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一种用于砷化镓晶圆级堆叠的工艺技术
被引量:
1
1
作者
廖龙忠
周国
+2 位作者
毕胜赢
付兴中
张力江
《固体电子学研究与进展》
CAS
北大核心
2023年第4期311-315,共5页
随着电子系统对多功能、小型化要求的不断提高,将数字控制电路、移相器、低噪声放大器等砷化镓微波集成电路(MMICs)进行3D集成是解决问题的方向。为此,设计具有数百个互连点的孔链测试结构模拟上下两层电路互连,采用砷化镓穿孔技术将正...
随着电子系统对多功能、小型化要求的不断提高,将数字控制电路、移相器、低噪声放大器等砷化镓微波集成电路(MMICs)进行3D集成是解决问题的方向。为此,设计具有数百个互连点的孔链测试结构模拟上下两层电路互连,采用砷化镓穿孔技术将正面互连压点转移到背面,研究适用砷化镓薄片的晶圆级键合技术,开发出两片式砷化镓面对背的晶圆级堆叠工艺技术,堆叠成品率达到90%以上。利用这项工艺,将砷化镓数字电路堆叠到低噪声放大器芯片上,形成了Ka波段幅相多功能电路,测试在32~38 GHz频段内,接收端增益大于21.5 dB,噪声小于4 dB,移相精度小于4°;发射端增益大于23 dB,输出功率大于25 dBm(输入功率10 dBm),移相精度小于4°。
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关键词
晶圆级堆叠
技术
3D集成
砷
化
镓
穿孔
技术
幅相多功能电路
微波集成电路(MMICs)
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职称材料
基于砷化镓光纤技术的变压器绕组热点温度监测
2
作者
何其武
《通信电源技术》
2022年第2期14-17,共4页
变压器绕组温度的控制监测对于电力系统的正常运行与处理是十分关键的,一定程度上会影响电力系统的工作质量和效率。因此,对基于砷化镓光纤技术的变压器绕组热点温度监测分析,进行光纤光栅温度监测目标的设定,构建多目标集成砷化镓光纤...
变压器绕组温度的控制监测对于电力系统的正常运行与处理是十分关键的,一定程度上会影响电力系统的工作质量和效率。因此,对基于砷化镓光纤技术的变压器绕组热点温度监测分析,进行光纤光栅温度监测目标的设定,构建多目标集成砷化镓光纤热节点监测结构,设计FBG砷化镓光纤热点温度监测模型,采用间接光纤测量法实现变压器绕组热点温度监测。通过测试结果表明:与传统的增压绕组热点温度监测小组和传统绕组数据驱动绕组热点温度监测小组相对比,所设计的砷化镓光纤绕组热点温度监测小组在实际应用的过程中监测的响应速度更快,温度控制监测的误差更小,具有实际的应用价值。
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关键词
砷
化
镓
光纤
技术
光纤处理
变压器绕组
热点定位
性能分析
人工温度监测
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职称材料
GaAs技术在移动通信中的应用
3
作者
张汉三
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第5期4-9,共6页
首先介绍了当前移动通信的发展概况,进而阐述了移动通信对半导体器件的要求、GaAs技术在移动通信领域中的应用,最后主要介绍了开发应用的具体实例。
关键词
移动通信
砷化镓技术
手持电话
数字电话
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职称材料
阿尔塔设备发布Gen4太阳能电池技术
4
《汽车工程师》
2018年第8期9-9,共1页
阿尔塔设备公司宣布发布第4代太阳能电池技术(Gen4),该产品是一款轻量化的柔性太阳能电池,制造时采用了单结砷化镓技术。
关键词
太阳能电池
电池
技术
塔设备
砷化镓技术
轻量
化
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职称材料
TriQuint推出创新TriAccess^TM放大器
5
《中国集成电路》
2012年第9期7-7,共1页
TriQuint半导体公司开始提供两款创新设计的TriAccess^TM放大器——TAT6281和TAT2814A,旨在为有线电视系统提供更完善的多种产品。TriQuint的新元件建立在经市场考验的砷化镓技术基础上,兼顾更多功能、更高效率和性价比等特点。
关键词
创新设计
放大器
有线电视系统
半导体公司
砷化镓技术
多功能
性价比
元件
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职称材料
题名
一种用于砷化镓晶圆级堆叠的工艺技术
被引量:
1
1
作者
廖龙忠
周国
毕胜赢
付兴中
张力江
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
北大核心
2023年第4期311-315,共5页
文摘
随着电子系统对多功能、小型化要求的不断提高,将数字控制电路、移相器、低噪声放大器等砷化镓微波集成电路(MMICs)进行3D集成是解决问题的方向。为此,设计具有数百个互连点的孔链测试结构模拟上下两层电路互连,采用砷化镓穿孔技术将正面互连压点转移到背面,研究适用砷化镓薄片的晶圆级键合技术,开发出两片式砷化镓面对背的晶圆级堆叠工艺技术,堆叠成品率达到90%以上。利用这项工艺,将砷化镓数字电路堆叠到低噪声放大器芯片上,形成了Ka波段幅相多功能电路,测试在32~38 GHz频段内,接收端增益大于21.5 dB,噪声小于4 dB,移相精度小于4°;发射端增益大于23 dB,输出功率大于25 dBm(输入功率10 dBm),移相精度小于4°。
