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200单元硅基单压电变形镜的设计与测试
被引量:
12
1
作者
马剑强
刘莹
+2 位作者
陈俊杰
李保庆
褚家如
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期2047-2053,共7页
针对天文望远镜对变形镜的需求,设计了200单元级硅基单压电变形镜并对其进行了性能测试。首先,通过有限元方法对单压电变形镜进行结构建模,分析比较了电极排列形式和边界支撑方式对变形镜性能的影响。然后,制备了3款200单元变形镜样机(...
针对天文望远镜对变形镜的需求,设计了200单元级硅基单压电变形镜并对其进行了性能测试。首先,通过有限元方法对单压电变形镜进行结构建模,分析比较了电极排列形式和边界支撑方式对变形镜性能的影响。然后,制备了3款200单元变形镜样机(环形简支,环形固支,六边形简支)。最后,利用干涉仪测量了变形镜的影响函数,并通过激光多普勒测振仪测量其频响特性。仿真与实验结果表明:致动器在50V电压下变形量可达1μm,固支条件下谐振频率在1kHz左右,对前100项Zernike像差具有良好的校正能力。该变形镜在低成本天文自适应光学系统中具有应用潜力。
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关键词
压电
变形
镜
硅基变形镜
自适应光学
天文望远
镜
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职称材料
题名
200单元硅基单压电变形镜的设计与测试
被引量:
12
1
作者
马剑强
刘莹
陈俊杰
李保庆
褚家如
机构
宁波大学机械工程与力学学院
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期2047-2053,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.11303019)
中国博士后科学基金资助项目(No.2013M531521)
浙江省自然科学基金资助项目(No.LQ13E050016)
文摘
针对天文望远镜对变形镜的需求,设计了200单元级硅基单压电变形镜并对其进行了性能测试。首先,通过有限元方法对单压电变形镜进行结构建模,分析比较了电极排列形式和边界支撑方式对变形镜性能的影响。然后,制备了3款200单元变形镜样机(环形简支,环形固支,六边形简支)。最后,利用干涉仪测量了变形镜的影响函数,并通过激光多普勒测振仪测量其频响特性。仿真与实验结果表明:致动器在50V电压下变形量可达1μm,固支条件下谐振频率在1kHz左右,对前100项Zernike像差具有良好的校正能力。该变形镜在低成本天文自适应光学系统中具有应用潜力。
关键词
压电
变形
镜
硅基变形镜
自适应光学
天文望远
镜
Keywords
piezoelectric deformable mirror
Si-based deformable mirror
adaptive optics
telescope
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
P111 [天文地球—天文学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
200单元硅基单压电变形镜的设计与测试
马剑强
刘莹
陈俊杰
李保庆
褚家如
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
12
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