硅化铂肖特基势垒红外焦平面列阵及其发展

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作者 杨亚生 《应用光学》 CAS CSCD 1993年第2期39-43,共5页

介绍PtSi肖特基势垒红外焦平面列阵的工作原理,分析探测器的最佳化结构,评述国内外肖特基势垒红外焦平面列阵的发展。

关键词 肖特基势垒 焦平面列阵 红外探测器

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32×64元硅化铂肖特基势垒红外焦平面列阵的物理设计

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作者 凌裕农 《高速摄影与光子学》 CSCD 1990年第4期337-342,共6页

本文介绍了国内首见报导的32×64元硅化铂肖特基势垒红外焦平面的物理设计方法。作者从计算探测目标的辐射能量出发,综合考虑了器件的结构、材料和工艺参数,电参数,光学系统参数和响应率的非均匀性,以信嗓比作为焦平面的品质因数进... 本文介绍了国内首见报导的32×64元硅化铂肖特基势垒红外焦平面的物理设计方法。作者从计算探测目标的辐射能量出发,综合考虑了器件的结构、材料和工艺参数,电参数,光学系统参数和响应率的非均匀性,以信嗓比作为焦平面的品质因数进行了性能优化计算。根据系统参数和现有工艺条件,预计焦平面对室温景物成象的温度分辨率优于1°K,这同器件的热象测试结果符合得相当好。 展开更多

关键词 硅化铂 肖特基势垒 红外焦平面

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硅化铂红外焦平面探测器性能改进技术分析 被引量：1

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作者 康冰心 蔡毅 +2 位作者 王岭雪 薛唯 高岳 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第3期742-748,共7页

硅化铂红外焦平面探测器具有响应光谱宽、规模大、均匀性好、时间稳定性高、制造成本低等优点,在多/宽光谱成像、激光探测、天文观测、医疗检测等领域具有应用潜力,但NETD 100 mK的灵敏度对其广泛应用有一定的限制。文中从该探测器的量... 硅化铂红外焦平面探测器具有响应光谱宽、规模大、均匀性好、时间稳定性高、制造成本低等优点,在多/宽光谱成像、激光探测、天文观测、医疗检测等领域具有应用潜力,但NETD 100 mK的灵敏度对其广泛应用有一定的限制。文中从该探测器的量子效率和填充因子两方面总结和分析了国内外的改进技术,重点分析了光腔结构、多孔硅结构、重掺杂P+和合适硅化铂膜厚提高量子效率的机理,并定量比较了提升幅度:多孔硅结构提升幅度最大,在波长4μm处的量子效率可达27%;相比内线转移CCD,电荷扫描器件、曲流沟道CCD和混合读出结构均能改善填充因子,其中混合读出结构的填充因子可提高为80%。微透镜列阵能将填充因子提高到85%以上。 展开更多

关键词 硅化铂红外焦平面列阵 量子效率 填充因子 读出电路 微透镜列阵

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室温型热释电红外探测器焦平面列阵新进展 被引量：9

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作者 邵式平 《红外与激光工程》 EI CSCD 1998年第2期33-36,共4页

文中介绍了目前室温工作的热释电红外探测器焦平面列阵的国外进展，混合型铁电陶瓷焦平面列阵已进入批量生产阶段，这类焦平面列阵制作的热像仪已于１９９５年进入商品市场，而单片式铁电薄膜红外探测器焦平面列阵还处在实验室研究阶段。

关键词 室温 红外探测器 焦平面列阵 热释电 铁电薄膜

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非制冷长波红外焦平面列阵现状 被引量：10

5

作者 邵式平 《红外与激光工程》 EI CSCD 1997年第4期6-11,共6页

文章介绍了非制冷测辐射热计和铁电陶瓷焦平面列阵的现状，包含8万个非制冷氧化钒红外探测器的焦平面列阵已制成热像仪，系统的噪声等效温差（NETD）为0．04℃，不需要制冷和机械调制入射辐射。多晶硅热敏电阻和硅p－n结温差电堆焦平面... 文章介绍了非制冷测辐射热计和铁电陶瓷焦平面列阵的现状，包含8万个非制冷氧化钒红外探测器的焦平面列阵已制成热像仪，系统的噪声等效温差（NETD）为0．04℃，不需要制冷和机械调制入射辐射。多晶硅热敏电阻和硅p－n结温差电堆焦平面列阵的研究工作取得了进展，用溅射和化学汽相淀积技术已制成128×128元硅薄膜测辐射热计焦平面列阵，单元探测器的探测率为1×109cmHzW－1；128×128元温差电堆焦平面列阵的NETD为0．5℃。利用热释电效应和介电常数温度变化的铁电陶瓷焦平面列阵制成的热像仪，NETD已达到0．047℃。 展开更多

