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固相研磨法合成二茂铁基查尔酮衍生物
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作者 唐文强 高艳蓉 +2 位作者 徐小娜 仝红娟 刘斌 《化学与生物工程》 北大核心 2025年第1期42-48,61,共8页
采用固相研磨法,经Claisen-Schmidt缩合反应合成了26个二茂铁基查尔酮衍生物(1a~1z),采用FTIR、1HNMR、ESI-MS和元素分析对目标化合物1a~1z的结构进行了表征,并采用单晶衍射法对目标化合物1c、1m、1u的晶体结构进行了确证。结果表明,以... 采用固相研磨法,经Claisen-Schmidt缩合反应合成了26个二茂铁基查尔酮衍生物(1a~1z),采用FTIR、1HNMR、ESI-MS和元素分析对目标化合物1a~1z的结构进行了表征,并采用单晶衍射法对目标化合物1c、1m、1u的晶体结构进行了确证。结果表明,以乙酰基二茂铁与苯甲醛的Claisen-Schmidt缩合反应为模型,确定最佳合成条件如下:物料比n(苯甲醛)∶n(乙酰基二茂铁)为2.4∶1、KOH用量n(KOH)∶n(乙酰基二茂铁)为1.3∶1、室温研磨20 min,在此条件下,目标化合物1a的收率为93.13%。 展开更多
关键词 固相研磨法 二茂铁基查尔酮衍生物 绿色合成
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利用双磁极平面磁力研磨法对单晶硅表面的抛光实验研究 被引量:1
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作者 杨燕珍 孙旭 +2 位作者 李嘉旸 邹世清 傅永建 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2024年第6期1048-1055,共8页
为实现单晶硅表面平坦化,提出双磁极磁力研磨法(DMAF),并设计一套双磁极磁力研磨装置。探究双磁极磁力研磨法的加工机理,明确关键加工参数对单晶硅表面质量的影响,通过单因素对比实验对加工参数进行优化;利用ANSYS MAXWELL有限元软件,... 为实现单晶硅表面平坦化,提出双磁极磁力研磨法(DMAF),并设计一套双磁极磁力研磨装置。探究双磁极磁力研磨法的加工机理,明确关键加工参数对单晶硅表面质量的影响,通过单因素对比实验对加工参数进行优化;利用ANSYS MAXWELL有限元软件,对传统平面磁力研磨法与双磁极磁力研磨法的磁场强度进行模拟仿真,对比两种方法在加工区域形成的磁感应强度,以实现定量分析磁性磨料粒子的研磨压力。基于单因素实验结果,确定了双磁极磁力研磨法对单晶硅片表面加工优化后的研磨参数:磨料组合为#200电解铁粉(Fe_(3)O_(4))+#8000白刚玉(White abrasive,WA),磁极间隙为12 mm,磁极转速为300 r/min,磨料质量比为3∶1。结果表明:在优化的研磨参数条件下,研磨60 min后的单晶硅片的平均表面粗糙度由初始的0.578μm降至8 nm,在研磨区域基本实现了镜面加工效果。仿真结果表明:与传统平面磁力研磨法相比,双磁极磁力研磨法可显著提高加工区域的磁感应强度,该研磨法所产生的磁场强度约为传统磁力研磨法的1.5倍。 展开更多
关键词 双磁极磁力研磨法 单晶硅 表面平坦化 研磨参数 磁感应强度 表面粗糙度
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磁研磨法抛光40Cr钢管件内表面的影响因素 被引量:24
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作者 陈燕 宋宗朋 +1 位作者 李昌 韩冰 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期62-69,共8页
