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宽温区工作压力传感器热力学研究
被引量：
4
1
作者
姚东媛
谢胜秋
+1 位作者
王俊巍
吴佐飞
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第6期28-31,共4页
介绍了硅—蓝宝石压力传感器的钛合金—蓝宝石复合弹性膜片在宽温区工作时温度变化材料不匹配引起的结构热应力,对弹性膜片的受热情况进行了分析,对不同结构形式传感器热稳定性影响程度进行了对比,利用P型掺杂硅温度特性减少结构热应力...
介绍了硅—蓝宝石压力传感器的钛合金—蓝宝石复合弹性膜片在宽温区工作时温度变化材料不匹配引起的结构热应力,对弹性膜片的受热情况进行了分析,对不同结构形式传感器热稳定性影响程度进行了对比,利用P型掺杂硅温度特性减少结构热应力影响、降低传感器的热零点漂移。通过膜片结构选择和设计、材料选择、工艺优化和控制等可以使硅—蓝宝石压力传感器在-55~350℃宽温度范围内工作时热漂移不大于0.015%FS/℃,提高了宽温区工作时传感器的热稳定性。
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关键词
硅—蓝宝石
压力传感器
弹性膜片
热特性
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职称材料
题名
宽温区工作压力传感器热力学研究
被引量：
4
1
作者
姚东媛
谢胜秋
王俊巍
吴佐飞
机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第6期28-31,共4页
文摘
介绍了硅—蓝宝石压力传感器的钛合金—蓝宝石复合弹性膜片在宽温区工作时温度变化材料不匹配引起的结构热应力,对弹性膜片的受热情况进行了分析,对不同结构形式传感器热稳定性影响程度进行了对比,利用P型掺杂硅温度特性减少结构热应力影响、降低传感器的热零点漂移。通过膜片结构选择和设计、材料选择、工艺优化和控制等可以使硅—蓝宝石压力传感器在-55~350℃宽温度范围内工作时热漂移不大于0.015%FS/℃,提高了宽温区工作时传感器的热稳定性。
关键词
硅—蓝宝石
压力传感器
弹性膜片
热特性
Keywords
silicon-on-sapphire（SOS）
pressure sensor
elastic membrane
thermal performance
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
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被引量
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1
宽温区工作压力传感器热力学研究
姚东媛
谢胜秋
王俊巍
吴佐飞
《传感器与微系统》
CSCD
2017
4
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