关键词 测辐射热计 热释电 红外探测器 焦平面列阵

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测辐射热计红外焦平面列阵 被引量：3

6

作者 杨亚生 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期5-8,共4页

非制冷测辐射热计红外焦平面列阵设计为桥式结构，器件制作采用微机械加工技术。工作波段为８～１２μｍ，热阻达１０７Ｋ／Ｗ量级，噪声等效温差为０．１Ｋ。

关键词 测辐射热计 桥式结构 热阻 红外焦平面列阵

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PtSi红外焦平面列阵研究的新进展 被引量：1

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作者 杨亚生 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1996年第4期264-267,共4页

评述了ＰｔＳｉ消特基势垒红外焦平面列阵的研究进展。近年来，国外采用一些新的器件结构，制成了高性能的大型凝视ＰｔＳｉ红外焦平面列阵。

关键词 焦平面列阵 硅化铂 红外光学器件

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高T_c超导红外探测器与焦平面列阵(Ⅰ)

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作者 刘心田 石保安 +1 位作者 吴增烈 汤定元 《传感技术学报》 CAS CSCD 1995年第3期76-78,共3页

自1986年底高Tc(】77K)超导材料问世以后,国内外竞相开展高Tc超导技术的研究.几年来,在“超导热”中红外探测器与微波器件显示出良好的应用前景,这是因为现有的高Tc材料,不仅有良好的性能,且其制膜技术也日臻成熟。

关键词 超导 红外探测器 焦平面列阵

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高Tc超导红外探测器与焦平面列阵(Ⅲ)

9

作者 刘心田 石保安 +1 位作者 吴增烈 汤定元 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第1期60-62,共3页

由于实际应用,多元列阵和焦平面列阵的研制更吸引入,可以说,应用微结构工艺是很容易制成高Tc超导多元探测器的,如Honeywell公司的1×12元线阵已进行了空间环境试验.它们用掩膜方法制备了1

关键词 红外探测器 焦平面列阵 高TC超导

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低维结构铁电材料光电性能和铁电薄膜红外焦平面列阵器件物理研究(英文)

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作者 于剑 褚君浩 汤定元 《中国科学院研究生院学报》 CAS CSCD 2003年第2期254-259,共6页

系统研究了晶粒尺寸对铁电性、相结构、晶格动力学和光致发光等性质的影响。研究了择优取向钛锆酸铅铁电薄膜异质结构的取向机理、光学常数以及电学性质。

关键词 BaTiO3纳米晶 尺寸效应 相变 择优取向铁电薄膜异质结构 铁电薄膜红外焦平面列阵分布参数模型

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凝视PtSi红外焦平面列阵的结构和性能

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作者 杨亚生 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第2期47-52,共6页

ＰｔＳｉ红外焦平面列阵（ＦＰＡ）的结构设计，必须有利于提高器件的性能参数。ＩＴＣＣＤ（内线转移电荷耦合器件）是迄今ＰｔＳｉＦＰＡ用得最多的读出结构，采用隔行扫描ＩＴＣＣＤ和逐行扫描ＩＴＣＣＤ结构，均做出了高性能的Ｐｔ... ＰｔＳｉ红外焦平面列阵（ＦＰＡ）的结构设计，必须有利于提高器件的性能参数。ＩＴＣＣＤ（内线转移电荷耦合器件）是迄今ＰｔＳｉＦＰＡ用得最多的读出结构，采用隔行扫描ＩＴＣＣＤ和逐行扫描ＩＴＣＣＤ结构，均做出了高性能的ＰｔＳｉＦＰＡ。但因ＩＴＣＣＤ结构的固有特点，对小象元尺寸，填充系数很难提高。而缩小象元尺寸、增大填充系数是大型凝视ＰｔＳｉＦＰＡ的发展方向和必由之路。为此，近年来国外采用了一些新的器件结构，如ＣＳＰ、ＬＡＣＡ、ＭＯＳ、ＤＳＩ、硅圆柱透镜列阵、混合式结构等。 展开更多

关键词 凝视 红外焦平面列阵 探测器 硅化铂

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超导红外焦平面列阵研制进展

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作者 王泽和 《红外技术》 CSCD 1992年第1期1-4,共4页

大面积凝视红外焦平面列阵(ICPA)代表了红外前视探测器件的发展方向。但在半导体红外FPA研究中却面临许多棘手的重大技术问题,而理论和研究都证明,采用全新的超导FPA却可能有效地解决这些问题。本文从一个侧面概述了超导红外FPA的特性... 大面积凝视红外焦平面列阵(ICPA)代表了红外前视探测器件的发展方向。但在半导体红外FPA研究中却面临许多棘手的重大技术问题,而理论和研究都证明,采用全新的超导FPA却可能有效地解决这些问题。本文从一个侧面概述了超导红外FPA的特性及有关研究进展。 展开更多

