理学院
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出处
《航空兵器》
CSCD
北大核心
2024年第6期36-43,共8页
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基金
国家重点研发计划项目(2018YFB2200500)
国家自然科学基金项目(61204080)
+1 种基金
国家重点实验室基金项目(SKL201804)
陕西省重点研发计划项目(2022GY-012)。
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文摘
中波红外光电探测器是一种重要的光电探测设备,利用光电效应将红外辐射转化为电信号,广泛应用于制导、无人机、战斗机等平台,在目标探测、跟踪和识别方面有着重要作用。而硅基异质结中波红外光电探测器以硅材料为基础,结合了成熟的硅器件工艺和红外探测性能,具有低成本、易制备、高集成等优势,成为突破传统硅基光电子器件瓶颈的契机。随着研究的不断进步,硅基异质结中波红外光电探测器在各个方面都取得了很大的进展,为红外光电探测技术带来了新的机遇和挑战。本文从不同材料的硅基异质结进行了讨论,具体阐述了新型锗/硅,石墨烯/硅和化合物半导体/硅中波红外光电探测器的研究发展,分析对比了不同材料的探测器的优点。
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关键词
半导体器件
光电器件
探测器
中波红外
硅基异质结
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Keywords
semiconductor devices
optoelectronic devices
detector
mid-wave infrared
silicon-based heterojunction
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分类号
TJ760
[兵器科学与技术—武器系统与运用工程]
TN215
[电子电信—物理电子学]
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