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题名熔石英磨削砂轮截面轮廓分析与优化
被引量:2
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作者
周炼
谢瑞清
陈贤华
刘民才
王健
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机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2018年第1期59-64,共6页
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基金
科学挑战计划专题资助(No.JCKY2016212A506-0504)
中国工程物理研究院质量与可靠性共性技术基础课题(No.80540)
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文摘
为提高熔石英光学元件磨削加工质量,降低亚表面缺陷层深度,通过实验和理论分析发现,具有平直截面轮廓的平行金刚石砂轮,在加工熔石英光学元件时砂轮边缘位置处会产生加工应力集中,该应力集中直接导致了元件表面产生"连续白线"状深缺陷,其深度达22μm。为抑制砂轮边缘位置加工应力集中现象,设计了"中央平直线+两侧边缘圆弧过渡"的复合式截面轮廓,并提出了相应的修整方法。通过砂轮修整实验,验证了该方法的可行性,磨削元件"连续白线"状深缺陷得到明显改善,亚表面缺陷深度小于2.5μm,实现熔石英元件的低缺陷磨削加工。
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关键词
金刚石砂轮
超精密磨削
砂轮截面轮廓
熔石英元件
亚表面缺陷
加工应力
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Keywords
diamond grinding wheel
ultra-precision grinding
cross section profile of grinding wheel
fused silica optics
sub-surface damage
manufacture defect
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分类号
TG74
[金属学及工艺—刀具与模具]
TG580
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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