关键词 焦平面列阵 超导技术 红外探测器

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高性能PtSi凝视红外焦平面列阵的研究与进展 被引量：5

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作者 刘俊刚 《红外与激光技术》 CSCD 1994年第5期1-8,共8页

本文叙述了国内外ＰｔＳｉ凝视红外焦平面列阵（ＦＰＡ）的研究发展状况。详细介绍了提高ＰｔＳｉ肖特基势垒探测器（ＳＢＤ）灵敏度的研究工作。这些ＳＢＤ工作温度约为８０Ｋ，应用于中红外波段（３～５μｍ）。象素数达５１２×... 本文叙述了国内外ＰｔＳｉ凝视红外焦平面列阵（ＦＰＡ）的研究发展状况。详细介绍了提高ＰｔＳｉ肖特基势垒探测器（ＳＢＤ）灵敏度的研究工作。这些ＳＢＤ工作温度约为８０Ｋ，应用于中红外波段（３～５μｍ）。象素数达５１２×５１２，１０２４×１０２４的凝视列阵已见报道。ＰｔＳｉＳＢＤＦＰＡ能在３００Ｋ实现热成象，其噪声等效温差（ＮＥａｒ）达到０．０３Ｋ。文中还介绍了我国研制的１２８×１２８元，２５６×２５６元ＰｔＳｉ凝视红外焦平面，并讨论了凝视ＦＰＡ的设计选择，最后对其特性进行了简要总结。 展开更多

关键词 凝视红外 焦平面阵列 硅化铂 探测器

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InSb红外焦平面列阵探测器局部分层失效机理研究

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作者 张江风 田笑含 +1 位作者 张晓玲 孟庆端 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第3期191-197,共7页

批量生产中,锑化铟红外焦平面列阵探测器(InSb IRFPAs)局部分层失效现象已成为制约其成品率提升的瓶颈。为探究InSb IRFPAs局部分层诱因,借助内聚力模型,在InSb芯片与底充胶的界面处铺满内聚力单元,优选内聚力模型参数,建立InSb IRFPAs... 批量生产中,锑化铟红外焦平面列阵探测器(InSb IRFPAs)局部分层失效现象已成为制约其成品率提升的瓶颈。为探究InSb IRFPAs局部分层诱因,借助内聚力模型,在InSb芯片与底充胶的界面处铺满内聚力单元,优选内聚力模型参数,建立InSb IRFPAs局部失效分析二维模型。模拟结果得到了实测局部分层分布特征的证实,即:(1)局部分层大多出现在芯片周边区域,涵盖一定宽度;(2)InSb芯片与底充胶之间的界面局部脱开后,逐渐向两侧扩展。为剖析局部分层诱因,系统分析了张开型与滑开型裂纹扩展共同作用下混合模态比取不同值时局部分层分布特征的演化规律,认为当张开型和滑开型裂纹扩展的混合比取4:6时,模拟结果与实测结果高度吻合。至此笔者认为InSb IRFPAs局部分层源于界面法向应力与面内剪切应力的共同作用,属于典型的混合型局部分层模式,其中滑开型局部分层模式占主导。 展开更多

关键词 锑化铟红外焦平面列阵探测器 内聚力模型 局部分层 混合模态比

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InSb红外焦平面列阵器件减反射膜淀积方法

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《表面技术》 EI CAS CSCD 2006年第5期36-36,共1页

本发明公开了一种InSp红外焦平面器件减反射膜低温淀积方法及其专用金属掩模架。其方法为淀积温度1000C～105℃，Sill。流量5．8～6．2sccm，N2O流量88～95sccm，腔体压强600～610mτ，淀积时间80min。其效果使得InSb芯片的反射率在3．7... 本发明公开了一种InSp红外焦平面器件减反射膜低温淀积方法及其专用金属掩模架。其方法为淀积温度1000C～105℃，Sill。流量5．8～6．2sccm，N2O流量88～95sccm，腔体压强600～610mτ，淀积时间80min。其效果使得InSb芯片的反射率在3．7～4．8μm工作波段降至8％～19％，从而使得InSb红外焦平面器件的响应率提高30％。沉积减反射膜采用专用金属掩模架，保护了硅CMOS读出电路，使其引线脚部位免于氧化硅膜的淀积。该方法满足了空空导弹制导用InSb红外焦平面器件减反射膜制备的要求． 展开更多

关键词 红外焦平面器件 低温淀积 减反射膜 INSB 列阵器件 CMOS读出电路 氧化硅膜 工作波段

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64×64焦平面器件读出电路铟柱列阵工艺设计及实践 被引量：5

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作者 雷胜琼 姜军 +1 位作者 周芳 杨彬 《红外技术》 CSCD 北大核心 2002年第2期41-45,共5页