针对磁研磨法抛光铁磁性管件内表面时的磁屏蔽问题,研制出一套磁力光整加工装置。对4种形状的磁极模型进行有限元分析,研究磁极形状、磁极转速及运动状态对抛光效果的影响,并以40Cr钢为材料进行试验验证,利用扫描电子显微镜观察加工前... 针对磁研磨法抛光铁磁性管件内表面时的磁屏蔽问题,研制出一套磁力光整加工装置。对4种形状的磁极模型进行有限元分析,研究磁极形状、磁极转速及运动状态对抛光效果的影响,并以40Cr钢为材料进行试验验证,利用扫描电子显微镜观察加工前后工件的微观表面形貌。结果表明:磁极为环形磁极且与工件反向旋转、磁极转速为2 000r/min时加工效果好、加工效率较高;表面粗糙度值可降到Ra 0.25μm以下;工件内表面的微裂纹、凹坑等表面缺陷基本被去除,表面质量得到明显改善。由此表明,利用磁极内置的方法可以很好的解决磁屏蔽问题,并获得良好的表面加工质量。 展开更多
关键词 磁力研磨法 铁磁性管件 磁极转速 旋转磁场 表面抛光
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研磨法薄荷醇β-环糊精包合物的研究 被引量:8
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作者 雍国平 童红武 +4 位作者 李光水 徐冉 彭荣怀 徐迎波 徐华军 《食品科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第10期40-41,共2页
用研磨法制备了不同摩尔比的薄荷醇β-环糊精包合物,通过用乙醇洗涤或蒸馏包合物,并用分光光度法分别测定了包合物的表面薄荷醇量和总薄荷醇量,并计算了薄荷醇的包合率。结果表明在薄荷醇/β-环糊精的摩尔比为1.05∶1时,表面薄荷醇量最... 用研磨法制备了不同摩尔比的薄荷醇β-环糊精包合物,通过用乙醇洗涤或蒸馏包合物,并用分光光度法分别测定了包合物的表面薄荷醇量和总薄荷醇量,并计算了薄荷醇的包合率。结果表明在薄荷醇/β-环糊精的摩尔比为1.05∶1时,表面薄荷醇量最低且包合率最大。 展开更多
关键词 研磨法 薄荷醇 Β-环糊精包合物 食品 总薄荷醇量
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研磨法破碎小球藻细胞工艺优化 被引量:7
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作者 鲁龙 毕生雷 +2 位作者 金洪波 吴娟 张鹏飞 《中国酿造》 CAS 北大核心 2017年第1期116-119,共4页
选取破碎过程中的关键因素,以油脂得率为评价指标,通过进行单因素试验和正交试验,对研磨法破碎小球藻细胞的工艺条件进行了研究。结果表明,小球藻细胞破碎最佳工艺条件为藻液质量浓度150 g/L,破碎时间2.5 h,球磨机转速400 r/min,藻液与... 选取破碎过程中的关键因素,以油脂得率为评价指标,通过进行单因素试验和正交试验,对研磨法破碎小球藻细胞的工艺条件进行了研究。结果表明,小球藻细胞破碎最佳工艺条件为藻液质量浓度150 g/L,破碎时间2.5 h,球磨机转速400 r/min,藻液与钢珠的质量比为3:4。在此工艺条件下,能达到较好的破碎效果,油脂得率为46.89%。 展开更多
关键词 小球藻 研磨法 破碎 油脂得率
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沉淀法与研磨法制备二氧化硅微粉的比较 被引量:4
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作者 李清海 翟玉春 +3 位作者 田彦文 赵乃仁 霍玉秋 陈艳芳 《材料与冶金学报》 CAS 2004年第1期43-45,共3页
以硅酸钠和硫酸为原料,采用沉淀法制备二氧化硅微粉;用玛瑙罐球磨石英砂制备二氧化硅微粉.通过SEM、XRD、TGA考察了这两种方法制备二氧化硅微粉的区别.
