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熔石英磨削砂轮截面轮廓分析与优化 被引量:2
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作者 周炼 谢瑞清 +2 位作者 陈贤华 刘民才 王健 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2018年第1期59-64,共6页
为提高熔石英光学元件磨削加工质量,降低亚表面缺陷层深度,通过实验和理论分析发现,具有平直截面轮廓的平行金刚石砂轮,在加工熔石英光学元件时砂轮边缘位置处会产生加工应力集中,该应力集中直接导致了元件表面产生"连续白线"... 为提高熔石英光学元件磨削加工质量,降低亚表面缺陷层深度,通过实验和理论分析发现,具有平直截面轮廓的平行金刚石砂轮,在加工熔石英光学元件时砂轮边缘位置处会产生加工应力集中,该应力集中直接导致了元件表面产生"连续白线"状深缺陷,其深度达22μm。为抑制砂轮边缘位置加工应力集中现象,设计了"中央平直线+两侧边缘圆弧过渡"的复合式截面轮廓,并提出了相应的修整方法。通过砂轮修整实验,验证了该方法的可行性,磨削元件"连续白线"状深缺陷得到明显改善,亚表面缺陷深度小于2.5μm,实现熔石英元件的低缺陷磨削加工。 展开更多
关键词 金刚石砂轮 超精密磨削 砂轮截面轮廓 熔石英元件 亚表面缺陷 加工应力
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