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ZSH-Ⅲ 型自动砂轮划片机
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作者 袁慧珠 李德爱 +1 位作者 孙家全 王纪春 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第12期11-12,27,共3页
】ZSH-Ⅲ型自动砂轮划片机是用于半导体生产企业的精密专用设备。本文介绍了ZSH-Ⅲ型自动砂轮划片机的设计思想、设计方案、主要技术关键、主要技术参数以及存在的问题。该设备已经小批量生产。
关键词 开槽 半导体 自动砂轮划片机 砂轮划片机
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砂轮划片机划切工艺参数优化方法 被引量:3
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作者 孙红春 王宏宝 +1 位作者 胥勇 谢里阳 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期531-535,共5页
针对砂轮划片机划切工艺参数在实际生产中难以合理设定的问题,提出了基于Matlab遗传算法优化和确定最佳工艺参数的方法.在避开各阶固有频率的基础上选取工艺参数范围,以主轴振动均方根值为评价指标,利用回归正交设计法进行试验,建立了... 针对砂轮划片机划切工艺参数在实际生产中难以合理设定的问题,提出了基于Matlab遗传算法优化和确定最佳工艺参数的方法.在避开各阶固有频率的基础上选取工艺参数范围,以主轴振动均方根值为评价指标,利用回归正交设计法进行试验,建立了振动量与划切工艺参数之间的回归方程.利用Matlab遗传算法对所建回归方程进行迭代优化,得出对应最小振动量下的最佳工艺参数,对最佳工艺参数下的划切振动量进行试验验证,证明了优化结果的正确性. 展开更多
关键词 砂轮划片机 工艺参数 回归正交设计 遗传算法 优化
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砂轮划片机模态测试中的传感器测点优化研究 被引量:4
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作者 孙红春 胥勇 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2017年第5期187-191,共5页
针对砂轮划片机这类复杂设备振动模态测试中测试时间长、传感器数目难以确定和测点难以定位的问题,提出了结合有效独立法、QR分解法及模态验证准则、香农扩展定理对砂轮划片机主系统进行测点优化的方法。采用锤击模态测试方法对某一型... 针对砂轮划片机这类复杂设备振动模态测试中测试时间长、传感器数目难以确定和测点难以定位的问题,提出了结合有效独立法、QR分解法及模态验证准则、香农扩展定理对砂轮划片机主系统进行测点优化的方法。采用锤击模态测试方法对某一型号的砂轮划片机测点优化前后的模态进行了测试,识别出划片机主系统的振型和模态参数,比较测点优化前后的测试结果,表明测点优化的模态测试实现了将有限个传感器布置在关键的测点位置上并获取最接近真实信息的目的,缩短了测试时间,提高了测试精度,为复杂设备的振动模态测试提供了参考。 展开更多
关键词 砂轮划片机 振动模态 测点优化 模态验证准则
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自动砂轮划片机定位监视系统
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作者 陆宏 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1989年第1期9-11,共3页
本文叙述了ZSH—Ⅱ型自动砂轮划片机分离视场显微镜——TV监视器定位监视系统的组成、技术指标、结构特点和参数选择等有关问题。
关键词 砂轮划片机 定位监视系统 集成电路
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