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先进硅基前驱体的应用研究与技术进展 被引量:6
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作者 常欣 万烨 +3 位作者 赵雄 严大洲 袁振军 郭树虎 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第6期409-418,共10页
前驱体材料广泛应用于集成电路的关键工艺中,如外延、光刻、化学气相沉积以及原子层沉积。其中硅基前驱体是重要且用量较大的一个分支,近年来一直是先进集成电路材料领域研究的热点之一。以集成电路制造工艺和器件结构的技术发展为基础... 前驱体材料广泛应用于集成电路的关键工艺中,如外延、光刻、化学气相沉积以及原子层沉积。其中硅基前驱体是重要且用量较大的一个分支,近年来一直是先进集成电路材料领域研究的热点之一。以集成电路制造工艺和器件结构的技术发展为基础,综述了业界几种较为流行的硅基前驱体材料的结构与性能,其中包括二氯硅烷(DCS)、乙硅烷(DS)、八甲基环四硅氧烷(OMCTS)、四甲基硅烷(4MS)、六氯乙硅烷(HCDS)、双(叔丁氨基)硅烷(BTBAS)、双(二乙氨基)硅烷(BDEAS)、三(二甲胺基)硅烷(3DMAS)和三甲硅烷基胺(TSA)。系统介绍了硅基前驱体的应用现状和研究进展,并对其合成和提纯工艺进行了探讨。 展开更多
关键词 集成电路(IC) 前驱 化学气相沉积(CVD) 原子层沉积 提纯工艺
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高吸附性能介孔磁性复合碳球的制备 被引量:5
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作者 韩金玲 陈葵 +3 位作者 武斌 纪利俊 吴艳阳 朱家文 《精细化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期689-695,709,共8页
以正硅酸乙酯(TEOS)为硅前驱体,间苯二酚-甲醛树脂(RF)为碳源,在表面活性剂十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)的辅助作用下,采用原位聚合法制备了介孔磁性复合碳球Fe3O4@C-M。考察了醇水比〔V(乙醇)∶V(水)〕、表面活性剂用量、TEOS用量和水... 以正硅酸乙酯(TEOS)为硅前驱体,间苯二酚-甲醛树脂(RF)为碳源,在表面活性剂十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)的辅助作用下,采用原位聚合法制备了介孔磁性复合碳球Fe3O4@C-M。考察了醇水比〔V(乙醇)∶V(水)〕、表面活性剂用量、TEOS用量和水热温度(HT)对碳球的形貌、粒径和表面孔结构的影响。在84 mL乙醇/水混合液〔V(乙醇)∶V(水)=3∶4〕、CTAB 0.6 g、TEOS 4 mL、水热温度100℃下制备得到Fe3O4@C-M,采用TEM、XRD、XPS、BET、TGA、VSM对其进行表征。结果表明,Fe3O4@C-M的比表面积为553m^2/g,较不引入硅前驱体时制备的磁性复合碳球Fe3O4@C-0增大1.7倍,介孔孔容占比由18%增大到83%。考察Fe3O4@C-M对红霉素的吸附性能,饱和吸附量为255 mg/g;用乙酸正丁酯对吸附后材料进行再生,5次循环再生后吸附量维持在初始吸附量的85%以上。 展开更多
关键词 磁性复合碳球 硅前驱体 介孔 吸附 红霉素 功能材料
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Processing and properties of 2D SiC/SiC composites by precursor infiltration and pyrolysis 被引量:2
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作者 于海蛟 周新贵 +3 位作者 王洪磊 赵爽 羊建高 黄泽兰 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2009年第2期190-194,共5页
Two-dimensional plain-weave silicon carbide fiber fabric reinforced silicon carbide(2D-SiC/SiC)composites were molded by stacking method and densified through precursor infiltration and pyrolysis(PIP)process.SiC coati... Two-dimensional plain-weave silicon carbide fiber fabric reinforced silicon carbide(2D-SiC/SiC)composites were molded by stacking method and densified through precursor infiltration and pyrolysis(PIP)process.SiC coating was deposited as the fiber/matrix interphase layer by chemical vapor deposition(CVD)technique.Fiber/matrix debonding and relatively long fiber pullouts were observed on the fracture surfaces.Additionally,the flexural strength and elastic modulus of the composites with and without fiber/matrix interphase layer were investigated using three-point bending test and single-edge notched beam test.The results show that the fiber fraction and the porosity of 2D-SiC/SiC composites with and without coating are 27.2%(volume fraction)and 11.1%,and 40.7%(volume fraction)and 7.5%,respectively.And the flexural strength and elastic modulus of 2D-SiC/SiC composites with and without coating are 363.3 MPa and 127.8 GPa,and 180.2 MPa and 97.2 GPa,respectively.With a proper thickness,the coating can effectively adjust the fiber/matrix interface,thus causing a dramatic increase in the mechanical properties of the composites. 展开更多
关键词 SiC/SiC composites COATING precursor infiltration and pyrolysis chemical vapor deposition
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