关键词 制备 二氧化硅 沉淀 研磨法
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研钵研磨法氨基功能化改性蒙脱土 被引量:2
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作者 陈勇军 罗远芳 +5 位作者 李斌 吕维希 贾志欣 贾德民 何燕岭 张秀芹 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期121-126,共6页
以钠基蒙脱土为基体、γ-氨丙基三乙氧基硅烷(KH-550)为改性剂,采用研钵研磨法、溶液搅拌法、微波加热法制备了有机改性蒙脱土,通过FT-IR、XRD、TG、SEM、UV-Vis等分析方法,对改性前后的蒙脱土样品进行了研究.结果表明:研钵研磨法能够... 以钠基蒙脱土为基体、γ-氨丙基三乙氧基硅烷(KH-550)为改性剂,采用研钵研磨法、溶液搅拌法、微波加热法制备了有机改性蒙脱土,通过FT-IR、XRD、TG、SEM、UV-Vis等分析方法,对改性前后的蒙脱土样品进行了研究.结果表明:研钵研磨法能够实现对蒙脱土的氨基化合物的插层改性;相比于溶液搅拌法、微波加热法,研钵研磨法改性效果更好;经研钵研磨法改性后,钠基蒙脱土(001)面层间距由未改性时的1.07nm增加到2.42nm;研钵研磨法制备的有机蒙脱土上有机物负载率最高,700℃下失重率达16%;经研钵研磨法改性的蒙脱土在有机介质中的分散性和稳定性最好. 展开更多
关键词 钠基蒙脱土 氨丙基三乙氧基硅烷 有机改性蒙脱土 研钵研磨法 溶液搅拌 微波加热
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固相研磨法制备LaCoO_3掺杂的TiO_2及其光催化活性 被引量:1
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作者 牛新书 茹祥莉 +2 位作者 陈晓丽 魏平涛 王雪丽 《河南师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期98-101,共4页
采用固相研磨法制备了LaCoO3掺杂的TiO2纳米粉体(x=0.3%,0.6%,0.9%,1.2%,1.5%).通过XRD,SEM等手段对所合成粉体的晶型、大小和形貌进行了表征.并以罗丹明B为目标污染物,考察了上述样品的光催化活性.结果表明:(1)所合成的粉体为锐钛矿型T... 采用固相研磨法制备了LaCoO3掺杂的TiO2纳米粉体(x=0.3%,0.6%,0.9%,1.2%,1.5%).通过XRD,SEM等手段对所合成粉体的晶型、大小和形貌进行了表征.并以罗丹明B为目标污染物,考察了上述样品的光催化活性.结果表明:(1)所合成的粉体为锐钛矿型TiO2,球型,粒径均匀,大约为50nm,掺杂并没有改变粒子的晶型;(2)掺杂LaCoO3后,使TiO2的光催化活性显著提高,当掺杂比例为1.2%时,光催化活性最高. 展开更多
关键词 固相研磨法 TIO2 罗丹明B 光催化活性
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TiO_2/SiO_2复合粉体的简易研磨法制备 被引量:1
9
作者 李志林 程丽丽 《科学技术与工程》 北大核心 2012年第1期213-217,共5页
以硫酸氧钛为钛源,以硅酸钠为硅源,采用简易研磨法制备了比纯TiO2光催化剂表面活性强,光催化性能高的TiO2/SiO2复合物。借助X射线衍射(XRD)、差热分析(TG-DTA)和Fourier变换红外光谱(FTIR)对该复合物进行表征。以活性大红的光催化降解... 以硫酸氧钛为钛源,以硅酸钠为硅源,采用简易研磨法制备了比纯TiO2光催化剂表面活性强,光催化性能高的TiO2/SiO2复合物。借助X射线衍射(XRD)、差热分析(TG-DTA)和Fourier变换红外光谱(FTIR)对该复合物进行表征。以活性大红的光催化降解反应对复合物的光催化活性进行评价。制备复合物的最佳条件:硫酸氧钛与硅酸钠的质量比为1:1,煅烧温度为500℃。对于初始质量浓度为50 mg/L的20 mL活性大红溶液,当复合物加入量为0.1 g时,紫外光下降解60 min后活性大红降解率为98.3%,相同条件下TiO2对活性大红的降解率为96.5%。廉价的原料,简易的制备方法,极高的光催化降解效率,可以降低废水处理成本。 展开更多
关键词 二氧化钛 二氧化硅 研磨法 硫酸氧钛 硅酸钠
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酶预处理结合研磨法对桉树纸浆纤维微/纳纤丝微观形貌的影响
10
