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一种硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器
被引量：
4
1
作者
韩建强
朱长纯
+1 位作者
刘君华
魏培永
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期473-476,共4页
利用 IC工艺和微机械加工技术制作了一种硅 /二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。基于硅和二氧化硅两种材料热膨胀系数的差异 ,不同温度下梁的挠度不同 ,其形变可通过位于梁根部的压敏电桥检测。理论计算和实验结果表明 :压敏电桥输出电...
利用 IC工艺和微机械加工技术制作了一种硅 /二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。基于硅和二氧化硅两种材料热膨胀系数的差异 ,不同温度下梁的挠度不同 ,其形变可通过位于梁根部的压敏电桥检测。理论计算和实验结果表明 :压敏电桥输出电压与温度成线性关系。对器件结构进行了优化设计 ,实验探索了提高传感器测量重复性的时效处理工艺。该温度传感器可用于瞬态温度的测量。
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关键词
硅/二氧化硅双层微悬臂梁
温度传感器
时效处理
瞬态温度
微
机械加工
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职称材料
题名
一种硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器
被引量：
4
1
作者
韩建强
朱长纯
刘君华
魏培永
机构
西安交通大学电信学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期473-476,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目 (6 0 0 36 0 10
5 0 0 770 16
+1 种基金
6 0 2 76 0 37)
教育部博士点基金 (2 0 0 2 0 6 980 14 )资助项目
文摘
利用 IC工艺和微机械加工技术制作了一种硅 /二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。基于硅和二氧化硅两种材料热膨胀系数的差异 ,不同温度下梁的挠度不同 ,其形变可通过位于梁根部的压敏电桥检测。理论计算和实验结果表明 :压敏电桥输出电压与温度成线性关系。对器件结构进行了优化设计 ,实验探索了提高传感器测量重复性的时效处理工艺。该温度传感器可用于瞬态温度的测量。
关键词
硅/二氧化硅双层微悬臂梁
温度传感器
时效处理
瞬态温度
微
机械加工
Keywords
Microcantilever Temperature sensor Ageing process Transient temperature
分类号
TP212.11 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器
韩建强
朱长纯
刘君华
魏培永
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
4
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