用铟柱进行探测器芯片与读出电路 (ROIC)之间的电气和机械连接是混合红外焦平面列阵(FPA)最常用的互连方式之一。根据现有的工艺设备和实验条件对在 6 4× 6 4ROIC上生长铟柱进行了优化工艺设计 ,并分析讨论了工艺过程及参数对生长... 用铟柱进行探测器芯片与读出电路 (ROIC)之间的电气和机械连接是混合红外焦平面列阵(FPA)最常用的互连方式之一。根据现有的工艺设备和实验条件对在 6 4× 6 4ROIC上生长铟柱进行了优化工艺设计 ,并分析讨论了工艺过程及参数对生长铟柱质量的影响。通过工艺实践验证 ,在 6 4×6 展开更多

关键词 铟柱列阵 焦平面器件 铟柱互连 工艺设计 红外探测器

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InSb凝视红外焦平面组件研制和应用 被引量：19

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作者 陈伯良 孙维国 +7 位作者 梁平治 郑志伟 王正官 朱晓池 江美玲 龚启兵 丁瑞军 黄水安 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2002年第5期419-423,共5页

研制成功了采用光伏InSb二极管列阵工艺、直接注入Si CMOS读出电路、微型玻璃杜瓦和微型节流制冷机的 6 4× 6 4元InSb红外焦平面组件。焦平面组件平均探测率约 1× 10 11cmHz1 2 W-1,平均量子效率约 72 %,响应率非均匀性约 18%... 研制成功了采用光伏InSb二极管列阵工艺、直接注入Si CMOS读出电路、微型玻璃杜瓦和微型节流制冷机的 6 4× 6 4元InSb红外焦平面组件。焦平面组件平均探测率约 1× 10 11cmHz1 2 W-1,平均量子效率约 72 %,响应率非均匀性约 18%,无效像元率约 0 .5 %。其性能参数满足红外成像制导的技术要求 ,已成功进行了凝视红外成像探测系统外场试验。 展开更多

关键词 INSB 焦平面列阵 铟锑合金 红外探测 信号读出

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64×64元InSb光伏红外探测器列阵性能表征 被引量：4

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作者 陈伯良 陆蔚 +2 位作者 王正官 杨华 汪辉 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期89-92,共4页

用改进的恒压微探针方法 ,对 6 4× 6 4元 In Sb凝视红外焦平面器件光伏探测器列阵芯片的性能进行了抽样检测和均匀性评价 .测得典型 6 4× 6 4元 In Sb芯片的探测器平均零偏阻抗为 42 MΩ (90 K) ,非均匀性为 2 0 % ;平均 10 0... 用改进的恒压微探针方法 ,对 6 4× 6 4元 In Sb凝视红外焦平面器件光伏探测器列阵芯片的性能进行了抽样检测和均匀性评价 .测得典型 6 4× 6 4元 In Sb芯片的探测器平均零偏阻抗为 42 MΩ (90 K) ,非均匀性为 2 0 % ;平均 10 0 0 K黑体响应率为 2 .8A/W,非均匀性为 6 .3% ;电学串音率 <2 % . 展开更多

关键词 红外焦平面列阵 性能表征 锑化铟 红外探测器

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凝视型红外焦平面组件的军事应用 被引量：11

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作者 陶禹 张智诠 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2001年第1期70-73,共4页

随着军事技术的发展 ,对用于侦察和制导的红外探测器的要求也越来越高。目前 ,红外探测器已发展到了第三代———红外焦平面列阵。文中着重讨论了凝视红外焦平面的概念 ,并介绍了其与机械扫描系统相比应用于军事目的的优点 ,如提高了信... 随着军事技术的发展 ,对用于侦察和制导的红外探测器的要求也越来越高。目前 ,红外探测器已发展到了第三代———红外焦平面列阵。文中着重讨论了凝视红外焦平面的概念 ,并介绍了其与机械扫描系统相比应用于军事目的的优点 ,如提高了信噪比和热灵敏度、结构紧凑、更好地发挥探测器的快速性、易于信号处理和可批量生产等。针对各个波长范围内的应用情况 。 展开更多

关键词 红外焦平面列阵 凝视 热灵敏度 红外探测器

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红外焦平面成像器件发展现状 被引量：56

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作者 陈伯良 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2005年第1期1-7,共7页

红外焦平面列阵成像技术已经进入了成熟期。本文对几种红外焦平面列阵器件如MCT、InSb和QWIP的最新进展作一评述,简要介绍其器件发展水平、技术路线和关键工艺。简要提及一种新颖的非制冷焦平面成像技术:光学读出微光机红外接收器。

关键词 红外焦平面列阵 碲镉汞 锑化铟 量子阱红外探测器

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