关键词
晶圆级堆叠
技术
3D集成
砷
化
镓
穿孔
技术
幅相多功能电路
微波集成电路(MMICs)
Keywords
wafer level stacking technology
3D integration
through wafer vias technology of GaAs
multi‑function chip with phase and amplitude control
MMICs
分类号
TN385 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于砷化镓光纤技术的变压器绕组热点温度监测
2
作者
何其武
机构
广州发展南沙电力有限公司
出处
《通信电源技术》
2022年第2期14-17,共4页
文摘
变压器绕组温度的控制监测对于电力系统的正常运行与处理是十分关键的,一定程度上会影响电力系统的工作质量和效率。因此,对基于砷化镓光纤技术的变压器绕组热点温度监测分析,进行光纤光栅温度监测目标的设定,构建多目标集成砷化镓光纤热节点监测结构,设计FBG砷化镓光纤热点温度监测模型,采用间接光纤测量法实现变压器绕组热点温度监测。通过测试结果表明:与传统的增压绕组热点温度监测小组和传统绕组数据驱动绕组热点温度监测小组相对比,所设计的砷化镓光纤绕组热点温度监测小组在实际应用的过程中监测的响应速度更快,温度控制监测的误差更小,具有实际的应用价值。
关键词
砷
化
镓
光纤
技术
光纤处理
变压器绕组
热点定位
性能分析
人工温度监测
Keywords
GaAs optical fiber technology
optical fiber processing
transformer winding
hot spot positioning
performance analysis
manual temperature monitoring
分类号
TM4 [电气工程—电器]
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职称材料
题名
GaAs技术在移动通信中的应用
3
作者
张汉三
机构
电子工业部第十三研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第5期4-9,共6页
文摘
首先介绍了当前移动通信的发展概况,进而阐述了移动通信对半导体器件的要求、GaAs技术在移动通信领域中的应用,最后主要介绍了开发应用的具体实例。
关键词
移动通信
砷化镓技术
手持电话
数字电话
分类号
TN929.5 [电子电信—通信与信息系统]
TN304.23 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
阿尔塔设备发布Gen4太阳能电池技术
4
出处
《汽车工程师》
2018年第8期9-9,共1页
文摘
阿尔塔设备公司宣布发布第4代太阳能电池技术(Gen4),该产品是一款轻量化的柔性太阳能电池,制造时采用了单结砷化镓技术。
关键词
太阳能电池
电池
技术
塔设备
砷化镓技术
轻量
化
分类号
U469.72 [机械工程—车辆工程]
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职称材料
题名
TriQuint推出创新TriAccess^TM放大器
5
出处
《中国集成电路》
2012年第9期7-7,共1页
文摘
TriQuint半导体公司开始提供两款创新设计的TriAccess^TM放大器——TAT6281和TAT2814A,旨在为有线电视系统提供更完善的多种产品。TriQuint的新元件建立在经市场考验的砷化镓技术基础上,兼顾更多功能、更高效率和性价比等特点。
关键词
创新设计
放大器
有线电视系统
半导体公司
砷化镓技术
多功能
性价比
元件
分类号
TN722 [电子电信—电路与系统]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种用于砷化镓晶圆级堆叠的工艺技术
廖龙忠
周国
毕胜赢
付兴中
张力江
《固体电子学研究与进展》
CAS
北大核心
2023
1
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职称材料
2
基于砷化镓光纤技术的变压器绕组热点温度监测
何其武
《通信电源技术》
2022
0
在线阅读
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职称材料
3
GaAs技术在移动通信中的应用
张汉三
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
阿尔塔设备发布Gen4太阳能电池技术
《汽车工程师》
2018
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
TriQuint推出创新TriAccess^TM放大器
《中国集成电路》
2012
0
在线阅读
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职称材料
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