作者 何玉婵 韩雁明 +2 位作者 李改云 陈媛 王思群 《西北农林科技大学学报(自然科学版)》 CSCD 北大核心 2017年第3期103-110,共8页
【目的】探究酶用量、酶解时间及研磨时间对制备的桉树纸浆纤维微/纳纤丝微观形貌及性能的影响。【方法】以桉树纸浆为原料,经不同的酶用量(20,40,60和80ECU/g)和酶解时间(2,4,6和8h)预处理后,用研磨法制备纤维素微/纳纤丝,利用扫描电镜... 【目的】探究酶用量、酶解时间及研磨时间对制备的桉树纸浆纤维微/纳纤丝微观形貌及性能的影响。【方法】以桉树纸浆为原料,经不同的酶用量(20,40,60和80ECU/g)和酶解时间(2,4,6和8h)预处理后,用研磨法制备纤维素微/纳纤丝,利用扫描电镜、X射线衍射仪对制备的微/纳纤丝进行表征。【结果】在酶解时间为6h的条件下,当酶用量由20ECU/g增加至80ECU/g时,研磨制备的微/纳纤丝直径由143.89nm减小至52.21nm;在酶用量为60ECU/g的条件下,当酶解时间由2h增加至8h时,研磨制备的微/纳纤丝直径由131.23nm减小至43.73nm。酶处理后的纤维及研磨处理后的纤维均保持了天然纤维的Ⅰ型结构,结晶度分别比纸浆纤维(59.21%)提高11.68%和8.31%,所制备的微/纳纤丝的结晶度为67.52%。【结论】酶预处理可以有效降低微/纳纤丝的制备时间,减少能耗;随着酶用量及酶解时间的增加,微/纳纤丝直径逐渐减小;纤维素酶可降解纤维素部分非结晶区并使纤维润胀。 展开更多
关键词 纤维素酶 研磨法 桉树纸浆 微/纳纤丝
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粉末床研磨法制备干扰素-α脂质体 被引量:8
11
作者 叶志伟 胡巧红 梁文权 《浙江大学学报(医学版)》 CAS CSCD 2002年第6期433-436,460,共5页
目的 :研究一种新型的工艺简单的适合工业化生产的干扰素 -α脂质体制备方法。方法 :采用均匀设计法筛选最佳处方 ,粉末床研磨法制备空白前体脂质体 ,与干扰素混合得到干扰素 -α脂质体 ,库尔特粒子分析仪测定粒子大小和分布 ,凝胶过滤... 目的 :研究一种新型的工艺简单的适合工业化生产的干扰素 -α脂质体制备方法。方法 :采用均匀设计法筛选最佳处方 ,粉末床研磨法制备空白前体脂质体 ,与干扰素混合得到干扰素 -α脂质体 ,库尔特粒子分析仪测定粒子大小和分布 ,凝胶过滤法分离纯化脂质体 ,酶联免疫方法 (EL ISA)测定其包封率。结果 :干扰素 -α脂质体制备的最佳条件 :保护剂为山梨醇 ,保护剂与脂质的质量比为 5∶ 1,十八胺和脂质的质量比为 1∶ 9,磷脂与胆固醇质量比为 9∶ 1。制备所得的干扰素 -α脂质体的粒径大小为 (80 .8± 36 ) nm ,包封率为 (5 9.0± 3.3) %。结论 展开更多
关键词 干扰素Α 化学 粉末床研磨法 前体脂质体 均匀设计
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磁流体研磨法研磨陶瓷球的试验研究 被引量:9
12
作者 金沫吉 张锡水 +1 位作者 王黎钦 齐疏霖 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期130-134,共5页
介绍了陶瓷球的磁流体研磨法.通过对四种不同陶瓷球的研磨试验,得出了基本研磨参数与研磨效率的关系,证明了磁流体研磨法对陶瓷球精密加工的高效性和高质量性.
关键词 研磨 研磨效率 陶瓷球 磁流体研磨法 陶瓷球轴承
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研磨法制备β-胡萝卜素水性分散体系工艺研究 被引量:1
13
作者 刘玉洁 尹红 +1 位作者 袁慎峰 陈志荣 《食品工业科技》 CAS CSCD 北大核心 2010年第10期306-309,共4页
采用研磨法在保护胶体的水相介质中制备β-胡萝卜素水性分散体系,通过单因素实验确定最佳工艺条件:β-胡萝卜素与改性淀粉质量比1∶30,研磨转速300r/min,研磨时间3h。抗氧化剂抗坏血酸钠(VC钠)的用量是影响分散体系β-胡萝卜素含量的重... 采用研磨法在保护胶体的水相介质中制备β-胡萝卜素水性分散体系,通过单因素实验确定最佳工艺条件:β-胡萝卜素与改性淀粉质量比1∶30,研磨转速300r/min,研磨时间3h。抗氧化剂抗坏血酸钠(VC钠)的用量是影响分散体系β-胡萝卜素含量的重要因素,实验结果表明:随VC钠用量的增加,β-胡萝卜素含量增大。 展开更多
关键词 Β-胡萝卜素 分散体系 制备 研磨法 抗氧化剂
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死漆研磨法制备一种快干漆的研究 被引量:1
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作者 翟玉龙 黄春梅 徐艳莲 《林产化学与工业》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期27-30,共4页
以死漆为原料,在室温无溶剂条件下与钛化合物混合后通过研磨法制备一种快干漆(QDL)。采用红外光谱、扫描电镜和热失重等表征手段对试样进行结构和性能表征,并探讨了生漆中不同成分对试样固化成膜的影响。结果表明:死漆与钛化合物混合研... 以死漆为原料,在室温无溶剂条件下与钛化合物混合后通过研磨法制备一种快干漆(QDL)。采用红外光谱、扫描电镜和热失重等表征手段对试样进行结构和性能表征,并探讨了生漆中不同成分对试样固化成膜的影响。结果表明:死漆与钛化合物混合研磨能够固化成膜的主要物质是漆酚,研磨过程中死漆油包水型乳液结构被破坏;当n(钛化合物)∶n(死漆)为1∶2时,研磨得到的涂膜表干和实干时间最短分别为1.5和6 h,远快于天然生漆的干燥速度;n(钛化合物)∶n(死漆)为1∶2、1∶3、1∶4研磨制得的QDL1、QDL2、QDL3都具有较高的光泽度,比天然生漆膜高出50之多。其中,快干漆QDL1的质量损失5%、10%和最大热失重温度分别为289、346和475℃,比天然生漆相应质量损失温度高,具有比自然干燥天然生漆膜更好的耐热性能。 展开更多
关键词 死漆 钛化合物 研磨法 耐热性
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固相研磨法制备AgI/Ag_3PO_4复合光催化剂及其光催化性能 被引量:5
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作者 张晓君 李佳乐 +2 位作者 刘一儒 张凌云 于大禹 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期892-898,共7页
采用固相研磨法,以Ag_3PO_4和KI为原料在研钵中研磨,机械化学效应作用下发生固相反应,在Ag_3PO_4表面包覆生成了AgI纳米粒子。改变研磨时间和反应物中KI的摩尔分数能够调控AgI/Ag_3PO_4复合光催化剂的组成和形貌。AgI/Ag_3PO_4复合光催... 采用固相研磨法,以Ag_3PO_4和KI为原料在研钵中研磨,机械化学效应作用下发生固相反应,在Ag_3PO_4表面包覆生成了AgI纳米粒子。改变研磨时间和反应物中KI的摩尔分数能够调控AgI/Ag_3PO_4复合光催化剂的组成和形貌。AgI/Ag_3PO_4复合光催化剂显示较强的可见光吸收性质,其光催化活性显著高于Ag_3PO_4或AgI。反应物中KI摩尔分数为10%,研磨时间为10min时制备得到的样品显示出最高的光催化活性,可见光照射1h,罗丹明B降解率达到99%,并具有较好的稳定性和循环利用效果。AgI壳层可以避免磷酸银的光腐蚀,提高了磷酸银在水中的结构稳定性。AgI的导带和价带位置比Ag_3PO_4更负,因此AgI的光生电子容易迁移到Ag_3PO_4表面,同时Ag_3PO_4产生的光生空穴可以迁移到AgI的价带上,降低了光生电子和空穴的复合,提高了光催化效率。 展开更多
关键词 催化 复合材料 合成 研磨法 碘化银 磷酸银
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基于液氮研磨法的流式细胞术检测马铃薯倍性的研究 被引量:4
16
作者 郑英转 吕燕 +3 位作者 杨东旭 李国威 王洪洋 李灿辉 《生物技术通报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期282-288,共7页
染色体组倍性鉴定是马铃薯种质资源评价的重要内容,流式细胞仪能够快速、准确地对细胞核DNA含量进行测定,从而广泛用于检测植物染色体组倍性。建立适于马铃薯倍性鉴定的高通量流式细胞术体系,对马铃薯育种工作提供依据。以20份马铃薯合... 染色体组倍性鉴定是马铃薯种质资源评价的重要内容,流式细胞仪能够快速、准确地对细胞核DNA含量进行测定,从而广泛用于检测植物染色体组倍性。建立适于马铃薯倍性鉴定的高通量流式细胞术体系,对马铃薯育种工作提供依据。以20份马铃薯合作88孤雌诱导后代为材料,用液氮研磨法制备叶片细胞核悬液,并将其与传统刀片切碎法制备的细胞核悬液进行比较,对已知四倍体马铃薯合作88和二倍体马铃薯IVP101进行染色体倍性测定,结果发现这两种方法在倍性测定结果之间无明显差异,但是液氮研磨法操作简单、耗时少。基于液氮研磨法的流式细胞术可快速、准确检测其倍性。另外,在液氮研磨法中,对细胞核悬液染色时间的长短(从15 min到12 h)并不会影响倍性测定结果,从而方便研究人员在实际操作中灵活选择染色时间。 展开更多
关键词 液氮研磨法 马铃薯 倍性鉴定 流式细胞术
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弹性研磨法的基础研究──测试与分析 被引量:2
17
作者 黄诗翘 《四川联合大学学报(工程科学版)》 EI CAS CSCD 1998年第5期39-44,共6页
本研究是为解决自由曲面(如型腔膜,凸模等)的研磨加工自动化而研制的一种新型摩轮-弹性磨轮。采用聚氨酯合成橡胶及氟化乙烯发泡材料作成基材,再外加一层研磨材料作成的弹性砂轮,在加工中心及自动机床上对自由面进行光整加工。
关键词 弹性砂轮 超精加工 弹性研磨法 自动化 研磨加工
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固相研磨法制备ZnO光阳极及其染料敏化太阳能电池性能 被引量:3
18
作者 王艳香 沈智超 +2 位作者 孙健 李家科 杨志胜 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2018年第2期199-206,共8页
光阳极是染料敏化太阳能电池(dye-sensitized solar cells,简称DSSCs)的重要组成部分,它起着负载染料和传输电子的作用。ZnO是常用的光阳极材料之一。本文以Zn(NO3)2·6H2O和NaOH为原料,采用固相研磨法在FTO导电玻璃上制备了ZnO光阳... 光阳极是染料敏化太阳能电池(dye-sensitized solar cells,简称DSSCs)的重要组成部分,它起着负载染料和传输电子的作用。ZnO是常用的光阳极材料之一。本文以Zn(NO3)2·6H2O和NaOH为原料,采用固相研磨法在FTO导电玻璃上制备了ZnO光阳极,并组装成DSSCs。主要研究了水的用量、反应温度和煅烧温度等对ZnO光阳极和DSSCs电池性能的影响。采用X-射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对ZnO光阳极进行物相和形貌表征,采用太阳光模拟器,电化学工作站和量子效率测试仪对电池性能进行分析。结果表明:当水和NaOH的质量比为1:1、反应温度为75℃,并且光阳极的煅烧温度为450℃时所制备的电池性能最佳,其光电转化效率(photoelectric conversion efficiency,PCE)为5.51%,开路电压(Open-circuit voltage,简称Voc)为0.70 V,短路电流密度(Short-circuit current density,简称Jsc)为12.72 m A/cm^2,填充因子(Fill factor,简称FF)为0.62。 展开更多
关键词 染料敏化太阳能电池 固相研磨法 ZnO光阳极 光电性能
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硅片的双面研磨法 被引量:1
19
作者 孙海林 《磨料磨具与磨削》 1989年第2期24-28,23,共6页
1.绪言近年来,随着集成电路的发展,硅的平面度(包括翘曲度和薄均匀度)就成了精加工工艺的重要问题,目前大家正在为提高硅片的平面度而努力。利用双盘研磨机研磨硅片时,靠上下盘予以加压。由于硅片的厚度与直径相比非常小,只需用很小的... 1.绪言近年来,随着集成电路的发展,硅的平面度(包括翘曲度和薄均匀度)就成了精加工工艺的重要问题,目前大家正在为提高硅片的平面度而努力。利用双盘研磨机研磨硅片时,靠上下盘予以加压。由于硅片的厚度与直径相比非常小,只需用很小的压力就能把翘曲的硅片压平,但不能修正它的翘曲度。因此,在切片时。 展开更多
关键词 硅片 研磨 双面研磨法 薄膜技术
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磁研磨法 被引量:1
20
作者 进村武男 徐金文 《磨料磨具与磨削》 1991年第1期16-21,共6页
磁研磨法是研磨加工的一种新方法。由于它具有加工效率高、制品质量好、加工条件易控制和工作环境清洁等特点,受到各国科技界的关注。该法起源于东欧的保加利亚,日本等国对其十分重视,近年来连续发表了许多有关这一课题的论文。本文综... 磁研磨法是研磨加工的一种新方法。由于它具有加工效率高、制品质量好、加工条件易控制和工作环境清洁等特点,受到各国科技界的关注。该法起源于东欧的保加利亚,日本等国对其十分重视,近年来连续发表了许多有关这一课题的论文。本文综述了日本最近的研究成果。 展开更多
关键词 研磨法 研磨
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